一种小型化高耦合阻抗的互补开口谐振环慢波结构制造技术

本发明专利技术公开了一种小型化高耦合阻抗的互补开口谐振环慢波结构，属于真空微波电子、加速器和切伦科夫粒子探测器等技术领域。该慢波结构包括金属圆波导和其内部沿轴线填充的CSRR单元阵列，其中互补开口谐振环具有较强的谐振特性，可以通过改变互补开口谐振环的横向尺寸实现任意的工作频率。本发明专利技术的慢波结构与同频段(S波段)的传统慢波结构相比，其横截面积只有同频段传统耦合腔慢波结构的1/8～1/9，而耦合阻抗为S波段传统耦合腔慢波结构的2～4倍。由于该慢波结构具有小型化和高耦合阻抗的特点，故本发明专利技术能够应用于小型化、高效率和高功率的线性注真空电子器件、加速器和切伦科夫粒子探测器等领域当中。

【技术实现步骤摘要】
一种小型化高耦合阻抗的互补开口谐振环慢波结构
本专利技术属于真空微波电子器件、加速器和切伦科夫粒子探测器等
，具体涉及一种具有小型化和高耦合阻抗的互补开口谐振环慢波结构。
技术介绍
真空电子器件由于其独特的功率、效率、带宽和增益的优势，成为加速器、微波加热、通讯、雷达、电子战和高功率微波武器等领域的核心器件。而行波管作为应用最广泛的真空电子器件，被广泛的应用于航空航天、医疗、工业和粒子探测技术等方面。慢波结构作为行波管的核心部分，其特性直接决定了行波管的整体性能，包括工作带宽、电子效率、增益和输出功率等。传统的螺旋线慢波结构和耦合腔慢波结构被广泛的应用于各类型的行波管当中，并在带宽和功率容量上各有优势。然而，随着科学技术的不断发展，特别是半导体器件的高速发展，除了传统的带宽、功率、效率和增益等目标参数以外，结构的小型化和易集成化也逐渐成为真空电子器件的一个重要指标。而基于传统慢波结构的真空电子器件在小型化和电子效率上受到尺寸共渡效应和结构中特定模式分布的制约，在与半导体器件相互集成的方向上面临着巨大的挑战。常规的真空电子器件的尺寸本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种小型化高耦合阻抗互补开口谐振环慢波结构，其特征在于，该结构包括金属圆波导7和其内部沿轴线填充的CSRR单元阵列；/n所述CSRR单元阵列包括周期排布的N个CSRR单元，其中N为正整数；所述CSRR单元包括从内至外同心设置的圆形金属内环2、中间开口环3、圆形金属外环4，金属内环2中间为电子注通道；所述金属内环2和金属外环4之间连接有第一金属桥1，所述中间开口环3和金属外环4之间连接有第二金属桥5；所述金属外环4外侧与圆波导7紧密贴合；所述第一金属桥1与第二金属桥5位于同一直径上。/n

【技术特征摘要】
1.一种小型化高耦合阻抗互补开口谐振环慢波结构，其特征在于，该结构包括金属圆波导7和其内部沿轴线填充的CSRR单元阵列；
所述CSRR单元阵列包括周期排布的N个CSRR单元，其中N为正整数；所述CSRR单元包括从内至外同心设置的圆形金属内环2、中间开口环3、圆形金属外环4，金属内环2中间为电子注通道；所述金属内环2和金属外环4之间连接有第一金属桥1，所述中间开口环3和金属外环4之间连接有第二金属桥5；所述金属外环4外侧与圆波导7紧密贴合；所述第一金属桥1与第二金属桥5位于同一直径上。


2.如权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：段兆云，王新，罗恒宇，张宣明，江胜坤，王战亮，巩华荣，宫玉彬，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川;51