一种压敏薄膜及微压力传感器制造技术

技术编号:22801892 阅读:26 留言:0更新日期:2019-12-11 12:09
本实用新型专利技术公开了一种压敏薄膜及微压力传感器,包括压敏薄膜层、弹性绝缘层和微观结构层,压敏薄膜层连接于弹性绝缘层的上下表面,且压敏薄膜层与弹性绝缘层之间形成空腔,微观结构层位于空腔内,且微观结构层位于弹性绝缘层的表面,当传感器受到外界的作用力后,作用力使上压敏薄膜层和下压敏薄膜层产生形变,并作用于微观结构层,微观结构层在力的作用下会有较大的压缩幅度并渗入到弹性绝缘层的缝隙中,相比较现有的高分子材料电介质,微观结构层被压缩后对压敏薄膜层的反作用力几乎为零,因此只需要微小的力就可以使压敏薄膜层产生形变,在保证了高电容量的前提下,提高了传感器的灵敏度,可应用在人体运动检测、健康监测等领域。

Pressure sensitive film and micro pressure sensor

The utility model discloses a pressure-sensitive film and a micro pressure sensor, which comprises a pressure-sensitive film layer, an elastic insulation layer and a microstructure layer. The pressure-sensitive film layer is connected to the upper and lower surfaces of the elastic insulation layer, and a cavity is formed between the pressure-sensitive film layer and the elastic insulation layer. The microstructure layer is located in the cavity, and the microstructure layer is located on the surface of the elastic insulation layer. When the sensor is exposed to the outside world Under the action of the force, the upper and lower pressure-sensitive film layers will deform and act on the microstructure layer. The microstructure layer will have a larger compression range and penetrate into the gap of the elastic insulation layer. Compared with the existing polymer dielectric, the reaction force of the microstructure layer on the pressure-sensitive film layer is almost zero after being compressed, so only A small force can make the varistor film deform. On the premise of high capacitance, the sensitivity of the sensor is improved. It can be used in human motion detection, health monitoring and other fields.

【技术实现步骤摘要】
一种压敏薄膜及微压力传感器
本技术属于传感器
,尤其涉及一种压敏薄膜及微压力传感器。
技术介绍
微压力传感器是近年来诞生的一种性能优良的新型压力传感器,具有质量轻、柔性好、体积小等优点。申请号为CN201820058825.2的专利专利技术了一种柔性薄膜压力传感器,它的原理是包含上下两个间隔开的电阻碳膜,传感器受压时,第一电阻碳膜和第二电阻碳膜相互接触,改变导线的输出电阻,其灵敏性主要取决于电阻碳膜的电阻率。这种薄膜压力传感器的压力检测范围较宽,但是其灵敏性较差,并不能检测到微弱的压力信号,无法应用在人体运动检测、健康监测等可穿戴设备领域。
技术实现思路
本技术提供一种压敏薄膜及微压力传感器,具有灵敏性高的特点。本技术一方面提供一种微压力传感器,包括压敏薄膜层、弹性绝缘层和微观结构层,所述压敏薄膜层连接于所述弹性绝缘层的上下表面,且所述压敏薄膜层与所述弹性绝缘层之间形成空腔,所述微观结构层位于所述空腔内,且所述微观结构层位于所述弹性绝缘层的表面。所述的一种微压力传感器,优选的,所述微观结构层的厚本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微压力传感器,其特征在于:包括压敏薄膜层(1)、弹性绝缘层(4)和微观结构层(3),所述压敏薄膜层(1)连接于所述弹性绝缘层(4)的上下表面,且所述压敏薄膜层(1)与所述弹性绝缘层(4)之间形成空腔(2),所述微观结构层(3)位于所述空腔(2)内,且所述微观结构层(3)位于所述弹性绝缘层(4)的表面。/n

【技术特征摘要】
1.一种微压力传感器,其特征在于:包括压敏薄膜层(1)、弹性绝缘层(4)和微观结构层(3),所述压敏薄膜层(1)连接于所述弹性绝缘层(4)的上下表面,且所述压敏薄膜层(1)与所述弹性绝缘层(4)之间形成空腔(2),所述微观结构层(3)位于所述空腔(2)内,且所述微观结构层(3)位于所述弹性绝缘层(4)的表面。


2.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于:所述微观结构层(3)的厚度为10nm-10μm。


3.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于:所述微观结构层(3)复合在所述弹性绝缘层(4)表面的中间区域,所述压敏薄膜层(1)与所述弹性绝缘层(4)的外围相连。


4.根据权利要求1所述的传感器,其特征在于:所述微观结构层(3)边缘与所述空腔(2)边缘相对齐。


5.根据权利要求1所述的传感器,其特...

【专利技术属性】
技术研发人员:王国良吴丽琼刘兆平
申请(专利权)人:宁波石墨烯创新中心有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

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