微机械构件和用于制造微机械构件的方法技术

本发明专利技术涉及一种微机械构件(1)，尤其是转速传感器，具有具有主延伸平面的衬底(10)和至少一个质量振子(12)，质量振子(12)通过一个或多个弹簧元件(13)相对于衬底(10)能振动地支承，其中，至少一个弹簧元件(13)具有第一弹簧部分元件(14)和第二弹簧部分元件(15)，第一弹簧部分元件(14)和第二弹簧部分元件(15)在垂直于主延伸平面的垂直方向(18)上叠置地布置并且在该垂直方向(18)上彼此间隔开。本发明专利技术涉及一种制造微机械构件(1)的方法。

Micromechanical components and methods for manufacturing them

【技术实现步骤摘要】
微机械构件和用于制造微机械构件的方法
本专利技术涉及一种微机械构件和一种用于制造微机械构件的方法。
技术介绍
在现有技术中以各种不同的实施方式已知微机械构件及其制造方法。在出版物DE19537814A1中例如说明了一种用于制造微机械传感器加速度传感器和转速传感器的方法。利用这种和类似的方法，产生也运动的硅结构，通过确定电容变化来测量其运动。这类方法的特征和进一步的讨论是，在第一步骤中通过蚀刻工艺制造可运动的硅结构，其中，在硅层中以大的纵横比产生沟槽(DE4241045C1)。在第二步骤中去除硅层下方的牺牲层(大多为氧化物层，参见例如DE4317274A1)。因此，获得了可相对于底座自由运动的硅结构。此外，由DE102011080978A1已知一种方法，利用该方法可将多个可运动的MEMS结构上下叠置地布置。用这种和其他OMM技术(表面微机械技术)可以构建转速传感器。在所有这些方法中关键的是，功能层的结构化不是完全垂直地进行并且总是存在沟槽角度(即通过蚀刻产生的结构的侧壁的角度)的一定制造偏差。此外，总是存在沟槽结构的宽度一定制造偏差。趋势本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.微机械构件(1)，尤其是转速传感器，具有具有主延伸平面的衬底(10)和至少一个质量振子(12)，其中，质量振子(12)通过一个或多个弹簧元件(13)相对于衬底(10)能振动地支承，其特征在于，至少一个弹簧元件(13)具有第一弹簧部分元件(14)和第二弹簧部分元件(15)，其中，第一弹簧部分元件(14)和第二弹簧部分元件(15)在垂直于主延伸平面的垂直方向(18)上叠置地布置并且在该垂直方向(18)上彼此间隔开。/n

【技术特征摘要】
20180627 DE 102018210482.41.微机械构件(1)，尤其是转速传感器，具有具有主延伸平面的衬底(10)和至少一个质量振子(12)，其中，质量振子(12)通过一个或多个弹簧元件(13)相对于衬底(10)能振动地支承，其特征在于，至少一个弹簧元件(13)具有第一弹簧部分元件(14)和第二弹簧部分元件(15)，其中，第一弹簧部分元件(14)和第二弹簧部分元件(15)在垂直于主延伸平面的垂直方向(18)上叠置地布置并且在该垂直方向(18)上彼此间隔开。


2.根据权利要求1所述的微机械构件(1)，其中，所述第一弹簧部分元件(14)和第二弹簧部分元件(15)之间的垂直距离大于所述第一弹簧部分元件(14)的垂直延伸尺度和所述第二弹簧部分元件(15)的垂直延伸尺度。


3.根据权利要求1或2所述的微机械构件(1)，其中，在所述第一弹簧部分元件(14)和第二弹簧部分元件(15)之间至少在部分区域(28)中布置加强结构(27)。


4.根据权利要求3所述的微机械构件(1)，其中，所述加强结构(27)具有较高的刚度和/或所述弹簧部分元件(14,15)在所述加强结构(27)的区域(28)中具有较大的宽度。


5.根据前述权利要求中任一项所述的微机械构件(1)，其中，所述第一弹簧部分元件(14)和第二弹簧部分元件(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·赖因穆特，R·毛尔，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE