一种静电力反馈挠性摆式加速度计制造技术

本发明专利技术公开一种静电力反馈挠性摆式加速度计，包括表芯，表芯包括硅摆片(10)、光学位移传感器、静电力反馈力矩器和底座(9)，硅摆片(10)包括定片(1)、动片(4)和挠性支承梁(2)，静电力反馈力矩器包括静电力反馈上极板(3)、静电力反馈下极板(8)和两者之间的动片(4)，光学位移传感器中的可动光窗(5)固定在动片(4)上，检测动片位移，静电力反馈上极板(3)、定片(1)和静电力反馈下极板(8)叠装固定在底座(9)上，动片(4)与静电力反馈上极板(3)及静电力反馈下极板(8)的间隙中设有限位凸台(11)。本发明专利技术通过结合光学位移检测、静电力反馈和整体摆，应用于加速度计测量，可实现精度为μg0/ppm级的加速度测量。

A flexible pendulum accelerometer with electrostatic feedback

【技术实现步骤摘要】
一种静电力反馈挠性摆式加速度计
本专利技术属于高精度仪器仪表
，具体涉及一种静电力反馈挠性摆式加速度计。
技术介绍
加速度计是测量运动载体线加速度的仪表，是惯性导航系统的核心器件之一。在高精度惯性导航领域，应用最广泛的加速度计产品仍以摆式加速度计为主，具有结构简单、体积小、寿命长、精度和灵敏度高、温度系数小、性能稳定等优点，广泛应用于飞机、导弹、火箭、船舶、车辆的惯性导航系统，以及石油钻井、建筑、堤坝的倾角测量以及地震监测等领域。现有摆式加速度计中，摆片和固定极板组成差分电容位移传感器，当有外界加速度信号输入时，摆片受到惯性力的作用发生摆动，从而使得差分电容位移传感器的电容值发生改变，通过伺服电路的C-V读出电路，使得差分电容变化转化为电压信号，再通过信号调理电路反馈输出相应的电流，输入到永磁式力矩器的力矩器线圈，从而产生平衡力矩去抵消外部惯性加速度产生的惯性力，达到了闭环系统的力平衡，输入给力矩器的反馈电流的大小正比于输入惯性加速度的值，从而实现了加速度的度量。上述永磁式力矩器为一种电磁力反馈力矩器，关键部件为永磁磁钢，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种静电力反馈挠性摆式加速度计，包括表芯，其中所述表芯包括硅摆片(10)、光学位移传感器、静电力反馈力矩器和底座(9)，所述硅摆片(10)包括定片(1)、动片(4)和连接这两部分的挠性支承梁(2)，所述光学位移传感器包括光源(6)、光电接收器(7)及可动光窗(5)，所述静电力反馈力矩器包括静电力反馈上极板(3)、静电力反馈下极板(8)和介于两者之间间隙中的动片(4)，可动光窗(5)固定在动片(4)上，并介于光源(6)和光电接收器(7)之间，用于检测动片(4)的位移，静电力反馈上极板(3)、定片(1)和静电力反馈下极板(8)三者叠装在一起，并固定在底座(9)上，所述动片(4)的上下表面、静电...

【技术特征摘要】
1.一种静电力反馈挠性摆式加速度计，包括表芯，其中所述表芯包括硅摆片(10)、光学位移传感器、静电力反馈力矩器和底座(9)，所述硅摆片(10)包括定片(1)、动片(4)和连接这两部分的挠性支承梁(2)，所述光学位移传感器包括光源(6)、光电接收器(7)及可动光窗(5)，所述静电力反馈力矩器包括静电力反馈上极板(3)、静电力反馈下极板(8)和介于两者之间间隙中的动片(4)，可动光窗(5)固定在动片(4)上，并介于光源(6)和光电接收器(7)之间，用于检测动片(4)的位移，静电力反馈上极板(3)、定片(1)和静电力反馈下极板(8)三者叠装在一起，并固定在底座(9)上，所述动片(4)的上下表面、静电力反馈上极板(3)的下表面和静电力反馈下极板(8)的上表面有金属镀层(12)，且动片(4)分别和静电力反馈上极板(3)、静电力反馈下极板(8)形成的间隙中设有限位凸台(11)。


2.根据权利要求1所述的静电力反馈挠性摆式加速度计，其中所述限位凸台(11)布置在动片(4)的上下表面上。

【专利技术属性】
技术研发人员：张习文，李鹏飞，白晓荣，梁璞，魏渊，雷宏杰，朱普辉，吴斌，
申请(专利权)人：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所，
类型：发明
国别省市：陕西;61