The utility model relates to a photoresist coating bearing device, which belongs to the field of micro nano optical mechanical and electrical component production equipment; the photoresist coating bearing device includes a bearing tray, an external sleeve, an internal sleeve, a moving sleeve, a spring and a base which are arranged coaxially; the outer edge of the bearing tray has a fillet transition, the upper surface of the bearing tray has an opening and a through hole, and the size of the opening and to be coated The rubber base plate is the same, the through-hole is used for installing the internal sleeve and the movable sleeve; the support plate is rigidly connected with the external sleeve; the spring is wound on the internal sleeve and is located between the movable sleeve and the base; the external sleeve, the internal sleeve and the movable sleeve are kept fixed by the fixed pin; the photoresist coating support plate device of the application can ensure the light The uniformity of the coating thickness can avoid the phenomenon of thick top corner glue caused by the shape of substrate and air flow, and has the technical advantage of convenient unloading.
【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶涂覆承片装置
本技术一种光刻胶涂覆承片装置属于微纳光机电元件生产设备领域。
技术介绍
在半导体器件生产过程中,通常采用旋涂的技术手段实现基片表面的光刻胶涂覆。旋涂工艺主要包括以下步骤:(1)清洗、烘干待涂胶基片;(2)将基片置于光刻胶涂覆装置的承片托盘上,通过真空吸附装置固定;(3)将光刻胶滴于待涂胶基片的中央;(4)启动电机,驱动承片托盘带动基片转动,在离心力和光刻胶内部粘性的共同作用下,实现在基片表面均匀涂覆光刻胶的目的。一般情况下,待涂胶基片具有一定厚度,其侧面通常为柱面,与承片托盘上表面会形成一个台阶,导致光刻胶受离心力作用运动到基片边缘时,受边缘的表面张力作用,在台阶处回流,使得基片边缘的光刻胶隆起,形成厚边的现象。此外,矩形基片在旋涂光刻胶时,由于本身形状和气流的影响,在基片的四个角上胶膜会更厚。厚边现象对曝光操作会产生严重的影响:(1)导致光刻胶曝光区域与掩模版缝隙变大,降低曝光分辨率;(2)导致厚边部分前烘不充分,在曝光操作中出现光刻胶与掩模板粘结等问题,降低掩模板寿命,导致实验失败等;(3)厚边区域基片不能使用,降低基片的使用率。解决基片边缘光刻胶偏厚的问题,目前的方法有:专利CN206627759中提出一种光刻胶去边机,在基片边缘上方设置喷嘴,在涂胶过程中,采用溶剂溶解的方式去除厚边区域光刻胶。这种方式仅支持圆形基片,且会将厚边区域的光刻胶完全去除,降低基片的利用率。专利CN103969955、CN203117637中提出一种玻璃基片固定座,在涂胶时固定玻璃基片,通过保证 ...
【技术保护点】
1.一种光刻胶涂覆承片装置,其特征在于,包括同轴设置的承片托盘(1)、外部套管(2)、内部套管(3)、移动套管(4)、弹簧(5)和底座(6);所述承片托盘(1)的外缘(13)具有圆角过渡,承片托盘(1)的上表面(11)有开口(12)和通孔(14),所述开口(12)的尺寸与待涂胶基片相同,所述通孔(14)用于安装内部套管(3)和移动套管(4);承片托盘(1)与外部套管(2)刚性连接,承片托盘(1)、外部套管(2)、内部套管(3)、移动套管(4)、弹簧(5)和底座(6)之间的配合关系为:承片托盘(1)与移动套管(4)间隙配合;外部套管(2)与移动套管(4)间隙配合;外部套管(2)与底座(6)过盈配合;内部套管(3)与移动套管(4)间隙配合;内部套管(3)与底座(6)过盈配合;所述弹簧(5)缠绕于所述内部套管(3),且位于移动套管(4)与所述底座(6)之间;所述外部套管(2)、内部套管(3)以及可移动套管(4)通过固定销钉(7)保持固定状态;内部套管(3)的顶部(31)与开口(12)的下表面(121)在同一平面或内部套管(3)的顶部(31)低于开口(12)的下表面(121);移动套管(4)在 ...
【技术特征摘要】
1.一种光刻胶涂覆承片装置,其特征在于,包括同轴设置的承片托盘(1)、外部套管(2)、内部套管(3)、移动套管(4)、弹簧(5)和底座(6);所述承片托盘(1)的外缘(13)具有圆角过渡,承片托盘(1)的上表面(11)有开口(12)和通孔(14),所述开口(12)的尺寸与待涂胶基片相同,所述通孔(14)用于安装内部套管(3)和移动套管(4);承片托盘(1)与外部套管(2)刚性连接,承片托盘(1)、外部套管(2)、内部套管(3)、移动套管(4)、弹簧(5)和底座(6)之间的配合关系为:承片托盘(1)与移动套管(4)间隙配合;外部套管(2)与移动套管(4)间隙配合;外部套管(2)与底座(6)过盈配合;内部套管(3)与移动套管(4)间隙配合;内部套管(3)与底座(6)过盈配合;所述弹簧(5)缠绕于所述内部套管(3),且位于移动套管(4)与所述底座(6)之间;所述外部套管(...
【专利技术属性】
技术研发人员:金光国,徐松,
申请(专利权)人:苏州麦田光电技术有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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