X射线管和X射线产生装置制造方法及图纸

技术编号:22850264 阅读:28 留言:0更新日期:2019-12-17 23:36
本发明专利技术的X射线管包括:具有真空的内部空间的真空框体;靶部,其配置在内部空间,包括通过电子束的入射而产生X射线的靶和支承靶且使在靶产生的X射线透过的靶支承部;和X射线出射窗,其以与靶支承部相对的方式设置,将真空框体的开口部密封,使透过靶支承部后的X射线透过,X射线出射窗的至少一部分与靶支承部接触。

X-ray tube and X-ray generator

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】X射线管和X射线产生装置
本专利技术的一个方面涉及X射线管和X射线产生装置。
技术介绍
作为现有的X射线管,已知有专利文献1中记载的固定阳极X射线管。在专利文献1中记载的固定阳极X射线管,真空框体(阳极基底)的内部,热电子冲击在靶基板形成的靶,产生X射线。所产生的X射线透过靶基板,进一步透过安装在真空框体的X射线出射窗(窗板),照射至被照射体。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开平4-262348号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题在上述那样的X射线管,期待着提高靶的散热性,抑制热引起的靶的损伤。因此,本专利技术的一个方面的目的在于提供能够抑制热引起的靶的损伤的X射线管和X射线产生装置。用于解决问题的方式本专利技术的一个方面的X射线管包括:具有真空的内部空间的真空框体;靶部,其配置在内部空间,包括通过电子束的入射而产生X射线的靶和支承靶且使在靶产生的X射线透过的靶支承部;和X射线出射窗,其以与靶支承部相对的方式设置,将真空框体的开口部密封,使透过靶支承部后的X射线透过,X射线出射窗的至少一部分与靶支承部接触。在该X射线管,因为X射线出射窗的至少一部分与靶支承部接触,所以能够通过热传导将靶的热经靶支承部传导至X射线出射窗。由此,能够提高靶的散热性,抑制热引起的靶的损伤。在本专利技术的一个方面的X射线管,也可以为如下结构:从X射线出射窗的X射线出射方向看,靶支承部包含于X射线出射窗。根据该结构,能够提高通过X射线出射窗使靶的热经靶支承部散热的效率(以下,还简称为“散热效率”)。在本专利技术的一个方面的X射线管,也可以为如下结构:X射线出射窗的一部分与靶支承部接触,X射线出射窗的另一部分与靶支承部分离。根据该结构,能够通过使X射线出射窗的一部分与靶支承部接触而提高靶的散热性,同时使X射线出射窗的另一部分与靶支承部分离,抑制起因于内部空间的真空保持的应力的影响波及靶支承部。在本专利技术的一个方面的X射线管,也可以为如下结构:X射线出射窗的一部分是与靶支承部的靶的电子入射区域相对的区域,X射线出射窗的另一部分是X射线出射窗的周缘部。根据该结构,特别能够使X射线出射窗与容易高温化的区域接触,能够提高散热效率。在本专利技术的一个方面的X射线管,也可以为如下结构:X射线出射窗具有向靶支承部侧突出而与靶支承部接触的凸形。在这种情况下,能够减少为了使X射线出射窗与靶支承部接触而需要在靶支承部设置的结构。能够提高靶支承部的结构的自由度。在本专利技术的一个方面的X射线管,也可以为如下结构:靶支承部具有向X射线出射窗侧突出而与X射线出射窗接触的凸形。在这种情况下,能够利用靶支承部支承X射线出射窗。由此,能够使X射线出射窗的厚度变薄,能够提高X射线出射窗的X射线出射效率。本专利技术的一个方面的X射线管也可以具备使靶部沿与电子束的入射方向交叉的方向移动的靶移动部。由此,通过利用靶移动部使靶部移动,能够使靶移动而改变靶的电子束的入射位置。能够提高靶的寿命特性。本专利技术的一个方面的X射线管也可以具备将靶部向靠近X射线出射窗的方向按压的弹性部件。由此,能够使靶靠近X射线出射窗,能够减小自X射线焦点至被检体的距离FOD(FocustoObjectDistance:焦点对象距离)。本专利技术的一个方面的X射线产生装置包括:上述X射线管;收纳X射线管的至少一部分并且封入有绝缘油的框体;和经由供电部与X射线管电连接的电源部。在该X射线产生装置中,也能够获得通过上述X射线管抑制热引起的靶的损伤的上述效果。专利技术的效果根据本专利技术的一个方面,能够提供能够抑制热引起的靶的损伤的X射线管和X射线产生装置。附图说明图1是表示实施方式的X射线产生装置的纵截面图。图2是表示实施方式的X射线管的纵截面图。图3是表示实施方式的X射线管的X射线出射侧的纵截面图。图4(a)是说明图3的靶部的移动的放大纵截面图。图4(b)是说明图3的靶部的移动的其它放大纵截面图。图5是表示图3的靶部的分解立体图。图6是表示图3的靶移动板的下表面侧的立体图。图7是说明变形例的X射线管的靶部的移动的放大纵截面图。具体实施方式以下,参照附图对实施方式进行详细说明。在以下的说明中对相同或相当的要素标注相同的附图标记,省略重复的说明。图1是表示实施方式的X射线产生装置的纵截面图。图2是表示实施方式的X射线管的纵截面图。如图1所示,X射线产生装置100例如是用于观察被检体的内部结构的X射线非破坏检查的微小焦点X射线源。X射线产生装置100包括X射线管1、框体C和电源部80。如图2所示,X射线管1是将通过对靶T射入来自电子枪110的电子束B而产生且透过该靶T自身的X射线X从X射线出射窗30射出的透过型的X射线管。X射线管1是包括具有真空的内部空间R的真空框体10的、不需要进行零件更换等的真空密封型的X射线管。真空框体10呈大致圆柱形的外形。真空框体10包括由金属材料(例如不锈钢)形成的头部4和由绝缘材料(例如玻璃)形成的绝缘真空管2。在头部4,固定有X射线出射窗30。头部4具有主体部11和上盖12。在绝缘真空管2,固定有电子枪110。绝缘真空管2具有以从与X射线出射窗30相对的端部侧向X射线出射窗30侧折回的方式延伸而形成的凹部116。此外,绝缘真空管2具有以将凹部116的X射线出射窗30侧的端部密封的方式设置的管座115。管座115通过用于供电等的管销S在内部空间R的规定位置保持电子枪110。即,通过凹部116,将头部4与电子枪110的沿面距离延长而提高耐电压特性,并且通过在内部空间R内将电子枪110靠近靶T地配置,容易使电子束B微小焦点化。电子枪110包括由通过通电而发热的灯丝形成的加热器111、由加热器111加热而成为电子放出源的阴极112、控制从阴极112放出的电子的量的第1栅极113和将从第1栅极113通过的电子向靶T聚焦的圆筒状的第2栅极114。X射线管1固定在后述的筒部件70的一端侧。另外,在X射线管1附设有未图示的排气管,通过经由该排气管对内部抽真空而真空密封。X射线产生装置100的框体C包括筒部件70和收纳电源部80的电源部外壳84。筒部件70由金属形成。筒部件70呈在其两端具有开口的圆筒状。筒部件70在其一端侧的开口70a被插入X射线管1的绝缘真空管2。由此,筒部件70收纳X射线管1的至少一部分。在筒部件70的一个端面与X射线管1的安装法兰3抵接且利用螺栓等固定。由此,X射线管1固定于筒部件70的开口70a并且将开口70a密封。在筒部件70的内部封入有液状的作为电绝缘性物质的绝缘油71。电源部80具有向X射线管1供给电力的功能。电源部80具有由环氧树脂构成的绝缘块81和包含模制于绝缘块81中的高电压发生电路的内部基板82,收纳在呈矩形箱状的电源部外壳84。在电源部80固定有筒部件70的另一端侧(与作为X射线管1侧的一端侧相反侧)。由此,密封筒部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种X射线管,其特征在于,包括:/n具有真空的内部空间的真空框体;/n靶部,其配置在所述内部空间,包括通过电子束的入射而产生X射线的靶和支承所述靶且使在所述靶产生的所述X射线透过的靶支承部;和/nX射线出射窗,其以与所述靶支承部相对的方式设置,将所述真空框体的开口部密封,使透过所述靶支承部后的所述X射线透过,/n所述X射线出射窗的至少一部分与所述靶支承部接触。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170428 JP 2017-0900441.一种X射线管,其特征在于,包括:
具有真空的内部空间的真空框体;
靶部,其配置在所述内部空间,包括通过电子束的入射而产生X射线的靶和支承所述靶且使在所述靶产生的所述X射线透过的靶支承部;和
X射线出射窗,其以与所述靶支承部相对的方式设置,将所述真空框体的开口部密封,使透过所述靶支承部后的所述X射线透过,
所述X射线出射窗的至少一部分与所述靶支承部接触。


2.如权利要求1所述的X射线管,其特征在于:
从所述X射线出射窗的X射线出射方向看,所述靶支承部包含于所述X射线出射窗。


3.如权利要求1或2所述的X射线管,其特征在于:
所述X射线出射窗的一部分与所述靶支承部接触,
所述X射线出射窗的另一部分与所述靶支承部分离。


4.如权利要求3所述的X射线管,其特征在于:
所述X射线出射窗的一部分为与所述靶支承部的所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:铃木一隆
申请(专利权)人:浜松光子学株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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