玻璃基板的制造装置制造方法及图纸

提供一种玻璃基板的制造装置，能够抑制液体被吸入真空泵。玻璃基板(G)的制造装置(1)具备：负压维持用罐(3)，其将形成于平台(2)的吸引孔(15)维持为负压；以及真空泵(12)，其使负压维持用罐(3)内部为真空，通过吸引孔(15)的负压，将玻璃基板(G)吸附并固定于平台(2)。负压维持用罐(3)具有：平台连接口(26)，其与平台(2)连通；泵连接口(27)，其配置于平台连接口(26)的上方，并与真空泵(12)连通；以及分隔板(28)，其配置于平台连接口(26)与泵连接口(27)之间，并对负压维持用罐(3)的内部进行分隔。

Manufacturing device of glass substrate

【技术实现步骤摘要】
玻璃基板的制造装置
本技术涉及玻璃基板的制造装置的技术。
技术介绍
以往，已知有如下技术：在对玻璃基板的端面进行磨削加工等时，将玻璃基板吸附并固定于平台。例如如专利文献1的记载。在专利文献1中公开了具备形成有液体供给孔以及吸引孔的保持平台(平台)的吸附保持装置。吸附保持装置通过从液体供给孔供给水等液体来使玻璃板(玻璃基板)顺畅地移动，从而对玻璃板进行定位。然后，吸附保持装置将玻璃板吸附并固定于吸引孔。然而，在将玻璃基板吸附于平台时，通常利用具备真空泵、真空罐等的负压产生源。在专利文献2中公开了具备真空泵以及真空罐、且使玻璃基板吸附于多个吸附孔而固定于平台的玻璃板的制造装置。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2002-144180号公报专利文献2：WO2019/054127号公报
技术实现思路
技术要解决的课题然而，在如上述那样供给液体并对玻璃基板进行定位时，在利用负压产生源而将玻璃基板吸附并固定于吸引孔的方式中，有时在从吸引孔吸引的空气中混入液体。因此，液体有可能被吸入作为负压产生源的真空泵，成为真空泵的故障、不良情况的原因。因此，期求一种能够抑制液体被吸入真空泵的玻璃基板的制造装置。本技术的课题在于提供能够抑制液体被吸入真空泵的玻璃基板的制造装置。用于解决课题的方案本技术所要解决的课题如上，接下来对用于解决该课题的方案进行说明。即，本技术的玻璃基板的制造装置具备：平台，其具备吸引孔；负压维持用罐，其将所述吸引孔维持为负压；以及真空泵，其对所述负压维持用罐的内部进行减压，通过所述吸引孔的负压，将玻璃基板吸附并固定于所述平台，所述玻璃基板的制造装置的特征在于，所述负压维持用罐具有：平台连接口，其与所述平台连通；泵连接口，其配置于所述平台连接口的上方，并与所述真空泵连通；以及分隔板，其配置于所述平台连接口与所述泵连接口之间，并对所述负压维持用罐的内部进行分隔。根据这样的本技术的玻璃基板的制造装置，从平台连接口去向泵连接口的气流始终绕过分隔板。因此，例如，即使经由平台连接口被引入负压维持用罐内的空气中混入有液体，在该空气绕过分隔板时，仅液体的行进被该分隔板阻挡，从而该液体落下并从空气中分离，从而能够抑制液体经由泵连接口而被吸入真空泵。另外，在本技术的玻璃基板的制造装置中，优选的是，所述负压维持用罐具有管状构件，所述管状构件贯穿设置于所述分隔板，并将设置有所述平台连接口的第一空间部与设置有所述泵连接口的第二空间部连通。根据这样的本技术的玻璃基板的制造装置，与仅使分隔板的一部分开口相比，难以将空气直接从第一空间部向第二空间部运送。因此，即使在空气中混入有液体，也容易将液体从空气中分离。因此，能够抑制液体经由泵连接口而被吸入真空泵。另外，在本技术的玻璃基板的制造装置中，优选的是，所述分隔板具有切口部。根据这样的本技术的玻璃基板的制造装置，例如，即使流入第二空间部的空气中混入有液体，该液体也会经由切口部而向第一空间部流落。因此，能够抑制液体经由泵连接口而被吸入真空泵。另外，在本技术的玻璃基板的制造装置中，优选的是，所述切口部设置于俯视下与所述平台连接口以及所述泵连接口对置的一侧。根据这样的本技术的玻璃基板的制造装置，分隔板的切口部位于与平台连接口以及泵连接口分离开的位置。因此，即使通过分隔板的切口部而流入第二空间部的空气中混入有液体，该液体也不会立即到达泵连接口，从而能够更有效地抑制液体经由该泵连接口而被吸入真空泵。另外，即使经由平台连接口而流入第一空间部的空气中混入有液体，也容易在空气到达位于与平台连接口分离开的位置的切口部前将液体L分离，并借助该空气通过切口部时的势头，能够抑制液体被搬运至第二空间部的情况。另外，在本技术的玻璃基板的制造装置中，优选的是，所述玻璃基板的制造装置还具备液体排出用罐，所述液体排出用罐配置于所述负压维持用罐的下方，并与所述负压维持用罐连通。根据这样的本技术的玻璃基板的制造装置，能够使从流入负压维持用罐内的空气中分离出的液体立即向液体排出用罐流出并将其暂时贮存于液体排出用罐，之后将其向外部排出。即，从空气中分离出的液体能够不残留于负压维持用罐内而被直接隔离于液体排出用罐内，因此能够更有效地抑制液体经由泵连接口而被吸入真空泵。技术的效果作为本技术的效果，起到以下所示的效果。即，根据本技术的玻璃基板的制造装置，能够抑制液体被吸入真空泵。附图说明图1是示出本技术的一实施方式的玻璃基板的制造装置的整体结构的系统图。图2是示出平台的结构的图，且图2的(a)是平台的俯视图，图2的(b)是平台的剖视侧视图。图3是示出负压维持用罐的结构的图，且图3的(a)是负压维持用罐的剖视俯视图，图3的(b)是从图3的(a)中的箭头X的方向观察时的剖视侧视图。附图标记说明：1制造装置2平台3负压维持用罐4液体排出用罐12真空泵15吸引孔26平台连接口27泵连接口28分隔板29管状构件30切口部32第一空间部33第二空间部G玻璃基板L液体具体实施方式[玻璃基板G的制造装置1的整体结构]首先，使用图1以及图2对玻璃基板G的制造装置1(以下，简要记载为“制造装置1”)的整体结构进行说明。如图1所示，制造装置1主要具备平台2、负压维持用罐3、液体排出用罐4、平台流路5、罐流路6、第一泵流路7、第二泵流路8、第一控制阀9、第二控制阀10、第三控制阀11、真空泵12、压缩机13、第四控制阀14、以及压缩空气流路25等。平台2从下方将玻璃基板G以平置姿势支承。如图2的(a)所示，平台2以夹着并列形成的多个间隙的方式被分割为多个(例如，在本实施方式中为4个)构成构件2a～2d，在各构成构件2a～2d形成有多个吸引孔15、15…。在各个构成构件2a～2d，除了多个吸引孔15、15…之外，还形成有使液体L(例如，在本实施方式中为水)流出的多个液体供给口16、16…。并且，如图2的(b)所示，这些液体供给口16、16…通过液体供给流路17、17…而与例如由喷出泵等构成的液体供给源(未图示)分别连接。需要说明的是，在设置于上述构成构件2a～2d之间的多个间隙中，能够供用于将玻璃基板相对于平台2搬入或搬出的多个搬运带18、18…插穿。负压维持用罐3(参照图1)构成为所谓真空罐，通过对内部进行减压(维持为真空)而将吸引孔15维持为负压。负压维持用罐3具有使从吸引孔15吸引的空气以及液体L通过平台流路5(参照图1)流入内部、并且从流入至内部的空气中分离出液体L的功能。具体而言，如图1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种玻璃基板的制造装置，其具备：/n平台，其具备吸引孔；/n负压维持用罐，其将所述吸引孔维持为负压；以及/n真空泵，其对所述负压维持用罐的内部进行减压，/n通过所述吸引孔的负压，将玻璃基板吸附并固定于所述平台，/n所述玻璃基板的制造装置的特征在于，/n所述负压维持用罐具有：/n平台连接口，其与所述平台连通；/n泵连接口，其配置于所述平台连接口的上方，并与所述真空泵连通；以及/n分隔板，其配置于所述平台连接口与所述泵连接口之间，并对所述负压维持用罐的内部进行分隔。/n

【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板的制造装置，其具备：
平台，其具备吸引孔；
负压维持用罐，其将所述吸引孔维持为负压；以及
真空泵，其对所述负压维持用罐的内部进行减压，
通过所述吸引孔的负压，将玻璃基板吸附并固定于所述平台，
所述玻璃基板的制造装置的特征在于，
所述负压维持用罐具有：
平台连接口，其与所述平台连通；
泵连接口，其配置于所述平台连接口的上方，并与所述真空泵连通；以及
分隔板，其配置于所述平台连接口与所述泵连接口之间，并对所述负压维持用罐的内部进行分隔。


2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造装置，其特征在于，
所述负压维持...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥村弘和，森伸广，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP