激光退火制程生产线优化方法技术

本发明专利技术公开了一种激光退火制程生产线优化方法，设置传送平台衔接两条激光退火制程生产线；BC系统监控两条激光退火制程生产线上的清洗机的工作状态，两条激光退火制程生产线分别为生产线I和生产线II，生产线I包括清洗机I、激光退火机I和机械手组I，生产线II包括清洗机II、激光退火机II和机械手组II，当清洗机I/清洗机II宕机时，BC系统控制机械手组I/机械手组II将送入清洗机I/清洗机II的面板转移到生产线II/生产线I清洗，清洗后机械手组II/机械手组I将面板送回生产线I/生产线II进行激光退火。本发明专利技术涉及的激光退火制程生产线优化方法，降低清洗机宕机对整条生产线产能的影响，提高清洗机的利用率。

Optimization method of laser annealing production line

【技术实现步骤摘要】
激光退火制程生产线优化方法
本专利技术涉及玻璃基板生产制造
，尤其涉及一种激光退火制程生产线优化方法。
技术介绍
LTPS/AMOLED中激光退火机是关键的制程，激光退火机制程时间很长，与之配套的清洗机产能无法完全释放，且一旦宕机就会造成激光退火机同步宕机的问题。现有激光退火机的生产制程中，激光退火机生产线由面板移栽机、机械手组、清洗机、两台激光退火机组成，制程为面板从移栽机通过机械手组到清洗机清洗，然后机械手组将面板送到激光退火机进行激光退火，最后机械手臂将面板送回移栽机。机械手的控制逻辑由BC系统控制。当清洗机出现宕机时，因为面板需要先进清洗机，才能进激光退火机，故造成此条激光退火制程生产线宕，两台激光退火机出现停机，造成激光退火机机台的产能浪费。故想要实现提升激光退火机台的综合效率值，降低因清洗机出现异常下影响到的激光退火机产能，关键在于激光退火机生产线布局及系统控制的优化设计。
技术实现思路
本专利技术的目的就在于提供降低清洗机台异常对激光退火机台产能及综合效率值影响的解决方案，以实现清洗机出现异常宕机但激光退火机台的产能损失尽可能降低，提高激光退火机制程的生产效率。为了实现上述目的，本公开提供一种激光退火制程生产线优化方法，激光退火制程生产线包括清洗机、激光退火机、面板移栽机和机械手组，生产线上的面板移栽机、清洗机和激光退火机通过机械手组依次衔接，面板于激光退火机完成激光退火工序后通过机械手组返送到面板移栽机，BC系统控制机械手组，优化方法包括以下步骤：S1，设置传送平台衔接两条激光退火制程生产线；S2，BC系统监控两条激光退火制程生产线上的清洗机的工作状态，两条激光退火制程生产线分别为生产线I和生产线II，生产线I包括清洗机I、激光退火机I和机械手组I，生产线II包括清洗机II、激光退火机II和机械手组II；当清洗机I宕机时，BC系统控制机械手组I将送入清洗机I的面板转移到传送平台，然后BC系统控制机械手组II将面板取出送入清洗机II清洗，清洗完成后机械手组II将面板送回传送平台，然后机械手组I将清洗后的面板送到激光退火机I进行激光退火；当清洗机II宕机时，BC系统控制机械手组II将送入清洗机II的面板转移到传送平台，然后BC系统控制机械手组I将面板取出送入清洗机I清洗，清洗完成后机械手组I将面板送回传送平台，然后机械手组II将清洗后的面板送到激光退火机II进行激光退火。本专利技术的有益效果在于：本专利技术涉及的激光退火制程生产线优化方法，设置传送平台将两条设计将激光退火制程生产线衔接，同时改进、优化系统控制逻辑，降低清洗机宕机对整条生产线产能的影响，提高清洗机的利用率，故本专利技术满足工厂对激光退火制程生产线高效灵活使用的需求，实现工厂生产效率提升。附图说明附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：图1是本专利技术所述的激光退火制程生产线布局示意图。附图标记说明1-激光退火机I，2-机械手组I，3-面板移栽机，4-清洗机I，5-清洗机II，6-激光退火机II，7-机械手组II，8-传送平台。具体实施方式以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。在本公开中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下”通常是基于附图所示的方位或位置关系进行定义的。如图1所示，本专利技术涉及的激光退火制程生产线优化方法，激光退火制程生产线包括清洗机、激光退火机、面板移栽机3和机械手组，生产线上的面板移栽机3、清洗机和激光退火机通过机械手组依次衔接，面板于激光退火机完成激光退火工序后通过机械手组返送到面板移栽机3，BC系统控制机械手组，其特征在于，优化方法包括以下步骤：S1，设置传送平台8衔接两条激光退火制程生产线，传送平台8挂载到两条激光退火制程生产线中的任一生产线上的面板移栽机3。传送平台8包括上层平台和下层平台，上层平台中转清洗前的面板，下层平台中转清洗后的面板，以避免清洗前的面板上的灰尘等颗粒物掉落，沾染到已清洗的面板上，从而影响激光退火机的生产良率。S2，BC系统监控两条激光退火制程生产线上的清洗机的工作状态。S3，面板移栽机3上设置功能开关，BC系统控制功能开关的状态切换，功能开关通过PLC通信模块与传送平台8联动。两条激光退火制程生产线分别为生产线I和生产线II，生产线I包括清洗机I4、激光退火机I1和机械手组I2，生产线II包括清洗机II5、激光退火机II6和机械手组II7。BC系统监控到清洗机I4和清洗机II5正常工作时，功能开关关闭，传送平台8收回以断开两条激光退火制程生产线的衔接，两条生产线分别正常运行。当清洗机I4宕机时，BC系统监控到清洗机I4宕机，开启功能开关，传送平台8衔接起两条激光退火制程生产线，BC系统控制机械手组I2将送入清洗机I4的面板转移到传送平台8的上层平台，然后BC系统控制机械手组II7将面板取出送入清洗机II5清洗，清洗完成后机械手组II7将面板送回传送平台8的下层平台，然后机械手组I2将清洗后的面板送到激光退火机I1进行激光退火。当清洗机II5宕机时，BC系统监控到清洗机II5宕机，开启功能开关，传送平台8衔接起两条激光退火制程生产线，BC系统控制机械手组II7将送入清洗机II5的面板转移到传送平台8的上层平台，然后BC系统控制机械手组I2将面板取出送入清洗机I4清洗，清洗完成后机械手组I2将面板送回传送平台8的下层平台，然后机械手组II7将清洗后的面板送到激光退火机II6进行激光退火。进一步地，本专利技术涉及的激光退火机将原本的a-Si薄膜层转变为p-Si薄膜层。本专利技术提供一种软硬件结合的优化方法，降低了清洗机宕机对生产线产能的影响，优化了激光退火制程生产线的效率，故本专利技术满足工厂对激光退火制程生产线高效灵活使用的需求，实现工厂生产效率提升。以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式，但是，本公开并不限于上述实施方式中的具体细节，在本公开的技术构思范围内，可以对本公开的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本公开的保护范围。另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。此外，本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本公开的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.激光退火制程生产线优化方法，激光退火制程生产线包括清洗机、激光退火机、面板移栽机和机械手组，生产线上的面板移栽机、清洗机和激光退火机通过机械手组依次衔接，面板于激光退火机完成激光退火工序后通过机械手组返送到面板移栽机，BC系统控制机械手组，其特征在于，优化方法包括以下步骤：/nS1，设置传送平台衔接两条激光退火制程生产线；/nS2，BC系统监控两条激光退火制程生产线上的清洗机的工作状态，两条激光退火制程生产线分别为生产线I和生产线II，生产线I包括清洗机I、激光退火机I和机械手组I，生产线II包括清洗机II、激光退火机II和机械手组II；/n当清洗机I宕机时，BC系统控制机械手组I将送入清洗机I的面板转移到传送平台，然后BC系统控制机械手组II将面板取出送入清洗机II清洗，清洗完成后机械手组II将面板送回传送平台，然后机械手组I将清洗后的面板送到激光退火机I进行激光退火；/n当清洗机II宕机时，BC系统控制机械手组II将送入清洗机II的面板转移到传送平台，然后BC系统控制机械手组I将面板取出送入清洗机I清洗，清洗完成后机械手组I将面板送回传送平台，然后机械手组II将清洗后的面板送到激光退火机II进行激光退火。/n...

【技术特征摘要】
1.激光退火制程生产线优化方法，激光退火制程生产线包括清洗机、激光退火机、面板移栽机和机械手组，生产线上的面板移栽机、清洗机和激光退火机通过机械手组依次衔接，面板于激光退火机完成激光退火工序后通过机械手组返送到面板移栽机，BC系统控制机械手组，其特征在于，优化方法包括以下步骤：
S1，设置传送平台衔接两条激光退火制程生产线；
S2，BC系统监控两条激光退火制程生产线上的清洗机的工作状态，两条激光退火制程生产线分别为生产线I和生产线II，生产线I包括清洗机I、激光退火机I和机械手组I，生产线II包括清洗机II、激光退火机II和机械手组II；
当清洗机I宕机时，BC系统控制机械手组I将送入清洗机I的面板转移到传送平台，然后BC系统控制机械手组II将面板取出送入清洗机II清洗，清洗完成后机械手组II将面板送回传送平台，然后机械手组I将清洗后的面板送到激光退火机I进行激光退火；
当清洗机II宕机时，BC系统...

【专利技术属性】
技术研发人员：金俊杰，贺远苗，刘丰洋，邹良栋，
申请(专利权)人：中电九天智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51