搬运系统以及搬运方法技术方案

本发明专利技术涉及搬运系统以及搬运方法。容易使悬挂式起重机在存储库区域内与规定区域之间移动而不使用特殊的搬运机械。搬运系统具备：具备起重机轨道、以及在保管部与交接口之间搬运物品的悬挂式起重机的存储库；在存储库区域外，沿着交接口以及处理装置的装载端口设置并延伸至存储库区域(规定区域)的高架搬运车轨道；在交接口与装载端口之间搬运物品的高架搬运车；以及连结轨道，起重机用行驶部能够经由连结轨道从起重机轨道进入高架搬运车轨道行驶至存储库区域。

Handling system and methods

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】搬运系统以及搬运方法
本专利技术涉及搬运系统以及搬运方法。
技术介绍
在半导体制造工厂等制造工厂中，配置有保管收纳半导体晶圆的FOUP或者收纳中间掩膜的中间掩膜盒等物品的存储库。存储库具备用于在多个保管架与交接口之间移载物品的起重机。作为该起重机公知有在被配置于顶棚的轨道上行驶的悬挂式起重机，为了提高物品的移载效率，提出了两种悬挂式起重机在共用的轨道上行驶的构成(例如，参照专利文献1)。专利文献1：国际公开第2016/178347号对于专利文献1所记载的存储库，两种悬挂式起重机虽在共用的轨道上行驶，但其行驶范围被限制在配置了存储库的一个存储库区域内。因此，在使该悬挂式起重机向其它的存储库区域移动时，或者为了维护而使悬挂式起重机向维护区域移动时，需要从轨道取下并搬运悬挂式起重机。但是，从轨道取下悬挂式起重机的作业麻烦且费事，作业者的负担大。并且，由于使用特殊的搬运设备搬运已取下的悬挂式起重机，所以不仅成本提高，而且存在搬运也需要时间这样的问题。
技术实现思路
本专利技术目的是提供一种能够容易地使悬挂式起重机在存本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种搬运系统，其具备：/n被配置于存储库区域内的存储库，所述存储库具备：在上下方向设置多层来保管物品的保管部、用于交接上述物品的交接口、沿着上述保管部以及上述交接口设置的起重机轨道、沿着上述起重机轨道行驶的起重机用行驶部、从上述起重机用行驶部垂下的桅杆、以及具有被上述桅杆引导地升降的物品移载部并且在上述保管部与上述交接口之间搬运物品的悬挂式起重机；/n高架搬运车轨道，其被设置于上述存储库区域之外，沿着上述交接口以及处理装置的装载端口延伸至规定区域；/n高架搬运车，其具有沿着上述高架搬运车轨道行驶的搬运车用行驶部、以及保持并升降物品的物品保持部，并且在上述交接口与上述装载端口之间搬运物品；以...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170630 JP 2017-1285691.一种搬运系统，其具备：
被配置于存储库区域内的存储库，所述存储库具备：在上下方向设置多层来保管物品的保管部、用于交接上述物品的交接口、沿着上述保管部以及上述交接口设置的起重机轨道、沿着上述起重机轨道行驶的起重机用行驶部、从上述起重机用行驶部垂下的桅杆、以及具有被上述桅杆引导地升降的物品移载部并且在上述保管部与上述交接口之间搬运物品的悬挂式起重机；
高架搬运车轨道，其被设置于上述存储库区域之外，沿着上述交接口以及处理装置的装载端口延伸至规定区域；
高架搬运车，其具有沿着上述高架搬运车轨道行驶的搬运车用行驶部、以及保持并升降物品的物品保持部，并且在上述交接口与上述装载端口之间搬运物品；以及
连结轨道，其连结上述起重机轨道与上述高架搬运车轨道，
上述起重机用行驶部能够从上述起重机轨道通过上述连结轨道进入上述高架搬运车轨道，在上述高架搬运车轨道行驶至上述规定区域，或者能够从上述规定区域进入上述高架搬运车轨道行驶至上述连结轨道，通过上述连结轨道进入上述起重机轨道而在上述起重机轨道行驶。


2.根据权利要求1所述的搬运系统，其中，
上述起重机轨道、上述高架搬运车轨道、以及上述连结轨道的与上述起重机用行驶部行驶的方向正交的剖面形状相同或者大致相同。


3.根据权利要求1或2所述的搬运系统，其中，
上述起重机用行驶部与上述搬运车用行驶部具备共用的车轮以及供上述车轮安装的行驶部主体。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的搬运系统，其中，
上述高架搬运车在从停止状态开始基于上述搬运车用行驶部的行驶时，使上述物品保持部上升到最上方位置之后，开始行驶。


5.根据权利要求4所述的搬运系统，其中，
上述起重机轨道被设置于使上述悬挂式起重机的上述桅杆通过，且禁止作业者的进入的作业者进入禁止区域的上方，
上述高架搬运车轨道被设置于允许作业者的通行的作业者通路的上方，
在上述悬挂式起重机进入上述高架搬运车轨道时，禁止作业者向上述桅杆通过的上述作业...

【专利技术属性】
技术研发人员：本告阳一，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP