一种自吸气式X射线发生装置及其用途制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种自吸气式X射线发生装置及其用途，所述装置包括绝缘壳、阴极、阳极和栅极、至少一个吸附金属板和至少一个溅射金属板；阴极封装于绝缘壳内，用于释放电子；阳极封装于所述绝缘壳内，阳极包括靶体和靶面，阴极释放的电子与靶面碰撞而释放X射线；吸附金属板和溅射金属板平行设置，吸附金属板与其相邻的溅射金属板形成一组离子溅射结构，离子溅射结构的数目为至少一组，离子溅射结构位于阴极的至少一侧，吸附金属板和所述溅射金属板的平面方向与阴极释放电子的方向平行；栅极可设置在吸附金属板或溅射金属板上或单独设置。本发明专利技术通过引入离子溅射结构，实现在X射线管发射的同时实现对管内残余气体分子吸附，获得更佳的真空度。

A self aspirating X-ray generator and its application

【技术实现步骤摘要】
一种自吸气式X射线发生装置及其用途
本专利技术用于X射线
，涉及一种自吸气式X射线发生装置及其用途，可有效提升真空电子器件的真空度。
技术介绍
X射线自被发现以来，已广泛应用于医学成像、工业检测、材料分析、安检等领域，在日常生活和工业生产中发挥着巨大作用。尽管获得X射线具有多种方式，但目前仍以在真空环境中加速电子束轰击阳极靶为最主要应用形式。在此过程中电子束需要在真空中飞行一定距离，从而实现电子束的发射、聚焦、加速，及其它束形处理。由于，X射线管的阳极高压一般在几十到几百千伏之间，在有限距离内实现阳极和阴极之间的电气绝缘，防止阳极和阴极之间真空放电是X射线管可以正常工作的基本前提。而X射线管内的真空度与上述要求密切相关，因此，保证X射线管生产过程中具有更高的真空度，并在后期维持可以有效维持，是射线管正常工作和长寿命的保障。目前，X射线管的生产工艺相对成熟，具有完整的零件清洗、烧氢、排气、打靶和密封等完整工艺流程，一般射线管密封可以达到10-5Pa左右的初始真空度。但由于各种材料自身具有一定漏率和部件之间封接位置的微漏，使得密封后X本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自吸气式X射线发生装置，包括绝缘壳、阴极、阳极和栅极，其特征在于，所述自吸气式X射线发生装置还包括至少一个吸附金属板和至少一个溅射金属板；/n所述阴极封装于所述绝缘壳内，用于释放电子；/n所述阳极封装于所述绝缘壳内，所述阳极包括靶体和靶面；/n阴极释放的电子与所述阳极靶面碰撞而释放X射线；/n所述吸附金属板和所述溅射金属板平行设置，所述吸附金属板与其相邻的溅射金属板形成一组离子溅射结构，所述离子溅射结构的数目为至少一组，所述离子溅射结构位于阴极的至少一侧，所述吸附金属板和所述溅射金属板的平面方向与阴极释放电子的方向平行；/n所述栅极可设置在吸附金属板或溅射金属板上，或单独设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种自吸气式X射线发生装置，包括绝缘壳、阴极、阳极和栅极，其特征在于，所述自吸气式X射线发生装置还包括至少一个吸附金属板和至少一个溅射金属板；
所述阴极封装于所述绝缘壳内，用于释放电子；
所述阳极封装于所述绝缘壳内，所述阳极包括靶体和靶面；
阴极释放的电子与所述阳极靶面碰撞而释放X射线；
所述吸附金属板和所述溅射金属板平行设置，所述吸附金属板与其相邻的溅射金属板形成一组离子溅射结构，所述离子溅射结构的数目为至少一组，所述离子溅射结构位于阴极的至少一侧，所述吸附金属板和所述溅射金属板的平面方向与阴极释放电子的方向平行；
所述栅极可设置在吸附金属板或溅射金属板上，或单独设置。


2.根据权利要求1所述的自吸气式X射线发生装置，其特征在于，位于阴极同侧的吸附金属板和溅射金属板满足如下条件：吸附金属板和溅射金属板平行交替设置，形成至少两组离子溅射结构；
优选地，所述离子溅射结构中，吸附金属板与所述溅射金属板相互间隔排列，离子溅射结构的数目在1-10之间；
优选地，所述离子溅射结构中，相邻的吸附金属板距离与溅射金属板的距离为0.5-5mm之间。


3.根据权利要求1或2所述的自吸气式X射线发生装置，其特征在于，所述栅极位于靠近阴极一侧的吸附金属板或溅射金属板上；
优选地，所述栅极连接有引线。


4.根据权利要求1-3任一项所述的自吸气式X射线发生装置，其特征在于，所述绝缘壳的材质包括玻璃、陶瓷、金属-陶瓷复合材料或三氧化二铝中的任意一种；
优选地，所述阴极包括热阴极或冷阴极；
优选地，所述热阴极包括灯丝；
优选地，所述阴极连接有引线；
优选地，所述阳极的靶体包括反射式阳极靶或透射式阳极靶。


5.根据权利要求1-4任一项所述的自吸气式X射线...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴庆，李振军，李驰，白冰，陈科，周圣涵，
申请(专利权)人：国家纳米科学中心，
类型：发明
国别省市：北京;11