The invention discloses a manufacturing method of a force sensor, which relates to the technical field of detection. The method includes: providing a flexible base, forming at least one cavity in the flexible base, forming at least two electrodes on the inner wall of the cavity, filling the cavity with liquid metal or colloidal metal, and forming a deformable conductive channel. By adopting the technical scheme provided by the embodiment of the invention, the phenomenon of inelastic deformation of metal due to multiple bending in the prior art is avoided, the reliability of force detection is improved, and the motion detection is more favorable.
【技术实现步骤摘要】
力传感器的制造方法本专利技术是″申请日为2018年5月30日,申请号为2018105426282,专利技术名称为力传感器及其制造方法″专利技术申请的分案申请。
本专利技术涉及检测
,特别是涉及一种力传感器的制造方法。
技术介绍
力传感器能够获取压力信号,并按照一定的规律将压力信号转换成电信号的器件或装置。现有的力传感器通常采用金、银、铜等能够发生弹性形变贵金属作为探头,以通过形变来获取压力信号。然而,金属经过多次弯折后会积累应力,产生金属疲劳;在超过一定形变范围后,金属会发生非弹性形变,无法恢复至初始状态;例如,当力传感器应用于运动检测时,金属容易因弯折的次数较多而发生非弹性形变,从而带来较大的测量误差。
技术实现思路
基于此,有必要提供一种力传感器的制造方法,能够提高力传感的可靠性。本专利技术实施例提供一种力传感器的制造方法,所述制造方法包括:提供柔性基底;在所述柔性基底内形成至少一个腔体,在所述腔体内壁形成至少两个电极;往所述腔体内填充液态金属或胶态金属,形成可变形的导电通道。在一种可选的实施方式中,述提供柔性基底的步骤,包括提供第一柔性基底;提供第二柔性基底,于所述第二柔性基底的表面形成至少一个凹槽,所述凹槽能够与所述第一柔性基底配合形成对应的所述腔体。在一种可选的实施方式中,所述在所述柔性基底内形成至少一个腔体,在所述腔体内壁形成至少两个电极的步骤,包括:在所述第一柔性基底的表面形成第一电极;在所 ...
【技术保护点】
1.一种力传感器的制造方法,其特征在于,包括:/n提供柔性基底;/n在所述柔性基底内形成至少一个腔体,在所述腔体内壁形成至少两个电极;往所述腔体内填充液态金属或胶态金属,形成可变形的导电通道。/n
【技术特征摘要】
1.一种力传感器的制造方法,其特征在于,包括:
提供柔性基底;
在所述柔性基底内形成至少一个腔体,在所述腔体内壁形成至少两个电极;往所述腔体内填充液态金属或胶态金属,形成可变形的导电通道。
2.如权利要求1所述的力传感器的制造方法,其特征在于,所述提供柔性基底的步骤,包括
提供第一柔性基底;
提供第二柔性基底,于所述第二柔性基底的表面形成至少一个凹槽,所述凹槽能够与所述第一柔性基底配合形成对应的所述腔体。
3.根据权利要求2所述的力传感器的制造方法,其特征在于,所述在所述柔性基底内形成至少一个腔体,在所述腔体内壁形成至少两个电极的步骤,包括:
在所述第一柔性基底的表面形成第一电极;
在所述凹槽的底部形成第二电极;
对所述第一柔性基底与所述第二柔性基底进行密封连接,形成所述腔体。
4.根据权利要求3所述的力传感器的制造方法,其特征在于,所述对所述第一柔性基底与所述第二柔性基底进行密封连接的步骤,包括:
将所述第一电极与所述凹槽进行对位。
5.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员:冯雪,张柏诚,陈颖,付浩然,蒋晔,刘兰兰,
申请(专利权)人:浙江清华柔性电子技术研究院,清华大学,
类型:发明
国别省市:浙江;33
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