调光镜及其制造方法、调光装置制造方法及图纸

本申请公开一种调光镜及其制造方法、调光装置，属于光学领域。调光镜包括调光层，调光层包括多个调光单元，调光单元包括第一驱动结构、第二驱动结构和弹性支撑柱，第一驱动结构、第二驱动结构和弹性支撑柱围成调光腔，第一驱动结构和第二驱动结构被配置为通过调整调光腔的间隙宽度调整调光单元的调光角度，从而调整调光镜的响应波长，本申请有助于提高调光镜的灵活性。本申请用于调光镜。

Dimming mirror and its manufacturing method, dimming device

【技术实现步骤摘要】
调光镜及其制造方法、调光装置
本申请涉及光学
，特别涉及一种调光镜及其制造方法、调光装置。
技术介绍
调光镜是一种用于对光线进行调节的光学元件，常用的调光镜包括透镜、棱镜或反射镜等。菲涅尔透镜是一种典型的透镜，具有体积小、重量轻、结构紧凑、聚光性好和成像性好等优点，在国防、航空、工业生产和民用等各个领域获得了广泛的应用，大型、高精度的菲涅尔透镜的设计和制造成为目前国内外透镜的主要研究方向。目前，通常采用有机材料或者玻璃，通过铸造成型技术制造菲涅尔透镜。但是通过铸造成型技术制造的菲涅尔透镜的响应波长是固定的，其灵活性较差。
技术实现思路
本申请提供一种调光镜及其制造方法、调光装置。所述技术方案如下：第一方面，提供一种调光镜，包括：衬底基板，以及，位于所述衬底基板上的调光层，所述调光层包括多个调光单元；所述调光单元包括：相对的第一驱动结构和第二驱动结构，以及，位于所述第一驱动结构与所述第二驱动结构之间的弹性支撑柱，所述第一驱动结构、所述第二驱动结构和所述弹性支撑柱围成调光腔；其中，所述第一驱动结构和所述第二驱动结构被配置为通过调整所述调光腔的间隙宽度调整所述调光单元的调光角度。可选地，所述调光腔为空腔；或者，所述调光腔内具有弹性折射介质。可选地，所述第一驱动结构呈板状，所有所述调光单元的所述第一驱动结构为一体结构；所述第二驱动结构呈块状，所述第二驱动结构的形状包括圆形或多边形中的至少一种。可选地，所述调光单元还包括：承载膜，位于所述弹性支撑柱远离所述第一驱动结构的一侧，所述第二驱动结构位于所述承载膜远离所述第一驱动结构的一侧。可选地，所有所述调光单元的所述承载膜为一体结构。可选地，所述调光镜还包括：保护层，位于所述调光层远离所述衬底基板的一侧。可选地，所述调光镜还包括：反射层，位于所述调光层远离所述衬底基板的一侧。可选地，所述第一驱动结构和所述第二驱动结构均为驱动电极；或者，所述第一驱动结构和所述第二驱动结构均为电磁驱动结构；或者，所述第一驱动结构和所述第二驱动结构均为热膨胀驱动结构；或者，所述第一驱动结构和所述第二驱动结构均为气压驱动结构。可选地，所述多个调光单元阵列排布形成同心的调光圆和多个调光圆环，所述多个调光圆环沿远离所述调光圆的方向等间隔分布在所述调光圆的外侧；或者，所述多个调光单元阵列排布形成相互平行的多个线性调光条，所述多个线性调光条等间隔排布；或者，所述多个调光单元阵列排布形成多个弧形调光条，所述多个弧形调光条等间隔排布在同一扇形区域上且共圆心。可选地，所述调光镜包括：双凸透镜、平凸透镜或平凹透镜中的任意一种。第二方面，提供一种调光镜的制造方法，包括：提供衬底基板；在所述衬底基板上形成调光层，所述调光层包括多个调光单元，所述调光单元包括：相对的第一驱动结构和第二驱动结构，以及，位于所述第一驱动结构与所述第二驱动结构之间的弹性支撑柱，所述第一驱动结构、所述第二驱动结构和所述弹性支撑柱围成调光腔；其中，所述第一驱动结构和所述第二驱动结构被配置为通过调整所述调光腔的间隙宽度调整所述调光单元的调光角度。可选地，所述在所述衬底基板上形成调光层，包括：在所述衬底基板上形成第一驱动层，所述第一驱动层包括第一驱动结构；在所述第一驱动层远离所述衬底基板的一侧形成弹性支撑层，所述弹性支撑层包括多个弹性支撑柱；在所述弹性支撑层远离所述衬底基板的一侧形成第二驱动层，所述第二驱动层包括多个第二驱动结构；其中，所述第一驱动结构与每个所述第二驱动结构，以及位于所述第一驱动结构与所述每个所述第二驱动结构之间的所述弹性支撑柱围成所述调光腔。可选地，在所述第一驱动层远离所述衬底基板的一侧形成弹性支撑层之后，所述方法还包括：在所述弹性支撑层远离所述衬底基板的一侧形成承载膜；在所述弹性支撑层远离所述衬底基板的一侧形成第二驱动层，包括：在所述承载膜远离所述衬底基板的一侧形成所述第二驱动层。可选地，所述在所述衬底基板上形成调光层，包括：在所述衬底基板上形成第一驱动层，所述第一驱动层包括第一驱动结构；在所述第一驱动层远离所述衬底基板的一侧形成弹性支撑层，所述弹性支撑层包括多个弹性支撑柱；在承载基板上形成第二驱动层，所述第二驱动层包括多个第二驱动结构；将形成有所述第二驱动层的所述承载基板与形成有所述第一驱动层和所述弹性支撑层的所述衬底基板键合，使所述第一驱动结构与每个所述第二驱动结构，以及位于所述第一驱动结构与所述每个所述第二驱动结构之间的所述弹性支撑柱围成所述调光腔；剥离所述承载基板。可选地，在所述承载基板上形成所述第二驱动层之后，所述方法还包括：在所述第二驱动层远离所述承载基板的一侧形成承载膜；所述将形成有所述第二驱动层的所述承载基板与形成有所述第一驱动层和所述弹性支撑层的所述衬底基板键合，包括：将形成有所述第二驱动层和所述承载膜的所述承载基板与形成有所述第一驱动层和所述弹性支撑层的所述衬底基板键合。可选地，所述方法还包括：在所述调光层远离所述衬底基板的一侧形成保护层。可选地，所述方法还包括：在所述调光层远离所述衬底基板的一侧形成反射层。第三方面，提供一种调光装置，包括第一方面任一所述的调光镜。本申请提供的技术方案带来的有益效果是：本申请实施例提供的调光镜及其制造方法、调光装置，由于调光镜包括调光层，调光层包括多个调光单元，调光单元包括第一驱动结构、第二驱动结构和弹性支撑柱，第一驱动结构、第二驱动结构和弹性支撑柱围成调光腔，可以通过第一驱动结构和第二驱动结构调整调光腔的间隙宽度，进而调整调光单元的调光角度，从而调整调光镜的响应波长，因此有助于提高调光镜的灵活性。应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本申请。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是相关技术提供的一种菲涅尔透镜的正视图；图2是相关技术提供的一种菲涅尔透镜的剖面图；图3是本申请提供的一种调光镜的结构示意图；图4是本申请实施例提供的一种调光镜的部分区域的放大图；图5是本申请实施例提供的一种调光单元的正视图；图6是本申请实施例提供的另一种调光镜的部分区域的放大图；图7是本申请实施例提供的再一种调光镜的部分区域的放大图；图8是本申请实施例提供的又一种调光镜的部分区域的放大图；图9是本申请实施例提供的一种调光镜的正视图；图10是本申请实施例提供的另一种调光镜的正视图；图11是本申请实施例提供的再本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种调光镜，其特征在于，包括：/n衬底基板，以及，位于所述衬底基板上的调光层，所述调光层包括多个调光单元；/n所述调光单元包括：相对的第一驱动结构和第二驱动结构，以及，位于所述第一驱动结构与所述第二驱动结构之间的弹性支撑柱，所述第一驱动结构、所述第二驱动结构和所述弹性支撑柱围成调光腔；/n其中，所述第一驱动结构和所述第二驱动结构被配置为通过调整所述调光腔的间隙宽度调整所述调光单元的调光角度。/n

【技术特征摘要】
1.一种调光镜，其特征在于，包括：
衬底基板，以及，位于所述衬底基板上的调光层，所述调光层包括多个调光单元；
所述调光单元包括：相对的第一驱动结构和第二驱动结构，以及，位于所述第一驱动结构与所述第二驱动结构之间的弹性支撑柱，所述第一驱动结构、所述第二驱动结构和所述弹性支撑柱围成调光腔；
其中，所述第一驱动结构和所述第二驱动结构被配置为通过调整所述调光腔的间隙宽度调整所述调光单元的调光角度。


2.根据权利要求1所述的调光镜，其特征在于，
所述调光腔为空腔；或者，
所述调光腔内具有弹性折射介质。


3.根据权利要求1所述的调光镜，其特征在于，
所述第一驱动结构呈板状，所有所述调光单元的所述第一驱动结构为一体结构；
所述第二驱动结构呈块状，所述第二驱动结构的形状包括圆形或多边形中的至少一种。


4.根据权利要求1所述的调光镜，其特征在于，所述调光单元还包括：
承载膜，位于所述弹性支撑柱远离所述第一驱动结构的一侧，所述第二驱动结构位于所述承载膜远离所述第一驱动结构的一侧。


5.根据权利要求1所述的调光镜，其特征在于，所述调光镜还包括：
保护层，位于所述调光层远离所述衬底基板的一侧。


6.根据权利要求1至5任一项所述的调光镜，其特征在于，
所述第一驱动结构和所述第二驱动结构均为驱动电极；或者，
所述第一驱动结构和所述第二驱动结构均为电磁驱动结构；或者，
所述第一驱动结构和所述第二驱动结构均为热膨胀驱动结构；或者，
所述第一驱动结构和所述第二驱动结构均为气压驱动结构。


7.根据权利要求1至5任一项所述的调光镜，其特征在于，
所述多个调光单元阵列排布形成同心的调光圆和多个调光圆环，所述多个调光圆环沿远离所述调光圆的方向等间隔分布在所述调光圆的外侧；或者，
所述多个调光单元阵列排布形成相互平行的多个线性调光条，所述多个线性调光条等间隔排布；或者，
所述多个调光单元阵列排布形成多个弧形调光条，所述多个弧形调光条等间隔排布在同一扇形区域上且共圆心。


8.根据权利要求1至5任一项所述的调光镜，其特征在于，
所述调光镜包括：双凸透镜、平凸透镜或平凹透镜中的任意一种。


9.一种调光镜的制造方法，其特征在于，包括：
提供衬底基板；
在所述衬底基板上形成调光层，所述调光层包括多个调光单元，所述调光单元包括：相对的第一驱动结构和第二驱动结构，以及，位于所述第一驱动结构与所述第二驱动结构之间的弹性支撑柱...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭景文，李延钊，陶永春，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11