带有电极的基板、层叠基板及有机器件的制造方法技术

本发明专利技术的一个方式的带有电极的基板是用于制造包含第1电极(14)、有机功能层(16)及第2电极(18)的有机器件(10)的带有电极的基板(32)，具备：支承基板(34)、在支承基板(34)的表面(34a)上设于器件形成区域(DA)的内侧的第1电极、和设于上述表面上且被与第1电极电连接的防带电用导电部(36)。

Manufacturing method of substrate with electrode, laminated substrate and organic device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带有电极的基板、层叠基板及有机器件的制造方法
本专利技术涉及带有电极的基板、层叠基板及有机器件的制造方法。
技术介绍
有机器件可以通过在基板上形成第1电极、有机功能层及第2电极来制造。在有机器件的制造过程中，若在具有绝缘性、高电阻特性的基板上形成第1电极那样的导体，则因制造过程中产生的静电而有形成有第1电极等的基板带电的情况。由于该静电电压的原因，空中的颗粒等被拉近而附着于基板上，产生颗粒所致的缺陷，或因积存于基板的电荷的放电时的电击而在制造中的结构体产生缺陷，从而有制造成品率降低的趋势。对此，专利文献1公开了在基板中在与形成第1电极等的面相反的面形成导电膜、防止静电局部地蓄积的技术。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2015－216072号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题即使像专利文献1那样，在基板中，在与形成第1电极等的面相反的面形成导电膜，也会在形成第1电极等的面产生电荷。因此，颗粒等被拉近而附着于第1电极上、或发生来自第1电极上的放电，由此有可能产生制造成品率的降低。因而，本专利技术的目的在于，提供在有机器件的制造中可以实现高的制造成品率的带有电极的基板、层叠基板及有机器件的制造方法。用于解决问题的方法本专利技术的一个方面的带有电极的基板是用于制造包含第1电极、第2电极和设于上述第1电极与第2电极之间的有机功能层的有机器件的带有电极的基板，具备：支承基板、设于上述支承基板的表面上的器件形成区域的内侧的上述第1电极、和设于上述表面上的上述器件形成区域的外侧且与上述第1电极电连接的防带电用导电部。上述构成中，通过在设于器件形成区域的内侧的第1电极上形成有机功能层及第2电极，可以在器件形成区域制造有机器件。在带有电极的基板中，在支承基板的表面上，设有与第1电极电连接的防带电用导电部。因而，通过在将防带电用导电部接地的同时制造有机器件，可以防止有机器件的制造过程中的静电的产生、及与之相伴的带有电极的基板的带电。其结果是，在有机器件中难以产生由静电引起的缺陷，因此可以在有机器件的制造中实现高的制造成品率。可以还具有辅助电极，其在上述器件形成区域的内侧与上述第1电极分离地配置于上述表面上，且应该与上述第2电极电连接，上述辅助电极与上述防带电用导电部被电连接。如此所述，即使是在第1电极之外还设有辅助电极的构成，由于辅助电极与防带电用导电部被电连接，因此也可以防止有机器件的制造过程中的带有电极的基板的带电。上述支承基板可以是沿一个方向延伸的挠曲性基板。该情况下，例如能够一边利用卷对卷方式运送带有电极的基板一边制造有机器件。因此，能够有效地制造有机器件。此外，可以借助用于利用卷对卷方式运送带有电极的基板的辊，将防带电用导电部接地。上述防带电用导电部可以沿上述支承基板的上述一个方向延伸。该情况下，例如，在一边运送带有电极的基板一边形成有机器件时，易于利用例如具有导电性且被接地的辊等将防带电用导电部接地。在从上述支承基板的厚度方向观察的情况下，上述第1电极和上述防带电用导电部可以形成于上述支承基板的上述表面上的不同区域。在从上述支承基板的厚度方向观察的情况下，上述第1电极和上述防带电用导电部可以不具有相互重叠的部分。本专利技术的另一个方面的层叠基板具备：本专利技术的一个方面的带有电极的基板、设于上述带有电极的基板的上述第1电极上的上述有机功能层、和设于上述有机功能层上且与上述防带电用导电部电连接的导电层。上述层叠基板中，例如通过将导电层图案化而形成第2电极、或在导电层上进一步形成第2电极，可以制造有机器件。在使用层叠基板制造有机器件的情况下，由于导电层与防带电用导电部被电连接，因此通过将防带电用导电部接地，可以防止层叠基板的带电。因此，在有机器件的制造中，可以实现高的制造成品率。本专利技术的另一个方面是制造具有本专利技术的一个方面的带有电极的基板、有机功能层及第2电极的有机器件的方法，该方法具备：一边运送上述带有电极的基板一边在上述带有电极的基板的上述第1电极上形成上述有机功能层的工序；和一边运送上述带有电极的基板一边在上述有机功能层上形成上述第2电极的工序，在将上述防带电用导电部接地的同时，运送上述带有电极的基板。上述方法中，一边运送设有与第1电极电连接的防带电用导电部的带有电极的基板，一边在第1电极上形成有机功能层及第2电极。由此，可以在器件形成区域制造有机器件。在有机器件的制造中，由于在将防带电用导电部接地的同时，运送带有电极的基板，因此在有机器件的制造过程中，可以防止带有电极的基板的带电。其结果是，可以实现高的制造成品率。可以使具有导电性、并且被接地的辊接触上述带有电极的基板的上述防带电用导电部，由此将上述防带电用导电部接地。该情况下，能够不妨碍带有电极的基板的运送、并且不产生不需要的颗粒等地将防带电用导电部接地。专利技术效果根据本专利技术，能够提供在有机器件的制造中可以实现高的制造成品率的带有电极的基板、层叠基板及有机器件的制造方法。附图说明图1是表示利用一个实施方式的有机器件的制造方法制造的有机EL器件的构成的示意图。图2是用于制造图1所示的有机EL器件的带有电极的基板的俯视图。图3是表示图2所示的带有电极的基板的变形例的图。图4是表示图2所示的带有电极的基板的另一变形例的图。图5是示意性地表示利用卷对卷方式的有机EL器件的制造方法的图。图6是用于说明带有电极的基板与运送辊的配置关系的图。图7是用于说明有机EL器件的制造方法中的发光层(有机功能层)形成工序的图。图8是用于说明有机EL器件的制造方法中的阴极(第2电极)形成工序的图。图9是用于说明有机EL器件的制造方法中的阴极(第2电极)形成工序的图。图10是用于说明带有电极的基板与运送辊的配置关系的另一例的图。具体实施方式以下，在参照附图的同时对本专利技术的实施方式进行说明。对于相同要素使用相同符号，省略重复的说明。附图的尺寸比率未必与说明的尺寸比率一致。作为有机器件，例如可以举出有机EL器件、有机太阳能电池、有机光探测器及有机晶体管等。以下说明的实施方式中，只要没有指出，有机器件就是有机EL器件。如图1所示，利用本实施方式的有机器件的制造方法制造的有机EL器件10具备挠曲性基板12、阳极(第1电极)14、发光层(有机功能层)16及阴极(第2电极)18。阳极14、发光层16及阴极18构成有机EL器件10的器件主体部。有机EL器件10例如为照明中使用的有机EL照明面板。有机EL器件10可以具备与阴极18电连接的辅助电极22。有机EL器件10可以采用底部发光方式或顶部发光方式。以下，只要没有指出，就是对具备辅助电极22的底部发光型的有机EL器件10进行说明。[挠曲性基板]挠曲性基板12对可见光(波长400nm～800nm的光)具有透光性。挠曲性基板12的厚度例如为30μm以上且500μm以下。挠曲性基板12本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带有电极的基板，/n是用于制造包含第1电极、第2电极和设于所述第1电极与第2电极之间的有机功能层的有机器件的带有电极的基板，/n所述带有电极的基板具备：/n支承基板、/n设于所述支承基板的表面上的器件形成区域的内侧的所述第1电极、和/n设于所述表面上的所述器件形成区域的外侧且与所述第1电极电连接的防带电用导电部。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170426 JP 2017-0873921.一种带有电极的基板，
是用于制造包含第1电极、第2电极和设于所述第1电极与第2电极之间的有机功能层的有机器件的带有电极的基板，
所述带有电极的基板具备：
支承基板、
设于所述支承基板的表面上的器件形成区域的内侧的所述第1电极、和
设于所述表面上的所述器件形成区域的外侧且与所述第1电极电连接的防带电用导电部。


2.根据权利要求1所述的带有电极的基板，其中，
还具有辅助电极，其在所述器件形成区域的内侧与所述第1电极分离地配置于所述表面上，且应该与所述第2电极电连接，
所述辅助电极被与所述防带电用导电部电连接。


3.根据权利要求1或2所述的带有电极的基板，其中，
所述支承基板为沿一个方向延伸的挠曲性基板。


4.根据权利要求3所述的带有电极的基板，其中，
所述防带电用导电部沿所述支承基板的所述一个方向延伸。


5.根据权利要求1～4中任一项所述的带有电极的基板，其中，
在从所述支承基板的厚度方向观察的情况下，所述第1电极和所述防...

【专利技术属性】
技术研发人员：森岛进一，下河原匡哉，岸川英司，
申请(专利权)人：住友化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP