一种用于模块式安装等离子设备的框架组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于模块式安装等离子设备的框架组件，包括箱体和卡块，所述箱体的一侧开有进气孔，所述箱体的另一侧开有出气孔，所述卡块对称焊接于箱体临近进气孔的两组外壁，所述箱体临近进气孔的另两组外壁均焊接有导向杆，所述箱体临近进气孔的侧部焊接有第一连接板，所述第一连接板的侧部覆盖有密封垫，所述箱体临近出气孔的侧壁对称焊接有与卡块相配合的滑块，所述箱体临近出气孔的另两组外壁通过螺栓固定有与导向杆配合的导向套，所述箱体临近出气孔的侧部焊接有第二连接板。本实用新型专利技术简单便捷的实现各模块之间水平的安装，避免影响废气的处理有效的实现拼接处的密封。

A frame component for modular installation of plasma equipment

The utility model discloses a frame component for modular installation of plasma equipment, which comprises a box body and a clamp block, wherein one side of the box body is provided with an air inlet, the other side of the box body is provided with an air outlet, the clamp block is symmetrically welded on two groups of outer walls adjacent to the air inlet of the box body, the other two groups of outer walls adjacent to the air inlet of the box body are welded with guide rods, and the box body is adjacent to the air inlet The side part of the hole is welded with a first connecting plate, the side part of the first connecting plate is covered with a sealing gasket, the side wall of the box near the air outlet is symmetrically welded with a slide block matching with the clamp block, the other two groups of outer walls of the box near the air outlet are fixed with a guide sleeve matching with the guide rod through bolts, and the side part of the box near the air outlet is welded with a second connecting plate. The utility model is simple and convenient to realize the horizontal installation between the modules, avoiding the influence of waste gas treatment to effectively realize the sealing of the splicing place.

【技术实现步骤摘要】
一种用于模块式安装等离子设备的框架组件
本技术涉及等离子设备安装
，具体为一种用于模块式安装等离子设备的框架组件。
技术介绍
等离子体指部分或完全电离的气体，且自由电子和离子所带正、负电荷的总和完全抵消，宏观上呈现中性电，现在等离子设备广泛运用于金属、微电子、聚合物、生物功能材料、低温灭菌及废气治理等多种领域，在对废气的处理过程中，等离子净化器采用分体模块式设计，在安装过程中，将各分体模块分别连通，再与外部的设备相连，即实现等离子净化器整体的安装。但是，现有的框架组件在拼接过程中，不能较好的实现各模块之间的水平安装，导致等离子净化器的工作区域与废气流通方向的存在偏差，影响废气处理，另一方面，拼接的连接部位密封效果较差，容易导致废气泄漏，不利于使用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于模块式安装等离子设备的框架组件，简单便捷的实现各模块之间水平的安装，保证等离子净化器的工作区域与废气流通方向齐平，避免影响废气的处理，同时，有效的实现拼接处的密封，避免气体泄漏，解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于模块式安装等离子设备的框架组件，包括箱体(1)和卡块(2)，其特征在于：所述箱体(1)的一侧开有进气孔(3)，所述箱体(1)的另一侧开有出气孔(4)，所述卡块(2)对称焊接于箱体(1)临近进气孔(3)的两组外壁，所述箱体(1)临近进气孔(3)的另两组外壁均焊接有导向杆(5)，所述箱体(1)临近进气孔(3)的侧部焊接有第一连接板(6)，所述第一连接板(6)的侧部覆盖有密封垫(7)，所述箱体(1)临近出气孔(4)的侧壁对称焊接有与卡块(2)相配合的滑块(8)，所述箱体(1)临近出气孔(4)的另两组外壁通过螺栓固定有与导向杆(5)配合的导向套(9)，所述箱体(1)临近出气孔(4)的侧部焊...

【技术特征摘要】
1.一种用于模块式安装等离子设备的框架组件，包括箱体(1)和卡块(2)，其特征在于：所述箱体(1)的一侧开有进气孔(3)，所述箱体(1)的另一侧开有出气孔(4)，所述卡块(2)对称焊接于箱体(1)临近进气孔(3)的两组外壁，所述箱体(1)临近进气孔(3)的另两组外壁均焊接有导向杆(5)，所述箱体(1)临近进气孔(3)的侧部焊接有第一连接板(6)，所述第一连接板(6)的侧部覆盖有密封垫(7)，所述箱体(1)临近出气孔(4)的侧壁对称焊接有与卡块(2)相配合的滑块(8)，所述箱体(1)临近出气孔(4)的另两组外壁通过螺栓固定有与导向杆(5)配合的导向套(9)，所述箱体(1)临近出气孔(4)的侧部焊接有第二连接板(10)，所述第一连接板(6)、密封垫(7)和第二连接板(10)均开有相配合螺栓孔(11)。


2.根据权利要求1所述的一种用于模块式安装等离子设备的框架组件，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕东境，吕慧芹，吕东镇，林仲兴，
申请(专利权)人：漳州市壹席环保工程有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35