【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本技术属一种气体充放、回收及净化的设备，特别是SF6气体充放、回收及净化的装置。现有国产或引进的同类设备中，SF6气体的净化是用净化管路系统中的分子筛过滤器对流动体气进行吸附净化，经这样吸附净化的SF6气体一般达不到再次直接使用的要求，由真空泵直接排入大气的残留SF6气体中往往含有SO2和HF等氟化物，既污染环境，又浪费了一部分SF6气体。本技术的目的是提供一种SF6气体充放、回收及净化装置的设计方案，该装置采用流动净化与储存净化相结合的方法，净化效果比较好，回收净化后的气体能直接再次使用，真空泵排气口设有净化装置，减少了对环境的污染和SF6气体的浪费。本技术的具体实施方案是SF6气体充放、回收及净化装置由容器、阀门。压缩机、真空泵、热交换器、高压储气罐和分子筛过滤器用管道连接，真空泵的出气口并联有净化装置和球阀，上下两个高压储气罐间有管路和阀门连接，上高压储气罐内装有铜丝网内筒，筒内装有F3吸附剂和电加热器。下高压储气罐与压缩机间用管道串联有阀门、热交换器、A级微油雾过滤器、T级主管路过滤器，容器与压缩机之间用管道串联有阀门、缓冲器、分子筛过滤器、阀门，上...
【技术保护点】
ＳＦ↓［６］气体充放回收及净化装置由容器、阀门、压缩机、真空泵、热交换器、高压储气罐和分子筛过滤器用管道连接，其特征是：真空泵的出气口并联有净化装置和球阀，上下两个高压储气罐间有管路和阀门连接，上高压储气罐内装有铜丝网内筒，筒内装有Ｆ↓［３］吸附剂和电加热器，下高压储气罐与压缩机间用管道串联有阀门、热交换器、Ａ级微油雾过滤器和Ｔ级主管路过滤器，容器与压缩机之间用管道串联有阀门、缓冲器、分子筛过滤器、阀门、上高压储气罐的出口与真空泵出口净化装置的主管路过滤器间有阀门和管道连接，容器与真空泵进气口间用管道、阀门和电磁带充气阀连接，真空泵进气口电磁带充气阀与压缩机间有管道和阀门连...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
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