显示装置制造方法及图纸

公开了一种显示装置。在一个方面中，所述显示装置包括：第一线，沿第一方向延伸；第二线，沿第二方向延伸；以及存储电容器，电连接到第一线和第二线中的至少一条。第一线包括沿第一方向延伸的第一金属图案层、形成在第一金属图案层上方的中间绝缘层以及形成在第一金属图案层和中间绝缘层上方的第二金属图案层。第二金属图案层沿第一方向延伸。第一线还包括经由接触孔使第一金属图案层电连接到第二金属图案层的第三金属图案层。

display device

A display device is disclosed. In one aspect, the display device includes a first line extending in the first direction, a second line extending in the second direction, and a storage capacitor electrically connected to at least one of the first line and the second line. The first line includes a first metal pattern layer extending in the first direction, an intermediate insulating layer formed above the first metal pattern layer and a second metal pattern layer formed above the first metal pattern layer and the intermediate insulating layer. The second metal pattern layer extends in the first direction. The first line also includes a third metal pattern layer which electrically connects the first metal pattern layer to the second metal pattern layer through a contact hole.

【技术实现步骤摘要】
显示装置本申请是向中国国家知识产权局提交的申请日为2015年11月5日的标题为“显示装置及其制造方法”的第201510745344.X号申请的分案申请。
描述的技术大体上涉及一种显示装置和一种制造该显示装置的方法。
技术介绍
近来，显示装置或面板已经被用于各种目的。另外，显示器近来已经被制造成具有薄的外观并且质轻，这增加了它们的用途的数量。随着对更高分辨率的显示器的需要增大，施加栅极驱动信号或数据驱动信号的信号线需要变得更薄和更长。当信号线的宽度减小以及它们的长度增大时，电阻增大，这导致阻容(RC)延时。
技术实现思路
一个专利技术方面是一种显示装置以及一种制造所述显示装置的方法。附加的方面将在随后的描述中部分地阐述，并且通过描述部分地将是明显的，或者可通过当前实施例的实践来得知。另一方面是一种显示装置，所述显示装置包括：第一线，沿第一方向延伸；第二线，沿第二方向延伸；以及存储电容器，电连接到第一线和第二线中的至少一条，其中，第一线包括：第一金属图案层，沿第一方向延伸；第二金属图案层，形成在第一金属图案层上方，同时中间绝缘层形成在第一金属图案层和第二金属图案层之间，第二金属图案层沿第一方向延伸；以及第三金属图案层，通过接触孔使第一金属图案层与第二金属图案层彼此连接。第二金属图案层可具有与第一金属图案层相同的图案。中间绝缘层可具有与第一金属图案层和第二金属图案层相同的图案。第三金属图案层可位于第二金属图案层上。第三金属图案层可与第二线位于同一层上并且包括与包括在第二线中的材料相同的材料。显示装置还可包括覆盖第一线和存储电容器的绝缘层，其中，绝缘层可包括与接触孔对应的通孔。通孔的内径可等于或大于接触孔的外径。接触孔可暴露第一金属图案层的上表面。第三金属图案层可接触第一金属图案层的上表面的至少一部分和第二金属图案层的上表面。存储电容器可包括第一电极、位于第一电极上的第二电极以及形成在第一电极与第二电极之间的介电层，第一电极、介电层和第二电极可分别与第一金属图案层、中间绝缘层以及第二金属图案层位于相同的层上并且可包括与包括在第一金属图案层、中间绝缘层和第二金属图案层中的材料相同的材料。第一线可包括扫描线和发射控制线中的至少一条，第二线可包括数据线。第三金属图案层可为岛型。另一方面是一种制造显示装置的方法，所述方法包括下述步骤：形成沿第一方面延伸的第一线；形成沿第二方向延伸的第二线；以及形成包括第一电极、介电层和第二电极的存储电容器，其中，第一线的形成步骤包括：形成沿第一方向延伸的第一金属图案层；在第一金属图案层上形成中间绝缘层；在中间绝缘层上形成沿第一方向延伸的第二金属图案层；以及形成经由接触孔使第一金属图案层和第二金属图案层彼此连接的第三金属图案层。