显示装置制造方法及图纸

示例性实施例提供了一种显示装置，所述显示装置包括：显示部，被构造为包括显示部滤色器；以及外围部，设置在显示部的上侧处并包括用于检验显示部滤色器的对齐的检查图案。检查图案可包括具有颜色的多个滤色器和设置在多个滤色器的至少一侧处的参照图案。多个滤色器中的每种颜色的滤色器的数量对应于区域曝光工艺的拍摄的数量。多个滤色器之中的相邻滤色器可设置在不同的高度处。

【技术实现步骤摘要】
显示装置本申请要求于2018年7月13日在韩国知识产权局提交的第10-2018-0081629号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的所有内容通过引用包含于此。
本申请涉及一种显示装置，更具体地，涉及一种包括检查图案(inspectionpattern)的显示装置，该检查图案在区域曝光工艺期间能够确定图案的错位。
技术介绍
使用液晶显示器和有机发光二极管(OLED)显示器作为显示装置。显示装置可包括诸如基底以及堆叠在基底上的栅极绝缘层、数据布线、源电极、漏电极、光阻挡层(黑矩阵)、滤色器、钝化层等的多个薄膜层。为了形成所述多个薄膜层，使用导电层沉积工艺、光致抗蚀剂(PR)涂覆工艺、通过利用掩模的光致抗蚀剂的选择性曝光和显影的光致抗蚀剂图案形成工艺以及通过利用光致抗蚀剂图案作为掩模的蚀刻导电层的光刻工艺。另一方面，随着显示面板的尺寸增大，在制造包括显示面板的显示装置的过程中，能够在曝光设备中使用的掩模的尺寸受到限制。为了克服这个问题，已经使用了在曝光工艺中通过使用单个掩模多次曝光大尺寸的基底来形成薄膜图案的区本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示装置，所述显示装置包括：/n显示部，被构造为包括显示部滤色器；以及/n外围部，设置在所述显示部的上侧处并包括用于检验所述显示部滤色器的对齐的检查图案，/n其中，所述检查图案包括具有颜色的多个滤色器和设置在所述多个滤色器的至少一侧处的参照图案，所述多个滤色器中的每种颜色的滤色器的数量对应于区域曝光工艺的拍摄的数量，并且/n所述多个滤色器之中的相邻滤色器设置在不同的高度处。/n

【技术特征摘要】
20180713 KR 10-2018-00816291.一种显示装置，所述显示装置包括：
显示部，被构造为包括显示部滤色器；以及
外围部，设置在所述显示部的上侧处并包括用于检验所述显示部滤色器的对齐的检查图案，
其中，所述检查图案包括具有颜色的多个滤色器和设置在所述多个滤色器的至少一侧处的参照图案，所述多个滤色器中的每种颜色的滤色器的数量对应于区域曝光工艺的拍摄的数量，并且
所述多个滤色器之中的相邻滤色器设置在不同的高度处。


2.根据权利要求1所述的显示装置，其中：
所述多个滤色器之中的奇数滤色器设置在同一高度处，所述多个滤色器之中的偶数滤色器设置在同一高度处，并且
所述奇数滤色器和所述偶数滤色器设置在不同的高度处。


3.根据权利要求1所述的显示装置，其中：
所述检查图案设置在所述拍摄的拍摄边界部处，并且
其中，存在所述拍摄的至少一个所述拍摄边界部。


4.根据权利要求1所述的显示装置，其中：
所述多个滤色器之间的间距与所述显示部滤色器之间的间距相同。


5.根据权利要求4所述的显示装置，其中：
所述检查图案设置在所述拍摄的所述拍摄边界部处...

【专利技术属性】
技术研发人员：李炫旭，崔宰豪，金承来，成在民，蔡旼澈，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR