一种355nm紫外远心f-theta镜头制造技术

本实用新型专利技术公开了一种355nm紫外远心f‑theta镜头，包括沿入射光线传输方向依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜；第一透镜为弯月形负透镜，第二透镜为弯月型正透镜，第三透镜为平凸正透镜，第四透镜为弯月型正透镜，第五透镜为双凸正透镜，第六透镜为双平面保护窗口片。本实用新型专利技术通过特定结构光学系统的设置，使得远心F‑theta镜头的场曲、及像散降低非常显著；进一步，借助自由曲面的较高的设计自由度和灵活的空间布局，以及透镜组光焦度的合理分配，像散小于0.04mm，场曲控制在0.02mm内；远心度小于1°；适用于对平场及像散要求较高的紫外激光微精细加工或者紫外激光钻孔等对平场要求苛刻的领域。

A 355 nm UV telecentric f-theta lens

【技术实现步骤摘要】
一种355nm紫外远心f-theta镜头
本技术涉及一种355nm紫外远心f-theta镜头，属于355nm紫外远心f-theta镜头领域。
技术介绍
355nm紫外激光f-theta镜头主要用于各种玻璃、液晶屏、纺织品、薄片陶瓷、半导体硅片、IC晶粒、蓝宝石或聚合物薄膜等材料的打标、切割、钻孔、微细加工和表面处理等。355nm紫外远心f-theta镜头要求整场平整，场曲会导致最佳工作面弯曲，像散会造成X、Y两个方向线宽不一致或者钻孔变成椭圆，在激光微精细加工、激光钻孔加工等对平场要求更苛刻的场合，要求所使用的远心F-theta镜头尽量消除场曲、像散的不利影响。然而现有紫外的f-theta镜头的像散和场曲仍然较大，进而影响加工质量。例如公开号为CN101846790A的专利申请，从其图4可看出像散约为0.3mm；公开号为CN105527706A专利申请，从其图4可看出场曲约为0.08mm。因此，非常有必要进一步降低紫外远心扫描透镜残余的场曲及像散。且由于普通光学玻璃在紫外355nm波段有强烈的吸收，355nm紫外远心f-本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种355nm紫外远心f-theta镜头，其特征在于：包括沿入射光线传输方向依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜；第一透镜为弯月形负透镜，第二透镜为弯月型正透镜，第三透镜为平凸正透镜，第四透镜为弯月型正透镜，第五透镜为双凸正透镜，第六透镜为双平面保护窗口片。/n

【技术特征摘要】
1.一种355nm紫外远心f-theta镜头，其特征在于：包括沿入射光线传输方向依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜；第一透镜为弯月形负透镜，第二透镜为弯月型正透镜，第三透镜为平凸正透镜，第四透镜为弯月型正透镜，第五透镜为双凸正透镜，第六透镜为双平面保护窗口片。


2.如权利要求1所述的355nm紫外远心f-theta镜头，其特征在于：沿入射光线传输方向，第一透镜的两面依次为第一物侧面和第一像侧面，第一像侧面为使用扩展多项式表征的自由曲面，所使用的扩展多项式公式为：
其中，j＝[(m+n)2+m+3n]/2+1，z为自由曲面矢高，x和y为各面局部坐标，c为顶点曲率，k为圆锥系数，Cj为xmyn多项式系数，r为距离光轴镜面口径，m取值范围0～10，n取值范围0～10，归一化系数为1。


3.如权利要求1或2所述的355nm紫外远心f-theta镜头，其特征在于：-0.8<f1/f0<-0.4；2.0<f2/f0<2.5；1.0<f3/f0<2.0；2.0<f4/f0<3.0；2.0<f5/f0<2.5，其中，f1为第一透镜焦距，f2为第二透镜焦距，f3为第三透镜焦距，f4为第四透镜焦距，f5为第五透镜焦距，f0为系统总焦距。


4.如权利要求1或2所述的355nm紫外远心f-theta镜头，其特征在于：第一透镜的中心厚度为10±0.2mm，第二透镜的中心厚度为15±0.2mm，第三透镜的中心厚度为24±0.2mm，第四透镜的中心厚度为20±0.2mm，第五透镜的中心厚度为20±0.2mm，第六透镜的中心厚度为3±0.2mm。


5.如权利要求1或2所述的355nm紫外远心f-theta镜头，其特征在于：第一透镜的外径为50-68mm，第二透镜的外径为72-85mm，第三透镜的外径为100-108mm，第四透镜的外径为120-125mm，第五透镜的外径为135mm，第六透镜的外径为135mm。


6.如权利要求1或2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁思远，王国力，吴玉堂，朱敏，刘建芬，刘旭东，
申请(专利权)人：南京波长光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32