【技术实现步骤摘要】
一种基于CCD的激光位移探测器
本技术涉及位置监测
,特别涉及一种基于CCD的激光位移探测器,其适用于粒子加速器关键元部件相对位置变化的监测系统。
技术介绍
现有的激光位移传感器是利用激光技术进行测量的,由激光器、激光检测器和测量电路组成,按照测量原理,激光位移传感器原理分为激光三角测量法和激光回波分析法,激光三角测量法一般适用于高精度、短距离的测量,而激光回波分析法则用于远距离测量。激光三角测量法工作原理是激光发射器通过镜头将可见红色激光射向被测物体表面,经物体反射的激光通过接收器镜头,被内部的CCD线性相机接收,根据不同的距离,CCD线性相机可以在不同的角度下“看见”这个光点。根据这个角度及已知的激光和相机之间的距离,数字信号处理器就能计算出传感器和被测物体之间的距离。同时,光束在接收元件的位置通过模拟和数字电路处理,并通过微处理器分析,计算出相应的输出值,并在用户设定的模拟量窗口内,按比例输出标准数据信号。如果使用开关量输出,则在设定的窗口内导通,窗口之外截止。另外,模拟量与开关量输出可独立设置检测窗口。激光位移传感器采用回波分析原理来测量距离以达到一定程度的精度。传感器内部是由处理器单元、回波处理单元、激光发射器、激光接收器等部分组成。激光位移传感器通过激光发射器每秒发射一百万个激光脉冲到检测物并返回至接收器,处理器计算激光脉冲遇到检测物并返回至接收器所需的时间,以此计算出距离值,该输出值是将上千次的测量结果进行的平均输出。即所谓的脉冲时间法测量的。激光回波分析法适合于长距离检测,但测量精度相对于激光三 ...
【技术保护点】
1.一种基于CCD的激光位移探测器,其特征在于:包括激光器(1)、缩束器(3)、CCD探测器(4)、第一多轴定位调节台(51)、第二多轴定位调节台(52)、激光器固定架(7)及探测器固定架(6);激光器(1)固定于激光器固定架(7)并整体安装于定位基准的第一多轴定位调节台(51)上,缩束器(3)与CCD探测器(4)固定在探测器固定架(6)上并整体安装于被测基准的第二多轴定位调节台(52)上,激光器(1)与缩束器(3)、CCD探测器(4)通过调节多轴定位台实现中心对准。/n
【技术特征摘要】
1.一种基于CCD的激光位移探测器,其特征在于:包括激光器(1)、缩束器(3)、CCD探测器(4)、第一多轴定位调节台(51)、第二多轴定位调节台(52)、激光器固定架(7)及探测器固定架(6);激光器(1)固定于激光器固定架(7)并整体安装于定位基准的第一多轴定位调节台(51)上,缩束器(3)与CCD探测器(4)固定在探测器固定架...
【专利技术属性】
技术研发人员:何晓业,陈佳鑫,王巍,张海艇,汪昭义,
申请(专利权)人:中国科学技术大学,
类型:新型
国别省市:安徽;34
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