取向特性测定方法、取向特性测定程序及取向特性测定装置制造方法及图纸

取向特性测定系统(1)具备：照射光学系统(5)，其朝向配置于透明性基板(S1)上的试样照射激发光；检测光学系统(11)，其引导自试样发出的荧光；光检测器(13)，其检测荧光；旋转机构(9)，其变更试样的荧光出射侧的面的垂线与检测光学系统(11)的光轴(L2)所成的角(φ)；及计算机(15)，其计算试样的取向参数(S)；计算机(15)具有：旋转机构控制部(32)，其控制旋转机构(9)；分布取得部(34)，其将光强度的角度依赖性分布标准化而取得光强度的角度依赖性分布；区域特定部(35)，其基于光强度的角度依赖性分布而特定出极大区域的光强度；及参数计算部(36)，其基于由试样的膜厚及折射率决定的线性关系及极大区域的光强度而计算取向参数(S)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】取向特性测定方法、取向特性测定程序及取向特性测定装置
本专利技术涉及一种取向特性测定方法、取向特性测定程序、及取向特性测定装置。
技术介绍
近年来，由于利用有机EL(ElectroLuminescence(电致发光))材料等的器件的高效率化，因而有机EL材料等的试样的分子取向的评估及控制的重要性日趋提高。在现有的评估方法中，通过比较与依赖于有机EL材料的分子的取向秩序的荧光光谱的p偏振光成分的角度依赖性特性相关的测定结果、以及该角度依赖性特性的模拟结果，而决定表示有机EL材料的面内分子取向秩序的取向参数(参照下述非专利文献1)。现有技术文献非专利文献非专利文献1：TakeshiKomino、其他6名、“Electroluminescencefromcompletelyhorizontallyorienteddyemolecules”、APPLIEDPHYSICSLETTERS108，241106(2016)
技术实现思路
专利技术所要解决的问题在上述非专利文献1记载的取向参数的决定方法中，为了决定取向参数而需要进行与角度依赖性特性相关的复杂的模拟计算。因此，有决定取向参数时的运算时间变长的倾向。实施方式的目的在于提供一种取向特性测定方法、取向特性测定程序、及取向特性测定装置。解决问题的技术手段本专利技术的实施方式是取向特性测定方法。取向特性测定方法是使用具有规定的折射率且朝向以规定的膜厚配置于具有透光性的基板上的试样照射照射光的照射光学系统、对伴随着照射光的照射而自试样发出的检测光进行导光的检测光学系统、及检测检测光的光检测器而计算试样的取向参数的方法，所述取向特性测定方法具备：检测步骤，其一边变更试样的检测光的出射侧的面的垂线与检测光学系统的光轴所成的角，一边使用光检测器检测检测光而输出检测信号；取得步骤，其基于自检测信号取得的光强度的角度依赖性分布，以所成的角为0度的光强度，将所成的角为规定范围的光强度标准化，而取得经标准化的光强度的角度依赖性分布；特定步骤，其基于经标准化的光强度的角度依赖性分布，特定存在于光强度成为极小的角度与90度之间的极大区域的光强度；及计算步骤，其基于由规定的膜厚及规定的折射率决定的光强度及与取向参数关联的值之间的线性关系、以及极大区域的光强度，计算取向参数。或者，本专利技术的实施方式是取向特性测定程序。取向特性测定程序是用于基于使用检测装置检测检测光而得到的检测信号，计算试样的取向参数的程序，该检测装置包含：照射光学系统，其具有规定的折射率，且朝向以规定的膜厚配置于具有透光性的基板上的试样照射照射光；检测光学系统，其对伴随着照射光的照射自试样发出的检测光进行导光；及光检测器，其一边变更试样的检测光的出射侧的面的垂线与检测光学系统的光轴所成的角，一边检测检测光；所述取向特性测定程序使计算机执行下述处理：取得处理，其基于自检测信号得到的光强度的角度依赖性分布，以所成的角为0度的光强度，将所成的角为规定范围的光强度标准化，而取得经标准化的光强度的角度依赖性分布；特定处理，其基于经标准化的光强度的角度依赖性分布，特定存在于光强度成为极小的角度与90度之间的极大区域的光强度；及计算处理，其基于由规定的膜厚及规定的折射率决定的光强度及与取向参数关联的值之间的线性关系、以及极大区域的光强度，计算取向参数。或者，本专利技术的实施方式是取向特性测定装置。取向特性测定装置具备：照射光学系统，其具有规定的折射率，且朝向以规定的膜厚配置于具有透光性的基板上的试样照射照射光；检测光学系统，其对伴随着照射光的照射而自试样发出的检测光进行导光；光检测器，其检测检测光而输出检测信号；驱动机构，其变更试样的检测光的出射侧的面的垂线与检测光学系统的光轴所成的角；控制部，其以变更所成的角的方式控制驱动机构；及处理装置，其基于一边变更所成的角一边得到的检测信号而计算试样的取向参数；处理装置具有：取得部，其基于从检测信号得到的光强度的角度依赖性分布，以所成的角为0度的光强度，将所成的角为规定范围的光强度标准化，而取得经标准化的光强度的角度依赖性分布；特定部，其基于经标准化的光强度的角度依赖性分布，特定存在于光强度成为极小的角度与90度之间的极大区域的光强度；及计算部，其基于由规定的膜厚及规定的折射率决定的光强度及与取向参数关联的值之间的线性关系、以及极大区域的光强度，计算取向参数。专利技术的效果根据实施方式的取向特性测定方法、取向特性测定程序、及取向特性测定装置，可通过有效率的运算而简便地测定试样的分子取向特性。附图说明图1是显示实施方式所涉及的取向特性测定系统的概略构成图。图2是显示图1的取向特性测定系统的光学系统的详细构成的图。图3是显示图1的计算机的功能构成的方块图。图4是显示包含图1的计算机的计算机系统的硬件构成的方块图。图5是显示通过图3的检测信号取得部33取得的分光光谱数据的值的一个例子的图。图6是显示通过图3的分布取得部34产生的光强度分布数据的一个例子的图。图7是显示通过现有文献的公式化而得到的光强度分布的图。图8是显示根据观测角度α1为临界角以下时的式得到的光强度分布的图。图9是显示根据观测角度α1大于临界角时的式得到的光强度分布的图。图10是概念地显示具有各种分子取向特性的材料层S2中的发光分子的排列状态的图。图11是显示分子的取向方向的角度θ与材料层S2的厚度方向的关系的图。图12是显示分子的取向方向的角度θ与取向参数S的关系的图。图13是显示现有方法中的荧光的光强度的角度依赖性特性的模拟结果的图。图14是显示储存于图1的计算机的线性关系的数据的特性的图。图15是显示本实施方式所涉及的取向特性测定方法的流程图。具体实施方式以下，一边参照附图，一边针对取向特性测定方法、取向特性测定程序、及取向特性测定装置的实施方式进行详细的说明。此外，在说明中，针对相同要素或具有相同功能的要素使用相同符号，而省略重复的说明。(取向特性测定系统的整体构成)图1是显示一实施方式所涉及的取向特性测定装置及检测装置即取向特性测定系统的概略构成图。图1所示的取向特性测定系统1是测定有机EL材料等的有机材料的分子取向特性的系统，具备：光源3、照射光学系统5、圆柱透镜7、旋转机构(驱动机构)9、检测光学系统11、光检测器13、计算机15、输出装置17、及输入装置19。另外，作为测定对象的试样SU优选地使用在由玻璃、石英、树脂材料等的透光性材料构成的平板状的透明性基板S1上，将由作为分子取向的测定对象的有机材料构成的材料层S2以规定的膜厚配置而成的试样。透明性基板S1的厚度并不限定于规定的厚度，例如为0.7mm～1mm左右，材料层S2的膜厚例如为数nm，材料层S2通过在透明性基板S1上蒸镀或涂布而形成。光源3是朝向用于激发材料层S2的有机材料的试样SU照射规定的波长成分的激发光(照射光)的装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种取向特性测定方法，其特征在于，/n是使用照射光学系统、检测光学系统及光检测器来计算试样的取向参数的方法，所述照射光学系统具有规定的折射率，且朝向以规定的膜厚配置于具有透光性的基板上的所述试样照射照射光，所述检测光学系统对伴随着所述照射光的照射而自所述试样发出的检测光进行导光，所述光检测器检测所述检测光，/n所述取向特性测定方法具备：/n检测步骤，其一边变更所述试样的所述检测光的出射侧的面的垂线与所述检测光学系统的光轴所成的角，一边使用所述光检测器检测所述检测光而输出检测信号；/n取得步骤，其基于自所述检测信号得到的光强度的角度依赖性分布，以所述所成的角为0度时的所述光强度，将所述所成的角为规定范围的所述光强度标准化，而取得经标准化的光强度的角度依赖性分布；/n特定步骤，其基于所述经标准化的光强度的角度依赖性分布，特定存在于光强度成为极小的角度与90度之间的极大区域的光强度；及/n计算步骤，其基于由所述规定的膜厚及所述规定的折射率决定的光强度及与所述取向参数关联的值之间的线性关系、以及所述极大区域的光强度，计算所述取向参数。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170523 JP 2017-1019261.一种取向特性测定方法，其特征在于，
是使用照射光学系统、检测光学系统及光检测器来计算试样的取向参数的方法，所述照射光学系统具有规定的折射率，且朝向以规定的膜厚配置于具有透光性的基板上的所述试样照射照射光，所述检测光学系统对伴随着所述照射光的照射而自所述试样发出的检测光进行导光，所述光检测器检测所述检测光，
所述取向特性测定方法具备：
检测步骤，其一边变更所述试样的所述检测光的出射侧的面的垂线与所述检测光学系统的光轴所成的角，一边使用所述光检测器检测所述检测光而输出检测信号；
取得步骤，其基于自所述检测信号得到的光强度的角度依赖性分布，以所述所成的角为0度时的所述光强度，将所述所成的角为规定范围的所述光强度标准化，而取得经标准化的光强度的角度依赖性分布；
特定步骤，其基于所述经标准化的光强度的角度依赖性分布，特定存在于光强度成为极小的角度与90度之间的极大区域的光强度；及
计算步骤，其基于由所述规定的膜厚及所述规定的折射率决定的光强度及与所述取向参数关联的值之间的线性关系、以及所述极大区域的光强度，计算所述取向参数。


2.如权利要求1所述的取向特性测定方法，其特征在于，
还具备：选择步骤，其从针对多个膜厚与多个折射率的每一组合预先存储的多个所述线性关系之中，选择与所述规定的膜厚及所述规定的折射率对应的线性关系。


3.如权利要求1或2所述的取向特性测定方法，其特征在于，
还具备：决定步骤，其基于由使用者输入的与折射率及膜厚相关的参数，决定所述线性关系。


4.如权利要求1～3中任一项所述的取向特性测定方法，其特征在于，
在所述特定步骤中，特定存在于光强度成为极小的角度与90度之间的极大值的光强度。


5.一种取向特性测定程序，其特征在于，
是用于基于使用检测装置检测检测光而得到的检测信号，计算试样的取向参数的程序，所述检测装置包含：照射光学系统，其具有规定的折射率，且朝向以规定的膜厚配置于具有透光性的基板上的所述试样照射照射光；检测光学系统，其对伴随着所述照射光的照射而自所述试样发出的检测光进行导光；及光检测器，其一边变更所述试样的所述检测光的出射侧的面的垂线与所述检测光学系统的光轴所成的角，一边检测所述检测光，
所述取向特性测定程序使计算机执行如下处理：
取得处理，其基于自所述检测信号得到的光强度的角度依赖性分布，以所述所成的角为0度的所述光强度，将所述所成的角为规定范围的所述光强度标准化，而取得经标准化的光强度的角度依赖性分布；
特定处理，其基于所述经标准化的光强度的角度依赖性分布，特定存在于光强度成为极小的角度与9...

【专利技术属性】
技术研发人员：细川清正，江浦茂，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP