测量平台用显微镜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种测量平台用显微镜，包括：支架；转换盘，包括可旋转安装于支架上的转换固定盘以及固定于转换固定盘下方的镜头支撑盘，所述转换盘上环形阵列分布有不同倍率的多个镜头；动力装置，安装于支架上，为转换盘的转动提供动力；以及同步传动装置，设置于镜头支撑盘与动力装置之间，可将来自动力装置的动力传递至镜头支撑盘；所述镜头支撑盘由支撑内盘和传动外盘组合而成，所述支撑内盘与传动外盘可拆卸连接。本实用新型专利技术提供的测量平台用显微镜，实现了显微镜镜头倍率的自动切换，能有效防止传动过程的磨损造成精度下降的问题，实现了大幅面产品的便捷精确测量。

Microscope for measuring platform

【技术实现步骤摘要】
测量平台用显微镜
本技术涉及光学测量领域，特别是涉及一种测量平台用显微镜。
技术介绍
测量显微镜，采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量，特别适用于录象磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试，广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门，工作台除作X、Y坐标的移动外，还可以作360度的旋转，亦可以进行高度方向做Z坐标的测量，是一种理想的固定场所小型精密测量仪器；测量显微镜仪器进一步可连接CCD电视摄像头，作工件的轮廓放大；亦可连接计算机进行数据处理等测量。但是目前现有的测量显微镜，其不同倍率镜头的旋转测量都是靠人工手动去旋转调试，很容易导致手部触碰到待测量工件或物品，造成工件或物品的污染或磨损，且手动旋转镜头还容易造成镜头对准精度不高，扫描测量误差较大等问题。有鉴于此，有必要提供一种能实现感应精度更准确、传动更稳定、摩擦损耗更小的测量平台用显微镜。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种能实现感应精度更准确、传动更稳定、摩擦损耗更小的测量平台用显微镜。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：本申请实施例公开一种测量平台用显微镜，包括：支架；转换盘，包括可旋转安装于支架上的转换固定盘以及固定于转换固定盘下方的镜头支撑盘，所述转换盘上环形阵列分布有不同倍率的多个镜头；动力装置，安装于支架上，为转换盘的转动提供动力；以及同步传动装置，设置于镜头支撑盘与动力装置之间，可将来自动力装置的动力传递至镜头支撑盘；所述镜头支撑盘由支撑内盘和传动外盘组合而成，所述支撑内盘与传动外盘可拆卸连接。优选地，在上述一种测量平台用显微镜中，所述支撑内盘的材质为尼龙材质。优选地，在上述一种测量平台用显微镜中，所述传动外盘的材质为金属材质。优选地，在上述一种测量平台用显微镜中，所述支撑内盘为一抛面结构，所述支撑内盘的弧度大于所述转换盘弧度。优选地，在上述一种测量平台用显微镜中，所述支撑内盘与传动外盘卡扣连接。优选地，在上述一种测量平台用显微镜中，所述支撑内盘的抛面边缘环形开设有螺孔，所述传动外盘上开设有相对应的螺孔。优选地，在上述一种测量平台用显微镜中，所述支撑内盘的抛面上环形阵列分布有多个通孔，用于卡扣不同倍率的镜头。优选地，在上述一种测量平台用显微镜中，所述同步传动装置包括：同步带轮，固定设置于动力装置上；同步传动带，一端与传动外盘相卡合，另一端与动力装置上的同步带轮相卡合。优选地，在上述一种测量平台用显微镜中，所述传动外盘上设有等距分布的齿轮，所述同步传动带上设有与之相对应的啮齿，所述齿轮与啮齿相啮合。优选地，在上述一种测量平台用显微镜中，所述传动外盘底部设有阶梯状挡边。与现有技术相比，本技术的优点在于：本显微镜测量平台的镜头支撑盘采用尼龙支撑内盘卡合金属传动外盘的结构，金属传动外盘能有效的防止与传动带之间的摩擦磨损，造成镜头转换的精度下降，尼龙内盘能保持一定的张驰度，有助于不同倍率镜头的卡合精度调整。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1所示为本技术一具体实施例中一种显微镜测量平台的立体图；图2所示为本技术一具体实施例中一种测量平台用显微镜结构图；图3为本技术一具体实施例中一种测量平台用显微镜的内部细节图；图4所示为本技术一具体实施例中镜头自动切换装置中的同步传动装置结构图；图5所示为本技术一具体实施例中一种测量平台用显微镜的定位结构示意图；图6所示为本技术一具体实施例中一种测量平台用显微镜的镜头支撑盘结构图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。参考图1所示，在一具体实施例中提供了一种显微镜测量平台，包括底座架1，置于底座架1上的测量平台2以及可滑动于测量平台2上的显微镜结构。底座架1的材质为花岗岩，底座架1外套有铂金外罩，底座架1与测量平台2间设有空气弹簧11，底座架1上还设有可用于方便移动的脚轮12。在该技术方案中，空气弹簧11能隔绝环境振动，确保显微镜在扫描测量的过程中，镜头与待测表面之间不会发生各方向位移。显微镜结构包括沿z轴方向设于测量平台2两侧的立柱31，沿x轴方向固定设于立柱31上的横梁32，设于横梁32上，可沿横梁32来回滑动的x轴滑台基板33以及固定于x轴滑台基板33上，可沿z轴上下移动的，用于扫描观测的、可自动切换镜头的测量平台用显微镜30。立柱31材质为花岗岩，立柱31可同时沿着测量平台2的边缘滑动。参考图2-6所示，在一具体实施例中提供了一种显微镜测量平台的镜头自动切换装置及其细节图，包括支架301，转换盘、动力装置304、传感器305以及固定架306。支架301用于显微镜在测量平台2和x轴滑台基板33上的固定，同时还用于显微镜内部光学组件的安装，支架301包括一平行于测量平台2的支架基座底面3011以及一镜头安装面3012，镜头安装面3012与支架基座底面3011呈现一钝角，便于单个镜头对下方工件的测量。转换盘为一抛面结构，可旋转安装于支架301的镜头安装面3012上，转换盘包括转换固定盘302和镜头支撑盘303。转换固定盘302可旋转安装于支架301的镜头安装面3012上，转换固定盘302的抛面上开设有多个安装孔3023，参考图5所示，安装孔3023用于可拆卸安装不同倍率的镜头，相邻镜头之间分别设置有1个感应片，感应片阵列设置于转换固定盘302的四周，感应片可与传感器305配合控制镜头旋转精度，转换固定盘302上方设有与转换固定盘302一体成型的固定件3021，固定件3021与转换固定盘302同轴设置，固定件3021为圆柱形，中央中空，可供旋转转轴通过，固定件3021上环形阵列分布有多个凹槽30211，每个凹槽30211分别对应一个镜头，参考图3所示。在其他实施例中，固定件还可设置于显微镜支架上。参考图5所示，支架301内，固定件3021的侧面还设有一可与固定件相对转动的定位件3022，定位件3022上沿其轴向设置有配合凹槽30211的弹性件30221，该弹性件30221作用于固定件3021，并可沿固定件3021表面滑动。弹性件30221包括弹簧以及设置于弹簧末端的弹珠，弹珠与凹槽30211配合，在无阻力的情况下，弹珠在弹簧的作用下，略冒出定位件本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测量平台用显微镜，包括：/n支架；/n转换盘，包括可旋转安装于支架上的转换固定盘以及固定于转换固定盘下方的镜头支撑盘，所述转换盘上环形阵列分布有不同倍率的多个镜头；/n动力装置，安装于支架上，为转换盘的转动提供动力；以及/n同步传动装置，设置于镜头支撑盘与动力装置之间，可将来自动力装置的动力传递至镜头支撑盘；其特征在于：/n所述镜头支撑盘由支撑内盘和传动外盘组合而成，所述支撑内盘与传动外盘可拆卸连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种测量平台用显微镜，包括：
支架；
转换盘，包括可旋转安装于支架上的转换固定盘以及固定于转换固定盘下方的镜头支撑盘，所述转换盘上环形阵列分布有不同倍率的多个镜头；
动力装置，安装于支架上，为转换盘的转动提供动力；以及
同步传动装置，设置于镜头支撑盘与动力装置之间，可将来自动力装置的动力传递至镜头支撑盘；其特征在于：
所述镜头支撑盘由支撑内盘和传动外盘组合而成，所述支撑内盘与传动外盘可拆卸连接。


2.根据权利要求1所述的一种测量平台用显微镜，其特征在于，所述支撑内盘的材质为尼龙材质。


3.根据权利要求1所述的一种测量平台用显微镜，其特征在于，所述传动外盘的材质为金属材质。


4.根据权利要求1所述的一种测量平台用显微镜，其特征在于，所述支撑内盘为一抛面结构，所述支撑内盘的弧度大于所述转换盘弧度。


5.根据权利要求1所述的一种测量平台用显...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡进，胡彧，陈铭勇，仲崇明，
申请(专利权)人：苏州亿拓光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32