A method for manufacturing a metal film supported by a glass support includes: a preparation step: preparing a glass substrate with a layer formed on its upper surface; and an etching step: etching a part of the area of the glass substrate from the lower surface to expose the bottom of the layer. The layer comprises a metal film. The etching step can include: the first etching step: using at least one etching solution containing nitric acid and sulfuric acid and hydrofluoric acid to etch the glass substrate to a depth smaller than the thickness of the glass substrate; and the second etching step: using the second etching solution containing hydrofluoric acid but without nitric acid and sulfuric acid to etch the first etched part A second etching to expose the bottom of the layer.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】制造由玻璃支承件支承的金属薄膜的方法背景
本公开涉及制造玻璃上具有金属薄膜的结构的方法。更具体地,本公开涉及制造玻璃结构上的金属薄膜的方法,其中通过蚀刻移除玻璃基材的局部区域,该局部区域在其顶表面上形成有包含金属薄膜的层。
技术介绍
在许多
中需要金属薄膜。另外,各种
需要厚度为纳米至微米级范围的金属薄膜。图1示意性例示了制造由玻璃支承件10b支承的金属薄膜21的一种常规方法。如图1所示,由玻璃支承件10b支承的金属薄膜21通过将玻璃支承件10b焊接到自立式金属薄膜21来制造,所述玻璃支承件10b通过在玻璃基材10中制造局部孔来制造。然而,制造厚度为纳米至微米级范围的自立式金属薄膜可能是困难的。即使在制成了自立式金属薄膜的情况中,仍然可能因为制造成本过高,并且可能因为难以处理自立式金属薄膜而存在限制。因此,作为制造由玻璃基材10b支承的金属薄膜21的方法,图1例示的方法是不实用的,要求可克服上述限制的其他方法。
技术实现思路
本公开的各个方面提供了一种由玻璃支承件支承的金属薄膜。根据一个方面,一种制造玻璃上具有金属薄膜的结构的方法可以包括:制备玻璃基材,在该玻璃基材的顶表面上形成有层;以及从玻璃基材的底部蚀刻玻璃基材的局部区域以向下暴露出所述层,由此形成层的暴露区域。所述层可以是金属薄膜。蚀刻步骤可以包括:使用含有硝酸和硫酸中的至少一种以及氢氟酸的第一蚀刻溶液,对玻璃基材进行第一蚀刻以蚀刻到比玻璃基材厚度小的深度,得到玻璃基材的第一蚀刻部分;以及 ...
【技术保护点】
1.一种制造玻璃上具有金属薄膜的结构的方法,所述方法包括:/n制备其顶表面上形成有层的玻璃基材;以及/n从玻璃基材的底部蚀刻玻璃基材的局部区域,以向下暴露所述层,由此形成所述层的暴露区域,/n其中,所述层包括金属薄膜,并且/n其中,所述蚀刻包括:/n-利用第一蚀刻溶液对玻璃基材进行第一蚀刻,蚀刻到小于玻璃基材的厚度的深度,所述第一蚀刻溶液包含硝酸和硫酸中的至少一种以及氢氟酸,从而得到玻璃基材的第一蚀刻部分;以及/n-使用包含氢氟酸但不包含硝酸或硫酸的蚀刻溶液对玻璃基材的第一蚀刻部分进行第二蚀刻,以向下暴露所述层,/n由此,金属薄膜由玻璃基材的剩余部分支承。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170309 KR 10-2017-0030149;20180308 KR 10-2018-001.一种制造玻璃上具有金属薄膜的结构的方法,所述方法包括:
制备其顶表面上形成有层的玻璃基材;以及
从玻璃基材的底部蚀刻玻璃基材的局部区域,以向下暴露所述层,由此形成所述层的暴露区域,
其中,所述层包括金属薄膜,并且
其中,所述蚀刻包括:
-利用第一蚀刻溶液对玻璃基材进行第一蚀刻,蚀刻到小于玻璃基材的厚度的深度,所述第一蚀刻溶液包含硝酸和硫酸中的至少一种以及氢氟酸,从而得到玻璃基材的第一蚀刻部分;以及
-使用包含氢氟酸但不包含硝酸或硫酸的蚀刻溶液对玻璃基材的第一蚀刻部分进行第二蚀刻,以向下暴露所述层,
由此,金属薄膜由玻璃基材的剩余部分支承。
2.如权利要求1所述的方法,其中,所述玻璃基材包含钠钙玻璃。
3.如权利要求1所述的方法,其中,所述玻璃基材包含无碱金属的玻璃。
4.如权利要求1所述的方法,其中,所述玻璃基材包括可通过离子交换强化的玻璃。
5.如权利要求1所述的方法,其中,暴露区域的外接圆的直径是1英寸或更大。
6.如权利要求5所述的方法,其中,暴露区域的外接圆的直径是3英寸或更大。
7.如权利要求1所述的方法,其中,制备玻璃基材包括:
在玻璃基材上形成种子层,所述种子层包括导电金属;以及
在种子层上形成金属薄膜。
8.如权利要求1所述的方法,
其中,所述层还包括设置在金属薄膜与玻璃基材之间的阻挡层。
9.如权利要求8所述的方法,其中,所述阻挡层包含铬,并且具有或不具有铪。
10.如权利要求8所述的方法,其中,所述阻挡层通过i)层压基于SiC或基于...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴润锡,尹浚老,曺瑞英,李庚珍,
申请(专利权)人:康宁股份有限公司,
类型:发明
国别省市:美国;US
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