一种粉尘过滤装置及粉尘过滤控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及粉尘过滤技术领域，公开一种粉尘过滤装置及粉尘过滤控制方法。其中粉尘过滤装置包括过滤腔、与过滤腔连通的排污管路和冲洗管路，其中过滤腔包括与外部设备连通的进气管路、与气源连通的吹扫管路和与真空泵连通的抽气管路；过滤腔内设置有过滤网，进气管路位于过滤网的一侧，抽气管路和吹扫管路位于过滤网的另一侧；排污管路设置在过滤网靠近进气管路的一侧；冲洗管路能冲洗过滤网上的粉尘。本发明专利技术还公开一种粉尘过滤控制方法。本发明专利技术通过过滤腔内的过滤网实现对粉尘的过滤；通过冲洗管路冲洗过滤网上的粉尘；通过排污管路排出粉尘；通过吹扫管路吹干冲洗过后的过滤网；总体上有效地保证了排气管路的通畅。

A dust filter and its control method

【技术实现步骤摘要】
一种粉尘过滤装置及粉尘过滤控制方法
本专利技术涉及粉尘过滤
，尤其涉及一种粉尘过滤装置及粉尘过滤控制方法。
技术介绍
在采用等离子体增强化学的气相沉积法(PECVD)镀膜过程中会产生大量粉尘，该粉尘长时间积累后，会堵塞排气管路；并且进入真空泵之后，导致真空泵工作异常和失效，一般情况下会在真空泵的前端加装过滤网来阻止粉尘进入，但长时间积累后导致真空堵塞，无法达到预定真空效果；另外，过滤出的粉尘大多继续堆积在排气管路内，大量堆积的粉尘同样存在堵塞排气管路的问题。
技术实现思路
基于以上所述，本专利技术的目的在于提供一种粉尘过滤装置及粉尘过滤控制方法，能有效地对排气管路内的粉尘进行过滤、冲洗和收集，保证排气管路的通畅。为达上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种粉尘过滤装置，包括过滤腔，所述过滤腔包括与外部设备连通的进气管路、与气源连通的吹扫管路和与真空泵连通的抽气管路，所述过滤腔内设置有过滤网，所述进气管路位于所述过滤网的一侧，所述抽气管路和所述吹扫管路位于所述过滤网的另一侧；所述过滤腔还设置有排本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种粉尘过滤装置，其特征在于，包括过滤腔(1)，所述过滤腔(1)包括与外部设备连通的进气管路(2)、与气源连通的吹扫管路(3)和与真空泵连通的抽气管路(4)，所述过滤腔(1)内设置有过滤网(11)，所述进气管路(2)位于所述过滤网(11)的一侧，所述抽气管路(4)和所述吹扫管路(3)位于所述过滤网(11)的另一侧；/n所述过滤腔(1)还设置有排污管路(5)，所述排污管路(5)设置在所述过滤网(11)靠近所述进气管路(2)的一侧；/n冲洗管路(6)，被配置为能冲洗所述过滤网(11)上的粉尘。/n

【技术特征摘要】
1.一种粉尘过滤装置，其特征在于，包括过滤腔(1)，所述过滤腔(1)包括与外部设备连通的进气管路(2)、与气源连通的吹扫管路(3)和与真空泵连通的抽气管路(4)，所述过滤腔(1)内设置有过滤网(11)，所述进气管路(2)位于所述过滤网(11)的一侧，所述抽气管路(4)和所述吹扫管路(3)位于所述过滤网(11)的另一侧；
所述过滤腔(1)还设置有排污管路(5)，所述排污管路(5)设置在所述过滤网(11)靠近所述进气管路(2)的一侧；
冲洗管路(6)，被配置为能冲洗所述过滤网(11)上的粉尘。


2.根据权利要求1所述的粉尘过滤装置，其特征在于，所述进气管路(2)上设置有第一阀门(21)；所述吹扫管路(3)上设置有第二阀门(31)；所述抽气管路(4)上设置有第三阀门(41)；所述冲洗管路(6)上设置有第四阀门(61)，所述排污管路(5)设置有第五阀门(51)。


3.根据权利要求2所述的粉尘过滤装置，其特征在于，所述气源和所述第二阀门(31)之间还设置有加热带(32)，所述加热带(32)被配置为能加热所述气源提供的气体。


4.根据权利要求1所述的粉尘过滤装置，其特征在于，所述排污管路(5)上还设置有粉尘计数器(52)。


5.根据权利要求2所述的粉尘过滤装置，其特征在于，所述粉尘过滤装置还包括与所述过滤网(11)连接的超声波振荡器(12)，所述超声波振荡器(12)被配置为能打散所述过滤网(11)上的粉尘。


6.根据权利要求5所述的粉尘过滤装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊，闫岩，高崇，梁舰，冯敏强，廖良生，
申请(专利权)人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32