一种用于激光在线测厚仪的全自动MSA量具及其检验方法技术

本发明专利技术涉及激光测距技术领域，尤其是一种用于激光在线测厚仪的全自动MSA量具及其检验方法，包括包括安装在激光在线测厚仪上的夹具组，所述夹具组为标准厚度量块夹具组，标准厚度量块夹具组上安装不少于4张不同厚度的标准厚度量块，本发明专利技术能够快速的按照MSA评测标准和方法完成，保证计量精度检验一致性和标准性。

A fully automatic MSA measuring tool for laser on-line thickness gauge and its inspection method

【技术实现步骤摘要】
一种用于激光在线测厚仪的全自动MSA量具及其检验方法
本专利技术涉及激光测距
，具体领域为一种用于激光在线测厚仪的全自动MSA量具及其检验方法。
技术介绍
激光在线测厚仪是一种无辐射危害、高精度的板/带/箔材料生产线自动厚度测量和质量监控仪器。近一二十年在世界范围应用发展迅速，已成为自动厚度测量设备仪器的一个大门类。激光在线测厚技术建立在上世纪末兴起的光电像素测量技术基础上，实现材料厚度测微精度跨越式提升；同时无辐射危害的光学测量方法替代传统工业中有危害射线类测厚仪，从而在环境安全和测量精度两方面基础性意义卓著。目前激光在线测厚仪基本是采用横向梁臂安装上下两只激光位移传感器，传感器检测梁臂中间被测材料表面上下位移差得到厚度测量的方法。可以实现宽度量程(测量区域)内对被测材料进行扫描式和定点式测量，精度分辨可以达到0.1微米级。激光在线测厚仪发展历史不长，目前国内还没有制定如射线测厚仪那样国家标准，特别是在最基础的仪器精度检验中没有一种无人为参与、全自动运行，并符合MSA(MeasurementSystemAnalysis，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于激光在线测厚仪的全自动MSA量具，其特征在于：包括安装在激光在线测厚仪上的夹具组，所述夹具组为标准厚度量块夹具组，标准厚度量块夹具组上安装不少于4张不同厚度的标准厚度量块。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于激光在线测厚仪的全自动MSA量具，其特征在于：包括安装在激光在线测厚仪上的夹具组，所述夹具组为标准厚度量块夹具组，标准厚度量块夹具组上安装不少于4张不同厚度的标准厚度量块。


2.根据权利要求1所述的一种用于激光在线测厚仪的全自动MSA量具，其特征在于：所述的标准厚度量块夹具组设置有两副，两副标准厚度量块夹具组分别安装在激光在线测厚仪的量域两端。


3.根据权利要求1所述的一种用于激光在线测厚仪的全自动MSA量具，其特征在于：所述的夹具组与激光在线测厚仪之间设置有微型水平尺可调装置，通过微型水平尺可调装置调节夹具组上标准量块与测厚仪测量平面一致。


4.根据权利要求1所述的一种用于激光在线测厚仪的全自动MSA量具，其特征在于：所述的夹具组上还设置有自动清吹装置，通过自动清吹装置能够在开始自动检验过程前自动清洁标准量块表面。


5.一种用于激光在线测厚仪的检验方法，其特征在于：其步骤为：
(1)检测数据采集：检测数据包括量域两端的标准厚度量块的厚度数据，量域的两端分别被配置至少两个厚度不同的标准厚度量块；
(2)检测数据分析：计算检测数据的拟合回归方程，获得常量和斜率并回归方程式，通过回归方程式计算得出标准差和R-sq；
(3)生成检测结果：根据标准差和R-sq得出线性分析结果、偏倚分析结果和稳定性分析结果。


6.根据权利要求5所述的一种用于激光在线测厚仪的检验方法，其特征在于：根据步骤(2)，常量和斜率的计算公式为：
回归线的斜率：
回归线的截距：
其中，a为斜率，b为截距，xi为标片厚度i的参考值，为所有标片厚度的平均参...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶超，吕杰，马长生，连军，
申请(专利权)人：常州铂美思自动化系统有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32