一种硅材清洗处理系统及方法技术方案

本发明专利技术提供一种硅材清洗处理系统及方法，配置了清洗机器人，清洗槽，冲洗槽以及纯水槽。清洗机器人能够实现将待清洗的硅材料进行运输，在清洗槽，冲洗槽以及纯水槽实现清洗处理。清洗槽起到了清洗的作用，冲洗槽对清洗后的硅材料进行冲洗，纯水槽进行进一步的处理，保证了清洗的质量，避免污染后续清洗工序。还能够实现鼓泡，加热等方式，还可以实现自动匹配清洗液，并进行添加。实现了工艺全自动化，智能控制，可以量产，提高生产效率；清洗效果好，能较好的把硅表面杂质清洗掉，实现硅的循环再利用；节省生产成本，节省劳动力。

A cleaning system and method for silicon material

【技术实现步骤摘要】
一种硅材清洗处理系统及方法
本专利技术涉及硅处理
，尤其涉及一种硅材清洗处理系统及方法。
技术介绍
硅是一种半导体材料。硅主要用来制作高纯半导体、耐高温材料、光导纤维通信材料、有机硅化合物、合金等，被广泛应用于航空航天、电子电气、建筑、运输、能源、化工、纺织、食品、轻工、医疗、农业等行业，可以看出硅在很多领域都有被应用。而在半导体器件中，对硅片的使用较为严格，硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物，会导致各种缺陷。硅在使用长时间后，表面易被污染，从而硅原料无法再被使用，现今领域中对于废弃硅材料处理技术不成熟，很难实现自动化清洗量产。而常用硅处理的方式是将硅以硅碎片形式的进行清洗处理，处理过程是为了能够实现对硅材料的反复利用，需要对使用后的硅材料进行处理，将硅材料浸泡在容器加入相应的介质进行处理，这种处理过程不彻底，容易导致硅材料里面掺杂杂质，在后续的融合工序再加工的过程中，容易造成硅材料纯度不高，影响后期的使用。专利
技术实现思路
为了本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅材清洗处理系统，其特征在于，包括：清洗机器人(1)，清洗机器人(1)的四周分别设有至少两个清洗槽(2)，至少两个冲洗槽(3)，至少四个纯水槽(4)以及至少三个补液罐；/n清洗槽(2)的侧壁上连接有清洗进液补液管(21)，清洗槽(2)通过进液补液管(21)连接清洗补液罐(5)；清洗槽(2)的底部连接有清洗排液管，清洗排液管上连接有排污阀；/n冲洗槽(3)的侧壁上连接有冲洗进液补液管，冲洗槽(3)通过冲洗进液补液管连接冲洗补液罐(22)；冲洗槽(3)的底部连接有冲洗排液管，冲洗排液管上连接有排污阀；/n纯水槽(4)的侧壁上连接有纯水进液补液管(24)，纯水槽(4)通过纯水进液补液管(24...

【技术特征摘要】
1.一种硅材清洗处理系统，其特征在于，包括：清洗机器人(1)，清洗机器人(1)的四周分别设有至少两个清洗槽(2)，至少两个冲洗槽(3)，至少四个纯水槽(4)以及至少三个补液罐；
清洗槽(2)的侧壁上连接有清洗进液补液管(21)，清洗槽(2)通过进液补液管(21)连接清洗补液罐(5)；清洗槽(2)的底部连接有清洗排液管，清洗排液管上连接有排污阀；
冲洗槽(3)的侧壁上连接有冲洗进液补液管，冲洗槽(3)通过冲洗进液补液管连接冲洗补液罐(22)；冲洗槽(3)的底部连接有冲洗排液管，冲洗排液管上连接有排污阀；
纯水槽(4)的侧壁上连接有纯水进液补液管(24)，纯水槽(4)通过纯水进液补液管(24)连接纯水补液罐(23)；纯水槽(4)的底部连接有纯水排液管，冲洗纯水排液管上连接有排污阀；
清洗机器人(1)设有旋转底座(6)，旋转底座(6)上连接有机械手臂，机械手臂的端部连接有抓取机械手(7)；抓取机械手(7)用于抓取装有硅碎片的硅碎片筛网箱体，并将装有硅碎片的筛网箱体按照预设的清洗程序放入清洗槽(2)，冲洗槽(3)以及纯水槽(4)进行清洗处理。


2.根据权利要求1所述的硅材清洗处理系统，其特征在于，
还包括：登高平台(26)；登高平台(26)靠近清洗槽(2)设置；
清洗机器人(1)的四周还设有安放待清洗硅碎片筛网箱体的上料平台(8)和安放清洗后硅碎片筛网箱体的下料平台(9)；
系统四周罩设有外罩(27)，外罩(27)上设有供管道进出的通孔，上料平台连通通道，下料平台连通通道，观察窗(28)和进出门(29)。


3.根据权利要求1或2所述的硅材清洗处理系统，其特征在于，
清洗槽(2)侧壁上还设有溢流口，清洗进液补液管(21)上设有清洗流量计，清洗控制阀和清洗液驱动泵；
冲洗槽(3)侧壁上还设有溢流口，冲洗进液补液管上设有冲洗流量计，冲洗控制阀和冲洗液驱动泵；
纯水槽(4)侧壁上还设有溢流口，纯水进液补液管(24)上设有纯水流量计，纯水控制阀和纯水液驱动泵。


4.根据权利要求1或2所述的硅材清洗处理系统，其特征在于，
每个补液罐内部设有搅拌桨；补液罐的侧壁上设有进液口和出液口；
清洗槽(2)的内部，冲洗槽(3)的内部，纯水槽(4)的内部以及补液罐的内部分别设有液位传感器，加热器和温度传感器；
清洗槽(2)的底部，冲洗槽(3)的底部和纯水槽(4)的底部分别设有鼓泡器。


5.根据权利要求1或2所述的硅材清洗处理系统，其特征在于，
设置的至少两个清洗槽(2)依次串联连接，相互贴付的清洗槽(2)在贴付的侧壁上设置通液孔，使相互贴付的清洗槽(2)通过通液孔连通；
通液孔的设置高度按照预设的清洗槽(2)的安装次序由一端至另一端依次降低；设置在两端的清洗槽(2)之间通过清洗循环回液管道连通；清洗循环回液管道上设有清洗循环回液泵；
在每个通液孔处的清洗进液端分别设有挡板；挡板与清洗槽(2)的侧壁固定连接，挡板与清洗槽(2)的底部设有间距；挡板的上端与清洗槽(2)的上沿平齐。


6.根据权利要求1或2所述的硅材清洗处理系统，其特征在于，
还包括：硅材清洗数据处理装置；
硅材清洗数据处理装置包括：硅材清洗数据调制模块，硅材清洗数据模数转换模块，硅材清洗数据处理模块，触摸屏，硅材清洗寄存器以及硅材清洗时钟模块；
硅材清洗数据处理模块依次通过硅材清洗数据模数转换模块和硅材清洗数据调制模块获取清洗槽(2)，冲洗槽(3)，纯水槽(4)以及补液罐的液位信息，温度信息以及酸碱度信息；
硅材清洗数据处理模块与清洗机器人(1)通信连接，并按照预设的清洗程序控制清洗机器人(1)运行；...

【专利技术属性】
技术研发人员：石坚，于友，
申请(专利权)人：山东九思新材料科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：山东;37