【技术实现步骤摘要】
一种可调节安装位置的基座支腿
本技术涉及高精密半导体生产设备安装领域,具体是一种可调节安装位置的基座支腿。
技术介绍
目前半导体行业飞速发展,半导体制程设备的升级换代也越来越快,相应半导体设备的安装改造也越来越多。在高精密半导体生产设备安装过程中,设备底部基座支腿常因现场施工的工况变化,或管道等其他设备干涉,导致焊接在基座上的支腿安装位置不正确,进而导致基座无法安装,且部分厂家无法提供现场工况图,导致基座只能现场测绘再进行设计,严重影响工期。
技术实现思路
鉴于以上内容,本技术提供一种可调节安装位置的基座支腿,该支腿上部设立锁紧装置,通过解锁与锁紧将支腿拆卸并移动到任意位置。一种可调节安装位置的基座支腿,包括支撑柱,封头板,地脚,加强板,连接套管A,连接套管B,螺栓,销轴,连接板。所述支撑柱下端通过焊接分别与封头板、地脚相连,上端通过焊接与加强板相连,所述加强板通过焊接与连接套管A,所述连接板通过焊接与连接套管B,所述销轴将连接套管A与连接套管B连接一体,所述螺栓通过焊接与连接板相连。优选 ...
【技术保护点】
1.一种可调节安装位置的基座支腿,包括支撑柱,封头板,地脚,加强板,连接套管A,连接套管B,螺栓,销轴,连接板,其特征在于,所述支撑柱下端通过焊接分别与封头板、地脚相连,上端通过焊接与加强板相连,所述加强板通过焊接与连接套管A,所述连接板通过焊接与连接套管B,所述销轴将连接套管A与连接套管B连接一体,所述螺栓通过焊接与连接板相连。/n
【技术特征摘要】
1.一种可调节安装位置的基座支腿,包括支撑柱,封头板,地脚,加强板,连接套管A,连接套管B,螺栓,销轴,连接板,其特征在于,所述支撑柱下端通过焊接分别与封头板、地脚相连,上端通过焊接与加强板相连,所述加强板通过焊接与连接套管A,所述连接板通过焊接与连接套管B,所述销轴将连接套管A与连接套管B连接一体,所述螺栓通过焊接与连接板相连。
2.根据权利要求1所述的一种可调节安装位置的基座支腿,其特征在于,所述支撑柱为方...
【专利技术属性】
技术研发人员:韩勇俊,尤健,张厚根,
申请(专利权)人:大连地拓重工有限公司,
类型:新型
国别省市:辽宁;21
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