含阻尼填充材料的模块化结构支撑架制造技术

一种含阻尼填充材料的模块化结构支撑架，其主要是应用于高精度工艺设备及检测设备的承载平台支撑架，是于管状的支撑构件内填充阻尼材料，以降低各支撑构件的重量并提供充分的阻尼效果，再将各支撑构件以模块化的方式锁固连结，而成为支撑载重用的高刚性平台支撑架；借此，应用于挑高的高架地板的高刚性振动隔离平台时，利用各支撑构件组装结合后的高刚性结构，不但可有效降低水平方向的微振动，且能大幅降低架体的重量，进而可建构出高刚性且轻量化的平台结构。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术提供一种各支撑构件内填充有阻尼材料，并以模块化组装方式建构出的高刚性且轻量化的支撑架结构，进而提供精密仪器设备所需架设环境的模块化轻量高频平台支撑架。
技术介绍
在电子及半导体产业中，多数制造及检测设备对于环境微振动相当敏感，在不良的微振动环境下，常会造成仪器的误动或者量测的结果难以判读，因此在制造及检测设备运作的频宽范围内，常要求无论是由环境传来的振动或者是平台上设备本身所产生的振动，均不可被放大且不可被延长，尤其是在未来工艺逐渐迈向奈米等级的分辨率，检测设备对于环境振动抑制的要求亦将更为提高，所以这些工艺及检测设备的承载平台必须要具备优良的动态特性。特别是，于无尘室厂房中的精密工艺及检测设备的承载平台，由于厂房回风系统及洁净度的设计考虑，平台与厂房建筑结构地板的高度相差很大(通常超过1.5M)状况下，使得精密设备的承载平台结构有较大的细长比，导致水平方向容易放大振动，刚性亦相对较差，改善的方式则是必须使用尺寸较大的钢结构骨架，以缩小支撑结构的细长比，如此反而却又大幅增加支撑结构的重量，相对于动态特性的改善实不成比例。目前有关精密设备所需的承载平台的技术部份，如美国专本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种含阻尼填充材料的模块化结构支撑架，其特征在于，其大体上包括有：数个第一支撑构件：为一管状的中空构件，内部充填有填充物，并可至少支撑第一方向的部分受力；数个第二支撑构件：连结于各第一支撑构件间，并可至少支撑第二方向的部分受力。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林正彦，孙彦硕，王维汉，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：71[]