在第二金属图案层的形成步骤中，第二金属图案层可具有与第一金属图案层相同的图案。在第三金属图案层的形成步骤中，第三金属图案层可接触第一金属图案层的上表面的一部分和第二金属图案层的上表面。所述方法还可包括下述步骤：形成覆盖第二金属图案层的绝缘层；以及形成穿透绝缘层并与接触孔对应的通孔，其中，在第三金属图案层的形成步骤之前执行绝缘层的形成步骤和通孔的形成步骤。在第二金属图案层的形成步骤中，第二金属图案层可包括第一孔，通孔的形成步骤可包括在中间绝缘层中形成与第一孔对应的第二孔，第一孔和第二孔可形成接触孔。通孔的内径可等于或大于第一接触孔的外径。第三金属图案层可与第二线位于同一层并且可包括与包括在第二线中的材料相同的材料。第一金属图案层可与第一电极位于同一层并且可包括与包括在第一电极中的材料相同的材料，第二金属图案层可与第二电极位于同一层并且可包括与包括在第二电极中的材料相同的材料。第三金属图案层可为岛型。第一线可包括扫描线和发射控制线中的至少一条，第二线可包括数据线。可在掩模工艺中同时执行第一金属图案层的形成步骤、中间绝缘层的形成步骤以及第二金属图案层的形成步骤。另一方面是一种显示装置，所述显示装置包括：第一线，沿第一方向延伸；第二线，沿第二方向延伸；以及存储电容器，电连接到第一线和第二线中的至少一条，其中，第一线包括：第一金属图案层，沿第一方向延伸；中间绝缘层，形成在第一金属图案层上方；第二金属图案层，形成在第一金属图案层和中间绝缘层上方，第二金属图案层沿第一方向延伸；以及第三金属图案层，经由接触孔使第一金属图案层电连接到第二金属图案层。在示例性实施例中，第二金属图案层具有与第一金属图案层基本上相同的图案。中间绝缘层可具有与第一金属图案层和第二金属图案层基本上相同的图案。第三金属图案层可直接形成在第二金属图案层上。第三金属图案层可与第二线形成在同一层上并且由与第二线相同的材料形成。接触孔可穿透中间绝缘层和第二金属图案层。接触孔可暴露第一金属图案层的上表面。在示例性实施例中，所述显示装置还包括覆盖第一线和存储电容器的绝缘层，其中，绝缘层包括与接触孔对应的通孔。通孔的内径可等于或大于接触孔的外径。第一金属图案层的上表面和第二金属图案层的上表面可经由通孔暴露。第三金属图案层可接触第一金属图案层的上表面的至少一部分和第二金属图案层的上表面。在示例性实施例中，存储电容器包括第一电极、位于第一电极上方的第二电极以及设置在第一电极与第二电极之间的介电层，其中，第一电极、介电层和第二电极分别与第一金属图案层、中间绝缘层以及第二金属图案层形成在相同的层上并且包括与第一金属图案层、中间绝缘层和第二金属图案层的材料相同的材料。第一线可包括扫描线和发射控制线中的至少一条，第二线包括数据线。第三金属图案层可为岛型层。另一方面是一种制造显示装置的方法，所述方法包括下述步骤：形成沿第一方向延伸的第一线；形成沿第二方向延伸的第二线；以及形成包括第一电极、介电层和第二电极的存储电容器，其中，第一线的形成步骤包括：形成沿第一方向延伸的第一金属图案层；在第一金属图案层上方形成中间绝缘层；在中间绝缘层上方形成沿第一方向延伸的第二金属图案层；以及形成经由接触孔使第一金属图案层连接到第二金属图案层的第三金属图案层。在示例性实施例中，第二金属图案层具有与第一金属图案层基本上相同的图案。第三金属图案层的形成步骤可包括形成第三金属图案层以接触第一金属图案层的上表面的一部分和第二金属图案层的上表面。所述方法还可包括形成接触孔以穿透中间绝缘层和第二金属图案层。所述方法还可包括形成覆盖第二金属图案层的绝缘层；以及形成穿透绝缘层并且与接触孔对准的通孔，其中，在第三金属图案层的形成步骤之前执行绝缘层的形成步骤和通孔的形成步骤。在示例性实施例中，第二金属图案层的形成步骤包括在第二金属图案层中形成第一孔，通孔的形成步骤包括在绝缘层中形成与第一孔对准的第二孔，第一孔和第二孔形成接触孔。通孔的内径可等于或大于接触孔的外径。第三金属图案层可与第二线形成在同一层上并且包括与第二线的材料相同的材料。第一金属图案层本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示装置，所述显示装置包括：/n基板；/n第一扫描线，形成在所述基板上；/n第二扫描线；/n第一电压线；/n第二电压线；/n第一有机发光二极管；/n第一薄膜晶体管，电连接到所述第一有机发光二极管和所述第一电压线；/n第二薄膜晶体管，电连接到所述第一薄膜晶体管并且被定位成与所述第一扫描线相邻；/n第三薄膜晶体管，电连接到所述第二薄膜晶体管和所述第二电压线并且被定位成与所述第二扫描线相邻；以及/n第四薄膜晶体管，电连接到所述第三薄膜晶体管和所述第二电压线并且被定位成与所述第二扫描线相邻；/n其中，所述第一薄膜晶体管、所述第二薄膜晶体管、所述第三薄膜晶体管和所述第四薄膜晶体管沿有源层形成，所述第一薄膜晶体管的第一有源区、所述第二薄膜晶体管的第二有源区、所述第三薄膜晶体管的第三有源区以及所述第四薄膜晶体管的第四有源区彼此连接，并且/n其中，所述有源层包括与所述第二扫描线叠置的三个部分。/n

【技术特征摘要】
20141107 KR 10-2014-01547311.一种显示装置，所述显示装置包括：
基板；
第一扫描线，形成在所述基板上；
第二扫描线；
第一电压线；
第二电压线；
第一有机发光二极管；
第一薄膜晶体管，电连接到所述第一有机发光二极管和所述第一电压线；
第二薄膜晶体管，电连接到所述第一薄膜晶体管并且被定位成与所述第一扫描线相邻；
第三薄膜晶体管，电连接到所述第二薄膜晶体管和所述第二电压线并且被定位成与所述第二扫描线相邻；以及
第四薄膜晶体管，电连接到所述第三薄膜晶体管和所述第二电压线并且被定位成与所述第二扫描线相邻；
其中，所述第一薄膜晶体管、所述第二薄膜晶体管、所述第三薄膜晶体管和所述第四薄膜晶体管沿有源层形成，所述第一薄膜晶体管的第一有源区、所述第二薄膜晶体管的第二有源区、所述第三薄膜晶体管的第三有源区以及所述第四薄膜晶体管的第四有源区彼此连接，并且
其中，所述有源层包括与所述第二扫描线叠置的三个部分。


2.如权利要求1所述的显示装置，其中，所述第二薄膜晶体管具有双栅电极。


3.如权利要求2所述的显示装置，其中，所述第一扫描线具有与所述第二有源区叠置的部分，并且所述第一扫描线的所述部分对应于所述双栅电极。


4.如权利要求1所述的显示装置，其中，所述第一扫描线或所述第二扫描线包括：
第一金属图案层；
第二金属图案层；
中间绝缘层，置于所述第一金属图案层和所述第二金属图案层之间；以及
第三金属图案层，将所述第一金属图案层连接到所述第二金属图案层。


5.如权利要求1所述的显示装置，其中，所述有源层包括位于从所述三个部分选择的两个部分之间的弯曲部分。


6.如权利要求5所述的显示装置，其中，所述第二薄膜晶体管具有双栅电极。


7.如权利要求6所述的显示装置，其中，所述第一扫描线具有与所述第二有源区叠置的部分，并且所述第一扫描线的所述部分对应于所述双栅电极。


8.如权利要求7所述的显示装置，其中，所述第一扫描线或所述第二扫描线包括：
第一金属图案层；
第二金属图案层；
中间绝缘层，置于所述第一金属图案层和所述第二金属图案层之间；以及
第三金属图案层，将所述第一金属图案层连接到所述第二金属图案层。


9.如权利要求1所述的显示装置，其中，所述有源层在所述第一薄膜晶体管的栅电极下方弯曲。

【专利技术属性】
技术研发人员：赵承奂，权度县，金兑眩，沈栋焕，李成殷，李一正，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR