【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石研磨盘的制备方法
本专利技术属于蓝宝石表面处理
,具体涉及一种蓝宝石研磨盘的制备方法。
技术介绍
蓝宝石具有较高的硬度、脆性和化学稳定性,属于难加工材料。但是蓝宝石以硬度高、透光性好及化学稳定等优点被广泛应用于半导体照明、智能穿戴设备窗口及精密仪器原件等领域。因此,蓝宝石表面加工的技术要求越来越高。传统游离磨料研磨、化学机械抛光蓝宝石加工工艺,其加工效率低、加工成本高、加工精度不稳定,很难实现自动化等缺点制约了蓝宝石晶体加工技术的发展。现阶段常用的研磨方案通常是以某种基质的载盘(如铜盘、锡盘、铁盘等)搭载游离磨料(如金刚石、碳化硅或碳化硼等)在聚氨酯研磨垫上对晶片进行单面或双面研磨,但这种方案往往不能兼顾研磨效率与表面质量。针对游离磨料研磨技术的众多不足,固结磨料研磨技术应运而生,固结磨料研磨技术是指将游离的磨料固结起来,制成专用磨具,在研磨机上对工件进行高速研磨的方法。在固结磨料研磨技术中,由于磨料固结于磨具中,加工过程中,不存在磨料飞溅的问题,可以通过提高磨具转速来提高加工效率,降低加工成 ...
【技术保护点】
1.一种蓝宝石研磨盘的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括以下步骤:/n步骤一.将18-24质量份碳化硼微粉、5-7质量份40 vt.%水玻璃和20-30质量份水混合后超声分散均匀,将混合物放入在马弗炉中,通入氩气保护气氛并升温至1000-1050℃,恒温15-25 min,然后自然冷却至室温;/n步骤二.将冷却后混合物溶解在蒸馏水中水洗,水洗后过滤、干燥;/n步骤三.取5-10质量份步骤二干燥后混合物、6-8质量份氧化铝空心球、0.1-0.5质量份表面活性剂、1-3质量份有机碱和10-15质量份酚醛树脂粉混合均匀,然后在模具中成形后,在150-200℃温度下加热固化。/n
【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石研磨盘的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括以下步骤:
步骤一.将18-24质量份碳化硼微粉、5-7质量份40vt.%水玻璃和20-30质量份水混合后超声分散均匀,将混合物放入在马弗炉中,通入氩气保护气氛并升温至1000-1050℃,恒温15-25min,然后自然冷却至室温;
步骤二.将冷却后混合物溶解在蒸馏水中水洗,水洗后过滤、干燥;
步骤三.取5-10质量份步骤二干燥后混合物、6-8质量份氧化铝空心球、0.1-0.5质量份表面活性剂、1-3质量份有机碱和10-15质量份酚醛树脂粉混合均匀,然后在模具中成形后,在150-200℃温度下加热固化。
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石研磨盘的制备方法,其特征在于,所述步骤一中碳化硼微粉粒径为23-61um。
3.根据权利要求1所述的一种蓝宝...
【专利技术属性】
技术研发人员:秦光临,杨华,陆昌程,
申请(专利权)人:江苏吉星新材料有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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