一种温度控制鼓泡剥离蓝宝石衬底生长的二维材料的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种温度控制鼓泡剥离蓝宝石衬底生长的二维材料的装置，包括恒温水浴仪、自动控制样品剥离器及检测显示仪；本发明专利技术通过自动控制样品剥离器的综合控制柜操控夹样、夹杯操作臂的移动，通过恒温水浴仪对NH

A temperature controlled bubbling device for stripping two-dimensional materials grown on sapphire substrate

【技术实现步骤摘要】
一种温度控制鼓泡剥离蓝宝石衬底生长的二维材料的装置
本专利技术涉及纳米材料制备及表征
，尤其是蓝宝石衬底上气相沉积生长的二维材料的转移装置即一种温度控制鼓泡剥离蓝宝石衬底生长的二维材料的装置。
技术介绍
在二维材料研究及其应用需求中，蓝宝石常作为大规模制备二维材料的衬底选择。但与传统的二氧化硅衬底相比，转移生长于具有化学惰性的蓝宝石衬底上的二维材料非常困难。原因在于蓝宝石衬底与二维材料之间的结合力强于范德华力，且蓝宝石衬底具有较强的抗碱刻蚀性，使用传统的氢氧化钾溶液刻蚀剂不能将PMMA/样品结合物与蓝宝石衬底分离。另外，与铜衬底等金属衬底相比，蓝宝石衬底是绝缘衬底，所以不能采用需要导电衬底充当阴极的电化学剥离转移法来转移二维材料。目前研究最彻底、使用最广泛的二维材料的转移方法是PMMA辅助转移。然而该法仍有不足之处，如何完整地剥离带有二维材料的PMMA膜，并且不产生裂纹、褶皱以及孔洞一直是研究者关注的焦点。近年来，基于二维材料转移方法的技术层出不穷。如“一种干法制备二维材料的TEM样品的方法”（ZL201710054114.8），本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种温度控制鼓泡剥离蓝宝石衬底生长的二维材料的装置，其特征在于，该装置包括恒温水浴仪（1）、自动控制样品剥离器（2）及检测显示仪（3）；/n所述恒温水浴仪（1）由恒温水浴锅（11）、数显控温表盘（12）及减震台（13）构成，所述恒温水浴锅（11）设有数个，各恒温水浴锅温度不同；数显控温表盘（12）设有温度显示屏（121）及温度调整操作键（122）；数个恒温水浴锅（11）彼此相连置于减震台（13）上；/n所述自动控制样品剥离器（2）由夹样操作臂（21）、夹杯操作臂（22）、滑轨（23）及综合控制柜（24）构成；所述夹样操作臂（21）、夹杯操作臂（22）设于滑轨（23）上，与综合控制柜（24）...

【技术特征摘要】
1.一种温度控制鼓泡剥离蓝宝石衬底生长的二维材料的装置，其特征在于，该装置包括恒温水浴仪（1）、自动控制样品剥离器（2）及检测显示仪（3）；
所述恒温水浴仪（1）由恒温水浴锅（11）、数显控温表盘（12）及减震台（13）构成，所述恒温水浴锅（11）设有数个，各恒温水浴锅温度不同；数显控温表盘（12）设有温度显示屏（121）及温度调整操作键（122）；数个恒温水浴锅（11）彼此相连置于减震台（13）上；
所述自动控制样品剥离器（2）由夹样操作臂（21）、夹杯操作臂（22）、滑轨（23）及综合控制柜（24）构成；所述夹样操作臂（21）、夹杯操作臂（22）设于滑轨（23）上，与综合控制柜（24）电连接；滑轨（23）与恒温水浴仪（1）相连；其中，夹样操作臂（21）设有自由移动第一伸缩臂（211），自由移动第一伸缩臂（211）上设有样品载物台（2121）及电动夹块（2122），电动夹块（2122）与...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴幸，陈新倩，徐何军，
申请(专利权)人：华东师范大学，
类型：发明
国别省市：上海;31