一种碱洗硅处理碱性污水处理装置及其使用方法制造方法及图纸

一种碱洗硅处理碱性污水处理装置及其使用方法，属于碱洗硅处理技术领域，包括控制箱、底架和固定安装在底架上的反应罐，所述反应罐侧壁底部通过二氧化碳进管安装有二氧化碳液罐，反应罐侧壁上部安装有二氧化碳出管，反应罐的底面左右两侧分别安装有进液管和排液管，所述排液管出口端连接有压滤装置。控制箱接收各个传感器、检测计的信号，实现对各个阀门和循环泵的自动控制，通过二氧化碳进管向反应罐内输送二氧化碳，进液管向反应罐输送碱性污水，在反应罐内二氧化碳与碱性污水反应，生成PH接近中性，无污染、无毒的物质，环保性高，且二氧化碳成本低廉，安全性好。

【技术实现步骤摘要】
一种碱洗硅处理碱性污水处理装置及其使用方法
本专利技术属于碱洗硅处理
，具体地说是一种碱洗硅处理碱性污水处理装置及其使用方法。
技术介绍
在半导体器件生产中，硅片是不可缺少的材料，硅片须严格保证清洁，即使微量的污染也会导致半导体器件的失效。在长时间使用后，硅片表面易被污染，硅片清洗的目的在于清除硅片表面的污染杂质，包括有机物和无机物，以实现硅材料的循环再利用，保证资源利用效率。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式附存于硅片的表面，在正常使用时，会导致各种缺陷。在硅处理清洗技术中，通常使用碱性溶液对硅片表面杂质进行反应、反复冲洗，以达取出杂质的目的，在此工艺中，碱性溶液需求量大，冲洗后的污水中含有大量碱性溶液和偏硅酸离子混合强碱溶液，产出量多，现今处理技术是通过盐酸进行中和反应，从而实现碱性污水处理的目的，但是在中和过程中，采用的是强酸性物质，环保性低，危险性高，原料昂贵，反应工艺严格，且产生大量氯离子反应物，直接排放会对环境产生严重不良影响，需要另增加其他处理工艺，增加处理成本。<br>
技术实现思路
<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种碱洗硅处理碱性污水处理装置，其特征是，包括控制箱、底架(2)和固定安装在底架(2)上的反应罐(1)，所述反应罐(1)侧壁底部通过二氧化碳进管(3)安装有二氧化碳液罐(8)，反应罐(1)侧壁上部安装有二氧化碳出管(4)，反应罐(1)的底面左右两侧分别安装有进液管(6)和排液管(5)，所述排液管(5)出口端连接有压滤装置。/n

【技术特征摘要】
1.一种碱洗硅处理碱性污水处理装置，其特征是，包括控制箱、底架(2)和固定安装在底架(2)上的反应罐(1)，所述反应罐(1)侧壁底部通过二氧化碳进管(3)安装有二氧化碳液罐(8)，反应罐(1)侧壁上部安装有二氧化碳出管(4)，反应罐(1)的底面左右两侧分别安装有进液管(6)和排液管(5)，所述排液管(5)出口端连接有压滤装置。


2.根据权利要求1所述的碱洗硅处理碱性污水处理装置，其特征是，所述二氧化碳出管(4)、进液管(6)和排液管(5)上分别安装有出气阀(14)、进液阀(17)和排液阀(16)，所述二氧化碳进管(3)的前后端分别安装有进气阀(12)和截止阀(13)。


3.根据权利要求2所述的碱洗硅处理碱性污水处理装置，其特征是，所述二氧化碳出管(4)通过循环泵(11)与进气阀(12)和截止阀(13)间的二氧化碳进管(3)连通。


4.根据权利要求1所述的碱洗硅处理碱性污水处理装置，其特征是，所述反应罐(1)顶面安装有排气管(7)，所述排气管(7)上安装有氧气传感器(10)和排气阀(15)。


5.根据权利要求1所述的碱洗硅处理碱性污水处理装置，其特征是，所述反应罐(1)侧壁和底面分别安装有液位计(19)和PH计(18)。


6.根据权利要求1所述的碱洗硅处理碱性污水处理装置，其特征是，所述反应罐(1)内部安装有与二氧化碳进管(3)连通的曝气管(20)。


7.根据权利要求1所述的碱洗硅处理碱性污水处理装置，其特征是，所述反应罐(1)顶部安装有压力检测装置。


8.根据权利要求7所述的碱洗硅处理碱性污水处理装置，其特征是，所述压力检测装置包括通过连通管(21)安装在反应罐(1)顶面上方的膨胀气球(9)，所述膨胀气球(9)左右两侧分别安装有发射光栅(22)和接收光栅(...

【专利技术属性】
技术研发人员：石坚，李杰，于友，朱棣，
申请(专利权)人：山东九思新材料科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：山东;37