射频电源输出功率的校准方法和校准装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种射频电源输出功率的校准方法和校准装置。该方法包括：获取所述射频电源的多个预设输出校准功率A[i]，i＝1,2,…,n；获取所述负载的多个实际功率B[i]，i＝1,2,…,n，所述负载的多个实际功率B[i]与多个所述预设输出校准功率A[i]一一对应；根据多个所述预设输出校准功率A[i]和多个所述实际功率B[i]获得所述负载的实际功率B与所述射频电源的预设输出校准功率A之间的函数关系B＝F(A)；将所述预设输出校准功率A与所述实际功率B之间的函数关系F作为所述射频电源的理论输出功率C与所述负载的预期功率P之间的函数关系：P＝F(C)。依据该方法可提高射频电源输出功率校准的准确度。

Calibration method and device of output power of RF power supply

The invention provides a calibration method and a calibration device for the output power of the radio frequency power supply. The method includes: obtaining a plurality of preset output calibration powers a [i], I = 1,2 , N; obtaining a plurality of actual powers B [i], I = 1,2 , N, the actual power B [i] of the load corresponds to the preset output calibration power a [i] one by one; according to the preset output calibration power a [i] and the actual power B [i], the functional relationship between the actual power B of the load and the preset output calibration power a of the RF power supply B = f (a); and the preset output calibration power a and the actual power B are obtained The functional relationship f between the theoretical output power C of the RF power supply and the expected power P of the load is p = f (c). According to this method, the accuracy of RF power calibration can be improved.

【技术实现步骤摘要】
射频电源输出功率的校准方法和校准装置
本专利技术涉及射频电源
，更具体地，涉及一种射频电源输出功率的校准方法和一种射频电源输出功率的校准装置。
技术介绍
射频电源广泛应用于诸如等离子体设备等的微电子处理设备及其他领域中。如图1所示，射频电源1通过同轴电缆2驱动负载4。负载4例如是等离子体腔室或者线圈。为使负载4得到的功率最大，一般在负载4与同轴电缆2之间插入匹配器3。由于同轴电缆2上的损耗，以及射频电源1的误差等因素造成用户在射频电源1上设置的输出功率与负载4实际接收的功率并不一致。现有的射频电源输出功率的校准方法如下：打开射频电源1，通过上位机设置射频电源1的最大输出功率A，待整个系统稳定后，通过传感器5检测负载4的实际功率B，由用户将实际功率B输入至上位机。用户在上位机输入负载4的用户预期功率X，上位机按照公式Y＝AX/B计算得到实际需要设置的射频电源1的输出功率Y。现有的校准方法有三个假设前提：一是射频电源1的输出功率的误差与输出功率成正比；二是同轴电缆2的损耗与输出功率成正比；三是射频电源1的最大输出功率A的精度在可接受的范围内。但射频电源1的最大输出功率A不是一个稳定的参数，易受到其他因素的影响，并且同轴电缆2的损耗与射频电源1的输出功率的关系以及射频电源1的输出功率的误差与射频电源1的输出功率的关系都不是线性关系，因此现有的校准方法存在较大的误差。
技术实现思路
本专利技术提供一种射频电源输出功率的校准方法和一种射频电源输出功率的校准装置，以提高射频电源输出功率校准的准确度。根据本专利技术的第一个方面，提供一种射频电源输出功率的校准方法，所述射频电源用于驱动负载，所述校准方法包括：获取所述射频电源的多个预设输出校准功率A[i]，i＝1，2，...，n；获取所述负载的多个实际功率B[i]，i＝1，2，...，n，所述负载的多个实际功率B[i]与多个所述预设输出校准功率A[i]一一对应；根据多个所述预设输出校准功率A[i]和多个所述实际功率B[i]获得所述负载的实际功率B与所述射频电源的预设输出校准功率A之间的函数关系B＝F(A)；将所述预设输出校准功率A与所述实际功率B之间的函数关系F作为所述射频电源的理论输出功率C与所述负载的预期功率P之间的函数关系：P＝F(C)。可选地，所述根据多个所述预设输出校准功率A[i]和多个所述实际功率B[i]获得所述负载的实际功率B与所述射频电源的预设输出校准功率A之间的函数关系式B＝F(A)包括：按照预定顺序对多个所述预设输出校准功率A[i]进行排序；根据所述预定顺序依次计算各个所述预设输出校准功率A[i]对应的实际功率B[i]与所述预设输出校准功率A[i]之间的比值k[i]：对所有的比值k[i]与所述预设输出校准功率A[i]的关系进行拟合，获得所述负载的实际功率B与所述射频电源的预设输出校准功率A的比值k与所述预设输出校准功率A的函数关系k＝G(A)；根据函数关系k＝G(A)确定函数关系B＝F(A)。可选地，所述函数关系k＝G(A)包括：可选地，在确定函数关系P＝F(C)之后还包括：将负载的预期功率p带入函数关系F；根据p＝F(c)计算射频电源的理论输出功率c；按照射频电源的理论输出功率c设置射频电源。可选地，在确定函数关系P＝F(C)之后还包括：将射频电源的理论输出功率c带入函数关系F；根据p＝F(c)计算射频电源的负载的预期功率p；输出射频电源的负载的预期功率p。根据本专利技术的第二个方面，提供一种射频电源输出功率的校准装置，所述射频电源用于驱动负载，所述校准装置包括获取模块和计算模块；所述获取模块用于获取所述射频电源的多个预设输出校准功率A[i]，i＝1，2，...，n，获取所述负载的多个实际功率B[i]，i＝1，2，...，n，所述负载的多个实际功率B[i]与多个所述预设输出校准功率A[i]一一对应；所述计算模块用于根据多个所述预设输出校准功率A[i]和多个所述实际功率B[i]获得所述负载的实际功率B与所述射频电源的预设输出校准功率A之间的函数关系B＝F(A)，以及将所述预设输出校准功率与所述实际功率之间的函数关系F作为所述射频电源的理论输出功率C与所述负载的预期功率P之间的函数关系，P＝F(C)。可选地，所述根据多个所述预设输出校准功率A[i]和多个所述实际功率B[i]获得所述负载的实际功率B与所述射频电源的预设输出校准功率A之间的函数关系式B＝F(A)包括：按照预定顺序对多个所述预设输出校准功率A[i]进行排序；根据所述预定顺序依次计算各个所述预设输出校准功率A[i]对应的实际功率B[i]与所述预设输出校准功率A[i]之间的比值：对所有的比值k[i]与所述预设输出校准功率A[i]的关系进行拟合，获得所述负载的实际功率B与所述射频电源的预设输出校准功率A的比值k与所述预设输出校准功率A的函数关系k＝G(A)；根据函数关系k＝G(A)确定函数关系B＝F(A)。可选地，所述函数关系k＝G(A)包括：可选地，所述获取模块还用于获取负载的预期功率p；所述计算模块还用于：将负载的预期功率p带入函数关系F，根据p＝F(c)计算射频电源的理论输出功率c；所述校准装置还包括设定模块，其用于按照射频电源的理论输出功率c设置射频电源。可选地，所述获取模块还用于获取射频电源的理论输出功率c；所述计算模块还用于将射频电源的理论输出功率c带入函数关系F，根据p＝F(c)计算射频电源的负载的预期功率p；所述校准装置还包括输出模块，其用于输出射频电源的负载的预期功率p。根据本专利技术的实施例的校准方法，一方面可实现射频电源输出功率的分段校准，提高校准的准确度；另一方面该方法可在线自动运行，校准过程无需用户参与。附图说明附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本专利技术，但并不构成对本专利技术的限制。在附图中：图1是现有的射频电源输出功率的校准方法对应的系统框图；图2是本专利技术的一个实施例所提供的射频电源输出功率的校准方法的流程图；图3是本专利技术的另一个实施例所提供的射频电源输出功率的校准方法的流程图；图4是本专利技术的另一个实施例所提供的射频电源输出功率的校准方法的流程图；图5是本专利技术的实施例所提供的射频电源输出功率的校准装置的框图。具体实施方式以下结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。根据本专利技术的第一个方面，提供一种射频电源输出功率的校准方法，所述射频电源用于驱动负载，如图2所示，所述校准方法包括以下步骤。在步骤S1中，获取所述射频电源的多个预设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种射频电源输出功率的校准方法，所述射频电源用于驱动负载，其特征在于，所述校准方法包括：/n获取所述射频电源的多个预设输出校准功率A[i]，i＝1,2,…,n；/n获取所述负载的多个实际功率B[i]，i＝1,2,…,n，所述负载的多个实际功率B[i]与多个所述预设输出校准功率A[i]一一对应；/n根据多个所述预设输出校准功率A[i]和多个所述实际功率B[i]获得所述负载的实际功率B与所述射频电源的预设输出校准功率A之间的函数关系B＝F(A)；/n将所述预设输出校准功率A与所述实际功率B之间的函数关系F作为所述射频电源的理论输出功率C与所述负载的预期功率P之间的函数关系：P＝F(C)。/n

【技术特征摘要】
1.一种射频电源输出功率的校准方法，所述射频电源用于驱动负载，其特征在于，所述校准方法包括：
获取所述射频电源的多个预设输出校准功率A[i]，i＝1,2,…,n；
获取所述负载的多个实际功率B[i]，i＝1,2,…,n，所述负载的多个实际功率B[i]与多个所述预设输出校准功率A[i]一一对应；
根据多个所述预设输出校准功率A[i]和多个所述实际功率B[i]获得所述负载的实际功率B与所述射频电源的预设输出校准功率A之间的函数关系B＝F(A)；
将所述预设输出校准功率A与所述实际功率B之间的函数关系F作为所述射频电源的理论输出功率C与所述负载的预期功率P之间的函数关系：P＝F(C)。


2.根据权利要求1所述的校准方法，其特征在于，所述根据多个所述预设输出校准功率A[i]和多个所述实际功率B[i]获得所述负载的实际功率B与所述射频电源的预设输出校准功率A之间的函数关系式B＝F(A)包括：
按照预定顺序对多个所述预设输出校准功率A[i]进行排序；
根据所述预定顺序依次计算各个所述预设输出校准功率A[i]对应的实际功率B[i]与所述预设输出校准功率A[i]之间的比值k[i]：



对所有的比值k[i]与所述预设输出校准功率A[i]的关系进行拟合，获得所述负载的实际功率B与所述射频电源的预设输出校准功率A的比值k与所述预设输出校准功率A的函数关系k＝G(A)；
根据函数关系k＝G(A)确定函数关系B＝F(A)。


3.根据权利要求2所述的校准方法，其特征在于，所述函数关系k＝G(A)包括：





4.根据权利要求1-3任意一项所述的校准方法，其特征在于，在确定函数关系P＝F(C)之后还包括：
将负载的预期功率p带入函数关系F；
根据p＝F(c)计算射频电源的理论输出功率c；
按照射频电源的理论输出功率c设置射频电源。


5.根据权利要求1-3任意一项所述的校准方法，其特征在于，在确定函数关系P＝F(C)之后还包括：
将射频电源的理论输出功率c带入函数关系F；
根据p＝F(c)计算射频电源的负载的预期功率p；
输出射频电源的负载的预期功率p。


6.一种射频电源输出功率的校准装置，所述射频电源用于驱动负载，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜宏伟，陈庆，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11