标记位置检测装置、描绘装置及标记位置检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术的描绘装置包括作为检测被工作台保持的基板上的标记的位置的标记位置检测装置的功能。描绘装置在使工作台移动期间，获取表示基板上的包括标记的设计上的位置的第一区域的第一图像(83a)和表示与第一区域仅一部分重叠的第二区域的两个第二图像(83b)。而且，合成第一图像(83a)和第二图像(83b)而生成合成图像(85)。描绘装置基于合成图像(85)求取标记的位置。由此，能够容易地扩大视野而不降低拍摄部的分辨率，并且能够降低基板上的标记的位置的检测错误。

Mark position detection device, drawing device and mark position detection method

【技术实现步骤摘要】
标记位置检测装置、描绘装置及标记位置检测方法
本专利技术涉及一种检测基板上的标记的位置的技术，优选用于在基板上描绘图案的描绘装置。
技术介绍
以往，向基板照射光，直接在基板上描绘图案的描绘装置被用于各种场合。这样的描绘方法也被称为直接成像。在描绘之前，利用拍摄部读取形成于基板上的被称为对准标记的标记的位置，求取标记的位置与设计上的位置的偏移量。而且，基于偏移量求取基板的位置、伸缩量、应变量等，参照这些信息实时地修改描绘数据并同时进行描绘。由此，从而实现配合基板的位置偏移及变形而高精度地进行描绘。作为这样的描绘装置，例如能够列举出日本特开2015-64461号公报所公开的装置。直接成像适用于对基板的位置偏移及变形大且具有挠性的基板的描绘。但是，因基板的种类及质量不同，在支撑基板的工作台上，标记的位置有时会发生大的偏移。例如，在具有挠性的基板的情况下，由于制造基板时的切割精度低且操作精度也低，因此，将基板载置于工作台时的标记的位置偏移变大。另外，在具有挠性的基板的情况下，基板的伸缩及应变等变形大也是标记的位置偏移的原因。其结果，在拍摄标记时，标记位于拍摄范围外的频率变高。一旦标记的位置的检测失败，则生产线会停止，生产力会大幅下降。为了即使在标记的位置与期望的位置大大地偏移也能够拍摄，需要例如使拍摄部远离工作台，或者，降低光学系统的倍率来扩大拍摄范围。在该情况下，图像的分辨率降低，标记的位置的检测精度降低。为了维持分辨率，需要使成像传感器的像素数变多，但在该情况下，拍摄部变为高价，并且拍摄部物理上变大。r>
技术实现思路
本专利技术的目的在于，容易地扩大视野而不降低拍摄部的分辨率，从而降低标记的位置的检测错误。本专利技术提供一种标记位置检测装置，检测被工作台保持的基板上的标记的位置。本专利技术优选的一实施方式的标记位置检测装置具有：工作台，保持基板；拍摄部，获取形成于所述基板上的标记的图像；移动机构，在与所述基板的主面平行的方向上，使所述工作台相对于所述拍摄部相对地移动；拍摄控制部，通过控制所述拍摄部及所述移动机构，获取表示所述基板上的包括所述标记的设计上的位置的第一区域的第一图像和表示与所述第一区域仅一部分重叠的第二区域的第二图像；图像合成部，合成所述第一图像和所述第二图像而生成合成图像；以及位置获取部，基于所述合成图像，求取所述标记相对于所述工作台的位置。根据本专利技术，能够容易地扩大视野而不降低拍摄部的分辨率，并且能够降低基板上的标记的位置的检测错误。优选地，所述第一区域及所述第二区域分别具有相互垂直的长边和短边，所述第一区域和所述第二区域在与所述短边大致平行的方向上排列。更优选地，所述图像合成部在求取所述第二图像相对于所述第一图像的相对位置时，利用所述第一区域及所述第二区域的所述短边与连接所述第一区域的中心和所述第二区域的中心的直线所形成的角度。优选地，所述移动机构使所述工作台相对于所述拍摄部在移动方向上相对地且直线状地移动，所述拍摄部在所述工作台相对于所述拍摄部的相对移动过程中获取所述第一图像及所述第二图像。优选地，所述移动机构使所述工作台相对于所述拍摄部在移动方向上相对地且直线状地移动，所述拍摄部获取在所述移动方向上排列的奇数个的多个区域的图像，所述多个区域分别与相邻区域仅一部分重叠，所述第一区域是所述多个区域中的中央的区域，所述第二区域是与所述第一区域相邻的一个区域。优选地，所述合成图像中的所述第一图像与其他图像重叠的部位的像素值是所述第一图像的像素值。在优先的方式中，标记位置检测装置还具有其他拍摄部，该其他拍摄部获取形成在所述基板上的其他标记的图像，所述拍摄控制部通过控制所述其他拍摄部及所述移动机构，获取表示所述基板上的包括所述其他标记的设计上的位置的其他第一区域的其他第一图像和表示与所述其他第一区域仅一部分重叠的其他第二区域的其他第二图像，所述图像合成部合成所述其他第一图像和所述其他第二图像而生成其他合成图像，所述合成图像的尺寸与所述其他合成图像的尺寸相同。优选地，所述基板具有挠性。本专利技术还提供一种描绘装置，在基板上描绘图案。描绘装置具有：上述标记位置检测装置，检测形成于基板上的多个标记的位置；修改部，基于所述多个标记的位置修改描绘数据；描绘头，向所述工作台上的所述基板照射调制后的光；以及描绘控制部，通过控制所述移动机构及所述描绘头，基于修改后的描绘数据在所述基板上进行描绘。本专利技术还提供一种标记位置检测方法，检测被工作台保持的基板上的标记的位置。标记位置检测方法包括：工序a)，获取表示被工作台保持的基板上的包括标记的设计上的位置的第一区域的第一图像；工序b)，获取表示与所述第一区域仅一部分重叠的第二区域的第二图像；工序c)，合成所述第一图像和所述第二图像而生成合成图像；工序d)，基于所述合成图像，求取所述标记相对于所述工作台的位置。参考附图，通过下面的本专利技术的详细说明，使上述目的及其他目的、特征、方式及优点明确化。附图说明图1是表示描绘系统的结构的框图。图2是表示装置主体的立体图。图3是表示装置主体的一部分的侧视图。图4是将计算机的功能结构与周边结构一同表示的框图。图5是表示描绘装置的动作的流程的图。图6是表示基板上的标记的配置的一个例子的俯视图。图7是例示作为拍摄对象的基板上的区域的图。图8是用于说明图像合成部的处理的图。图9是用于说明图像合成部的处理的图。附图标记的说明：1描绘装置(标记位置检测装置)8描绘数据9基板31描绘头41工作台43工作台移动机构51拍摄部83a第一图像83b第二图像85合成图像92标记93a第一区域93b第二区域211拍摄控制部212图像合成部213位置获取部214修改部215描绘控制部S11～S15步骤具体实施方式图1是表示本专利技术的一个实施方式的描绘系统100的结构的框图。描绘系统100是向印刷布线基板等基板上的感光材料照射光而在该感光材料上描绘布线等图案的系统。优选地，基板为具有挠性的印刷布线基板。作为基板，能够使用其他各种基板，可以是刚性基板或者用于电路的布线以外的基板。描绘系统100具有计算机101和描绘装置1。描绘装置1包括作为检测基板上的标记的位置的标记位置检测装置的功能。计算机101用于生成表示应描绘于基板上的整体图案的设计数据。设计数据例如是表示整体图案的矢量数据。描绘装置1具有计算机21和装置主体10。计算机21负责装置主体10的整体控制。计算机21也根据设计数据生成装置主体10中所使用的描绘数据。计算机101、计算机21及装置主体10相互可通信地连接。图2是表示装置主体10的立体图。在图2中，将相互正交的三个方向作为X方向、Y方向及Z方向并用箭头表示(在其他图中同样)。在图2的例子中，X方向及Y方向本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种标记位置检测装置，检测被工作台保持的基板上的标记的位置，其中，/n所述标记位置检测装置具有：/n工作台，保持基板；/n拍摄部，获取形成于所述基板上的标记的图像；/n移动机构，在与所述基板的主面平行的方向上，使所述工作台相对于所述拍摄部相对地移动；/n拍摄控制部，通过控制所述拍摄部及所述移动机构，获取表示所述基板上的包括所述标记的设计上的位置的第一区域的第一图像和表示与所述第一区域仅一部分重叠的第二区域的第二图像；/n图像合成部，合成所述第一图像和所述第二图像而生成合成图像；以及/n位置获取部，基于所述合成图像，求取所述标记相对于所述工作台的位置。/n

【技术特征摘要】
20180622 JP 2018-1189881.一种标记位置检测装置，检测被工作台保持的基板上的标记的位置，其中，
所述标记位置检测装置具有：
工作台，保持基板；
拍摄部，获取形成于所述基板上的标记的图像；
移动机构，在与所述基板的主面平行的方向上，使所述工作台相对于所述拍摄部相对地移动；
拍摄控制部，通过控制所述拍摄部及所述移动机构，获取表示所述基板上的包括所述标记的设计上的位置的第一区域的第一图像和表示与所述第一区域仅一部分重叠的第二区域的第二图像；
图像合成部，合成所述第一图像和所述第二图像而生成合成图像；以及
位置获取部，基于所述合成图像，求取所述标记相对于所述工作台的位置。


2.根据权利要求1所述的标记位置检测装置，其中，
所述第一区域及所述第二区域分别具有相互垂直的长边和短边，
所述第一区域和所述第二区域在与所述短边大致平行的方向上排列。


3.根据权利要求2所述的标记位置检测装置，其中，
所述图像合成部在求取所述第二图像相对于所述第一图像的相对位置时，利用所述第一区域及所述第二区域的所述短边与连接所述第一区域的中心和所述第二区域的中心的直线所形成的角度。


4.根据权利要求1所述的标记位置检测装置，其中，
所述移动机构使所述工作台相对于所述拍摄部在移动方向上相对地且直线状地移动，
所述拍摄部在所述工作台相对于所述拍摄部的相对移动过程中获取所述第一图像及所述第二图像。


5.根据权利要求1所述的标记位置检测装置，其中，
所述移动机构使所述工作台相对于所述拍摄部在移动方向上相对地且直线状地移动，
所述拍摄部获取在所述移动方向上排列的奇数个的多个区域的图像，所述多个区域分别与相邻区域仅一部分重叠，
所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：田中尚武，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：日本;JP