分光测定装置及分光测定方法制造方法及图纸

分光测定装置是测定自试样发出的被测定光的分光测定装置，具备：积分球，其具有内壁面及安装孔；接合器，其具有引导被测定光的引导孔，且配置于积分球；板，其具有自积分球的外侧覆盖引导孔且载置试样的第1面、及第2面，且使被测定光透过；保持器，其具有载置板的凹部，且安装于安装孔；及分光检测器，其检测被测定光。凹部包含：与第2面相对的底面、及包围板的周围的侧面。底面及侧面由反射被测定光的反射材覆盖。

Spectrometric apparatus and method

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】分光测定装置及分光测定方法
本专利技术涉及一种分光测定装置及分光测定方法。
技术介绍
专利文献1公开有测定发光元件的量子效率的测定装置。该测定装置具备：积分球，其配设有发光元件；驱动·测量电路，其对发光元件予以电流驱动；及测定装置，其用于测量发光元件的发光光谱。发光元件被载置于利用上下机构可上下移动的载台的载置面上，且露出于积分球内。在该测定装置中，利用驱动·测量电路对发光元件予以电流驱动，并测量此时自发光元件发出的被测定光的发光特性(光谱分布)。另外，在该测定装置中，通过在积分球设置用于入射激发光的激发光入口，而测量通过将激发光照射至发光元件而自发光元件发出的荧光等的发光特性。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2004-309323号公报专利文献2：日本特开2007-198983号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题作为评估例如LED等的发光元件(试样)的发光特性的项目，有由被放出至试样外部的光子数相对于所注入的电子数的比例定义的外部量子效率。外部量子效率使用EL(电致发光)法测定。另外，外部量子效率还由来自试样的发光的光子数相对于试样吸收的激发光的光子数的比例即发光量子产率定义。该发光量子产率使用PL(光致发光)法测定。再者，作为评估由发光元件使用的发光材料的项目，有内部量子效率。也有该内部量子效率被认为是自试样提取的电荷等相对于试样吸收的激发光的光子数的比例的情况。在这些量子效率(也称为量子效率)的测定中使用例如专利文献1所记载的测定装置。此处，为了高精度地测定试样的量子效率，优选自试样发出的被测定光在积分球内以例如接近100％的高反射率反射。然而，在专利文献1所记载的测定装置中，露出于积分球内的载置面吸收被测定光。因而，难以高精度地测定试样的量子效率的值。另外，在该测定装置中，即使在假设由反射材覆盖露出于积分球内的载置面的情况下，由于试样与反射面(载置面)直接接触，因而有损伤或污染附着于反射面的担忧。这样，若损伤或污染附着于反射面，则在该反射面的附着有损伤或污染的部分中被测定光的反射率降低，且被测定光被吸收。因而，在此情况下，也难以高精度地测定试样的量子效率等的特性。本专利技术鉴于这样的问题而完成，其目的在于，提供一种能够高精度地测定试样的特性的分光测定装置及分光测定方法。解决问题的技术手段本专利技术的分光测定装置是测定自试样发出的被测定光的分光测定装置，具备：积分球，其具有反射被测定光的内壁面、及自内壁面朝向外部延伸的安装孔；接合器，其具有引导被测定光的引导孔，且配置于安装孔；板，其具有自积分球的外侧覆盖引导孔且载置试样的第1面、及配置于与第1面相反侧的第2面，且使被测定光透过；保持器，其具有收纳板的凹部，且安装于积分球；及分光检测器，其检测自积分球输出的被测定光，凹部包含与第2面相对的底面、及包围板的周围的侧面，底面及侧面由反射被测定光的反射材覆盖。本专利技术的分光测定方法是使用具有反射自试样发出的被测定光的内壁面、及自内壁面朝向外部延伸的安装孔的积分球而测定被测定光的分光测定方法，包含：载置步骤，其将试样载置于具有第1面及配置于与第1面相反侧的第2面且使被测定光透过的板的第1面；收纳步骤，其将板收纳于具有凹部的保持器的凹部，该凹部包含与第2面相对的底面、及包围板的周围的侧面；配置步骤，其将具有引导被测定光的引导孔的接合器以引导孔由第1面自积分球的外侧覆盖的方式配置于板上，将保持器安装于积分球且将接合器配置于安装孔；及检测步骤，其通过分光检测器检测自积分球输出的被测定光，底面及侧面由反射被测定光的反射材覆盖。在本专利技术的分光测定装置及分光测定方法中，自试样发出的被测定光在积分球内重复反射。此处，入射至板的第1面的被测定光透过板且在保持器的凹部的由反射材覆盖的底面及侧面反射，再次返回积分球内且重复反射。这样，由于积分球内的凹部的底面及侧面反射被测定光，因而可制作虚拟地将试样配置于积分球内的状况。由此，能够高精度地测定试样的特性。板也可以与侧面嵌合。另外，在收纳步骤中，也可以以板嵌合于凹部的侧面的方式进行收纳。由此，能够容易地进行板相对于保持器的相对定位。板也可以还具有露出于第1面的第1电极、及露出于第2面的第2电极，第1电极与第2电极也可以彼此电连接。由此，能够经由第1电极及第2电极电连接第1面上的试样与外部装置。板也可以还具有自第1面遍及第2面延伸的贯通孔、及设置于贯通孔内的第1导电体，第1导电体也可以电连接第1电极与第2电极。由此，能够尽量减小可露出于积分球内的第1电极的大小。凹部也可以还包含设置于底面的孔部、及设置于孔部内的第2导电体，第2导电体也可以与第2电极电连接。由此，仅通过例如以电极与第2电极接触的方式将板载置于保持器的凹部，而能够电连接第1面上的试样与外部装置。上述的分光测定装置也可以还具备与第2导电体电连接的电源。由此，能够将电流及电压中的至少一者供给至试样。上述的分光测定装置也可以还具备与第2导电体电连接且检测产生于试样的电流及电压中的至少一者的电气检测器。由此，例如能够检测因激发光的照射而在试样产生的电流及电压中的至少一者。接合器也可以还具有朝底面按压板的按压部。另外，在配置步骤中，也可以以朝凹部的底面按压板的方式将接合器安装于保持器。通过这样的配置步骤及设置按压部，而能够利用简单的作业容易地将板保持于凹部内。由此，能够抑制当将板固定于保持器时损伤或污染附着于凹部内的风险。即，能够进一步抑制在凹部内被测定光的反射率降低。因而，能够进一步高精度地测定试样的特性。板的厚度也可以为侧面自底面起的高度以下。当板的厚度厚于侧面的高度时，有被测定光自侧面偏离并由其他部件吸收的担忧。因而，通过将板的厚度设为侧面自底面起的高度以下，而能够抑制被测定光自侧面偏离并被吸收。因而，能够进一步高精度地测定试样的特性。引导孔也可以包含朝向积分球的中心部扩径的锥形形状。由此，由于能够使引导孔的形状接近积分球的内壁面的形状，因而能够更高精度地测定被测定光。即，能够更高精度地测定试样的特性。专利技术的效果根据本专利技术，能够高精度地测定试样的特性。附图说明图1是示意性地显示一个实施方式的分光测定装置的结构的图。图2是图1所示的分光测定装置的立体图。图3是图1所示的分光测定装置的俯视图。图4是沿图3所示的IV-IV线的截面图。图5是试样安装部的俯视图。图6是沿图5所示的VI-VI线的截面图。图7是自斜上方观察板的立体图。图8是自斜下方观察板的立体图。图9是显示透明基板的第1面的正面图。图10是沿图9所示的X-X线的截面图。图11是显示透明基板的第2面的背面图。图12是显示图6所示的保持器的结构的截面图。图13是载置部的立体图。图14是显示利用EL法测定试样的量子效率的分光测定方法的一个例子的流程图。图15是显示利用PL法测定试样的量子本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分光测定装置，其特征在于，/n是测定自试样发出的被测定光的分光测定装置，/n具备：/n积分球，其具有反射所述被测定光的内壁面、及自所述内壁面朝向外部延伸的安装孔；/n接合器，其具有引导所述被测定光的引导孔，且配置于所述安装孔；/n板，其具有自所述积分球的外侧覆盖所述引导孔且载置所述试样的第1面、及配置于与所述第1面相反侧的第2面，且使所述被测定光透过；/n保持器，其具有收纳所述板的凹部，且安装于所述积分球；及/n分光检测器，其检测自所述积分球输出的所述被测定光，/n所述凹部包含与所述第2面相对的底面、及包围所述板的周围的侧面；/n所述底面及所述侧面由反射所述被测定光的反射材覆盖。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170517 JP 2017-0982841.一种分光测定装置，其特征在于，
是测定自试样发出的被测定光的分光测定装置，
具备：
积分球，其具有反射所述被测定光的内壁面、及自所述内壁面朝向外部延伸的安装孔；
接合器，其具有引导所述被测定光的引导孔，且配置于所述安装孔；
板，其具有自所述积分球的外侧覆盖所述引导孔且载置所述试样的第1面、及配置于与所述第1面相反侧的第2面，且使所述被测定光透过；
保持器，其具有收纳所述板的凹部，且安装于所述积分球；及
分光检测器，其检测自所述积分球输出的所述被测定光，
所述凹部包含与所述第2面相对的底面、及包围所述板的周围的侧面；
所述底面及所述侧面由反射所述被测定光的反射材覆盖。


2.如权利要求1所述的分光测定装置，其特征在于，
所述板与所述侧面嵌合。


3.如权利要求1或2所述的分光测定装置，其特征在于，
所述板还具有露出于所述第1面的第1电极、及露出于所述第2面的第2电极，
所述第1电极与所述第2电极相互电连接。


4.如权利要求3所述的分光测定装置，其特征在于，
所述板还具有自所述第1面遍及所述第2面延伸的贯通孔、及设置于所述贯通孔内的第1导电体，
所述第1导电体将所述第1电极与所述第2电极电连接。


5.如权利要求3或4所述的分光测定装置，其特征在于，
所述凹部还包含设置于所述底面的孔部、及设置于所述孔部内的第2导电体，
所述第2导电体与所述第2电极电连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：池村贤一郎，井口和也，江浦茂，中村明裕，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP