一种陶瓷靶材模具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种陶瓷靶材模具，包括两横向排列的固定边板和两纵向排列设置在两固定边板之间的移动边板，在每个固定边板的至少上侧面或者下侧面设置有沿着固定边板的长度方向延伸的滑槽，在两移动边板上对应固定边板设置有滑槽的上侧面或者下侧面设置有沿着所述横向延伸的连接板，所述连接板的两端延伸到与对应侧的固定边板对应，在连接板的两端设置有与滑槽配合的滑块，每个所述移动边板横向上的尺寸与两固定边板之间的距离一致。本实用新型专利技术陶瓷靶材模具的模框尺寸可以调节，大大减少了靶材的制造成本。

A mold for ceramic target

【技术实现步骤摘要】
一种陶瓷靶材模具
本技术属于陶瓷靶材的制造领域，尤其涉及一种陶瓷靶材模具。
技术介绍
成型是平面陶瓷靶材生产的必要过程。模压成型又以其成本低，速度快，适合规模生产成为目前平面陶瓷靶材成型的主要手段；模压成型需要使用到靶材成型模具，普通的平面陶瓷靶材模具由模框和上下模冲组成，模框是一体结构，尺寸固定不可以调节，一组模具仅适合生产一种尺寸的靶材。平面陶瓷靶材是用于磁控溅射设备的溅射镀膜源，不同的镀膜线对靶材的尺寸要求不一样，且在靶材的使用过程中普遍存在拼接的现象(将尺寸较小的几片靶材拼成尺寸较大的靶材)，这就导致靶材尺寸类型繁多，生产过程，企业需要准备数量庞大的不同尺寸的模具，不仅增加了制模的费用，增加生产成本，使模具管理繁琐，而且若需要临时购制模具，将会延长交货期将，易造成产品交货时间延误，严重影响企业竞争力。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种陶瓷靶材模具，该模具两相对的侧板能够调节相互之间的距离，进而能够生产出不同规格的陶瓷靶材。为达到以上目的，本技术采用的技术方案为：一种陶瓷靶材模具，其特征在于：包括两横向排列的固定边板和两纵向排列设置在两固定边板之间的移动边板，在每个固定边板的至少上侧面或者下侧面设置有沿着固定边板的长度方向延伸的滑槽，在两移动边板上对应固定边板设置有滑槽的上侧面或者下侧面设置有沿着所述横向延伸的连接板，所述连接板的两端延伸到与对应侧的固定边板对应，在连接板的两端设置有与滑槽配合的滑块，每个所述移动边板横向上的尺寸与两固定边板之间的距离一致。优选地，在每个固定边板的上侧面和下侧面均设置有所述滑槽，在每个移动边板的上侧面和下侧面均设置有所述连接板。优选地，至少在其中一个所述滑槽内设置有沿着所述横向延伸的调节螺杆，所述调节螺杆的两端可旋转地支撑在位于滑槽两端的固定边板上，所述滑块与对应的连接螺杆螺纹连接。优选地，位于不同连接板上的滑块的与调节螺杆配合的螺纹的旋向相反。优选地，所述调节螺杆的一端延伸出固定边板，并且在调节螺杆延伸出固定边板的一端上设置有用以转动调节螺杆的转动手柄。优选地，所述固定边板上且位于滑槽两端的位置处设置有锁定螺杆，所述锁定螺杆与固定边板螺纹连接并且锁定螺杆的轴线与调节螺杆的轴线垂直，所述锁定螺杆能够选择性地抵靠在调节螺杆上。优选地，还包括多个沿所述横向尺寸不同的上模和下模，每个上模和下模沿纵向上的尺寸与两固定边板之间的距离相同。优选地，所述上模的沿着所述横向的两侧设置有沿着所述横向延伸的凸起，所述下模的沿着所述横向的两侧设置有沿着所述横向延伸的凸起，所述上模或者下模的凸起能够抵靠在对应侧的固定边板的上侧面或者下侧面上。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：该模具在纵向上的尺寸能够调节，能够根据需要调节尺寸，能够满足不同规格靶材的制造需求，避免了为每一种规格的靶材提供一类模具，降低了靶材的制造成本。同时，通过调节螺杆来对移动边板进行驱动，操作方便。附图说明图1为本技术一种尺寸可调平面陶瓷靶材模具的立体结构图；图2为图1中I处的局部放大图；图3为图1的俯视图；图4为图3中A-A处的截面图；图5是带有上模和下模的模具的主视图；图6是上模或者下模的右视图。具体实施方式以下描述用于揭露本技术以使本领域技术人员能够实现本技术。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。参照图1至图4对本技术一种陶瓷靶材模具的实施例做进一步说明。一种陶瓷靶材模具，包括两块横向设置的固定边板6和设置在两固定边板6之间的两块纵向设置的移动边板1，两固定边板6和两移动边板1围城了模框。两固定边板6之间距离为第一距离，第一距离保持不变，即两固定边板6不可移动地被固定。两移动边板1的宽度与第一距离相同，每个移动边板1的沿宽度方向的两侧抵靠在对应侧的固定边板6的内侧壁上，两移动边板1之间的距离为第二距离，第二距离可以调节，即两移动边板1能够沿着固定边板6的长度方向来回移动。两块所述固定边板6的上侧面均设有沿固定边板6长度方向延伸的倒T型的滑槽4，两块所述移动边板1的上侧面均设有沿移动边板1长度方向设置的连接板2，每个所述连接板2的两端延伸到对应的固定边板6的上方，并且每个连接板2的两端设置有与滑槽4滑动配合的滑块3，所述滑块3安装在对应固定边板6的T型滑槽4内。通过移动两块移动边板1从而调节两块移动边板1之间的距离，使两块移动边板1和两块固定边板6形成不同尺寸的模框。当然，可以在每个固定边板6的上侧和下侧都设置所述滑槽4，在移动边板1的上侧和下侧都设置所述连接板2，每个连接板2的两端均设置与滑槽4配合的滑块3，这样能够使移动边板1的移动更加稳定。所述模具还包括多个不同尺寸的上模10和多个与上模10配套的下模11，上模10、下模11、固定边板6以及移动边板1围成所需靶材的形状。所述上模10和下模11均为板状结构，并且所述上模10和下模11的宽度与第一距离相同，多个所述上模10的长度不同，多个所述下模10的长度也不同，多个不同长度的上模10与对应的下模11的长度相同，通过调整第二距离，使上模10和下模11卡在固定边板6和移动边板1围成空间的端口处。通过选取不同长度的下模10和上模11并调整第二距离即可制造出不同尺寸的模具。进一步，所述上模10和下模11沿着其宽度方向的两侧均设置有凸起12，所述凸起12沿着所述上模10或者下模11的宽度方向向外延伸，这样所述上模10和下模11通过凸起12能够抵靠在固定边板6的上侧或者下侧上以保证上模10和下模11的稳定性。所述上模10的凸起12位于上模10靠上的位置，下模11的凸起12位于下模12靠下的位置，以保证至少部分上模10和下模11能够插入到固定边板6与移动边板1所围成的模框内。为了方便第二距离的调节，其中一所述固定边板6的滑槽4内设有沿固定边板6长度方向延伸的调节螺杆5，所述调节螺杆5的两端支撑在对应的滑槽4两端的固定边板6上，调节螺杆5可旋转。对应的滑块3与调节螺杆5螺纹连接，通过转动调节螺杆5能够带动移动边板1移动。进一步，两移动边板1上的对应的滑块3的螺纹旋向相反，这样当调节螺杆5转动时，能够带动两移动边板1相向或者反向移动进而实现第二距离的调节。当然，为了保证调节的稳定性，可以在每一个滑槽4内设置所述调节螺杆5。为了方便调节螺杆5的转动，所述调节螺杆5的一端延伸出固定边板6，所述调节螺杆5延伸出固定边板6的一端设有转动手柄9，所述转动手柄9的一端与调节螺杆5转动连接。所述固定边板6上且对应调节螺杆5的一端的位置处设置有锁定螺杆8，锁定螺杆8与固定边板6螺纹连接，并且锁定螺杆8的轴线与调节螺杆5的轴线垂直，通过旋拧，锁定螺杆8能够沿着其轴线移动并能够抵靠在调节螺杆5上进而能够锁定调节螺杆5，并且通过反向旋转，锁定螺杆8远离调节螺杆5进而实现对调节螺杆5的解锁。为了方便本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种陶瓷靶材模具，其特征在于：包括两横向排列的固定边板和两纵向排列设置在两固定边板之间的移动边板，在每个固定边板的至少上侧面或者下侧面设置有沿着固定边板的长度方向延伸的滑槽，在两移动边板上对应固定边板设置有滑槽的上侧面或者下侧面设置有沿着所述横向延伸的连接板，所述连接板的两端延伸到与对应侧的固定边板对应，在连接板的两端设置有与滑槽配合的滑块，每个所述移动边板横向上的尺寸与两固定边板之间的距离一致。/n

【技术特征摘要】
1.一种陶瓷靶材模具，其特征在于：包括两横向排列的固定边板和两纵向排列设置在两固定边板之间的移动边板，在每个固定边板的至少上侧面或者下侧面设置有沿着固定边板的长度方向延伸的滑槽，在两移动边板上对应固定边板设置有滑槽的上侧面或者下侧面设置有沿着所述横向延伸的连接板，所述连接板的两端延伸到与对应侧的固定边板对应，在连接板的两端设置有与滑槽配合的滑块，每个所述移动边板横向上的尺寸与两固定边板之间的距离一致。


2.根据权利要求1所述的一种陶瓷靶材模具，其特征在于，在每个固定边板的上侧面和下侧面均设置有所述滑槽，在每个移动边板的上侧面和下侧面均设置有所述连接板。


3.根据权利要求1或2所述的一种陶瓷靶材模具，其特征在于，至少在其中一个所述滑槽内设置有沿着所述横向延伸的调节螺杆，所述调节螺杆的两端可旋转地支撑在位于滑槽两端的固定边板上，所述滑块与对应的连接螺杆螺纹连接。


4.根据权利要求3所述的一种陶瓷靶材模具，其特征在于，位于不同连接板...

【专利技术属性】
技术研发人员：付秋平，刘渊，严伟，罗军，聂盛强，
申请(专利权)人：贵阳学院，
类型：新型
国别省市：贵州;52