基于滤波器的石英晶片的制备方法技术

本发明专利技术公开了基于滤波器的石英晶片的制备方法，选用Q值≥300万、低腐蚀隧道密度≤30条的石英原晶；石英原晶进行震荡切削，得到∮5.5mm的尺寸；晶片角度选取35°23′±30"，加工过程中，晶棒平磨角度控制在±3′以内，晶棒平面误差±0.02mm；切割后进行粗磨、改圆，然后晶片进行细磨；使用∮60mm的小直径筒，对晶片倒边，使晶片阻抗达到40Ω以内；晶片倒边后，使用氟化氢铵溶液恒温腐蚀，确保晶片频率集中，表面无花斑、无水印；对晶片进行角度筛选，确保晶片角度集中。本方法能有效的提高晶体参数一致性，使该系列产品可进行批产批量，并且得到产品性能较好。

The preparation method of quartz chip based on filter

【技术实现步骤摘要】
基于滤波器的石英晶片的制备方法
本专利技术涉及晶片领域，具体涉及基于滤波器的石英晶片的制备方法。
技术介绍
LST-28Mhz系列的晶片滤波器是应用户要求，所设计的一种输入输出端阻抗对称的分立式石英晶体滤波器，由于该晶体滤波器的带宽窄、常温下要求晶体中心频率精度高、高低温偏差小等要求，故对该新产品用关键材料要求高Q值，高精度切角，采用滚筒倒边工艺提高晶体参数一致性，使该系列产品具有批产批量生产后晶体滤波器参数一致性好、级联后滤波器相位小、阻带衰减好等特点。LST-28Mhz系列晶体滤波器的用途：该新品是飞机罗盘系统终端设备中的关键元器件，它对飞机接收系统中信号反馈回的杂波信号的干扰起到过滤作用。在接收机中采用该新品以提高接收机的频率纯度和相位噪声，使系统准确分辨出目标信号，捕捉到目标信号准确定位。但是，该系列现有的制备方法中，在达到高Q值，高精度切角的情况下，却不能达到批量生产，使用效率较低。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是现有的制备方法中，在达到高要求的同时，不能做到批量生产，使用效率较低，不本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.基于滤波器的石英晶片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/n(1)选用Q值≥300万、低腐蚀隧道密度≤30条的石英原晶；/n(2)石英原晶进行震荡切削，得到∮5.5mm的尺寸；/n(3)晶片角度选取35°23′±30"，加工过程中，晶棒平磨角度控制在±3′以内，晶棒平面误差±0.02mm；/n(4)切割后进行粗磨、改圆，然后晶片进行细磨；/n(5)使用∮60mm的小直径筒，对晶片倒边，使晶片阻抗达到40Ω以内；/n(6)晶片倒边后，使用氟化氢铵溶液恒温腐蚀，确保晶片频率集中，表面无花斑、无水印；/n(7)对晶片进行角度筛选，确保晶片角度集中。/n

【技术特征摘要】
1.基于滤波器的石英晶片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)选用Q值≥300万、低腐蚀隧道密度≤30条的石英原晶；
(2)石英原晶进行震荡切削，得到∮5.5mm的尺寸；
(3)晶片角度选取35°23′±30"，加工过程中，晶棒平磨角度控制在±3′以内，晶棒平面误差±0.02mm；
(4)切割后进行粗磨、改圆，然后晶片进行细磨；
(5)使用∮60mm的小直径筒，对晶片倒边，使晶片阻抗达到40Ω以内；
(6)晶片倒边后，使用氟化氢铵溶液恒温腐蚀，确保晶片频率集中，表面无花斑、无水印；
(7)对晶片进行角度筛选，确保晶片角度集中。


2.根据权利要求1所述的基于滤波器的石英晶片的制备方法，其特征在于，步...

【专利技术属性】
技术研发人员：王天雄，王显波，周禄雄，饶绍兵，
申请(专利权)人：四川省三台水晶电子有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51