识别石墨盘高温烘烤结果的方法、装置、设备及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种识别石墨盘高温烘烤结果的方法、装置、设备及存储介质。所述方法包括：通过与待测石墨盘相对位置固定的图像采集单元获取待测石墨盘的图像；获取图像上的石墨盘的待检测区域，对待检测区域的灰度值进行检测，以确定是否有白盘的区域。所述装置包括：图像采集单元，待检测区域获取单元，以及检测单元。所述设备及存储介质用于实现所述方法。该方法能够自动识别石墨盘高温烘烤的结果，效率高，对结果识别的精准度高，为生产高质量的外延片提供了保障。并且该方法快速高效；同时还可提供制式化数据并传递给MES生产系统，便于后续复查。

Method, device, equipment and storage medium for identifying the high temperature baking results of graphite disk

The invention provides a method, a device, a device and a storage medium for identifying the high temperature baking result of a graphite disk. The method includes: acquiring the image of the graphite disk to be tested by the image acquisition unit which is fixed relative to the graphite disk to be tested; acquiring the region to be tested of the graphite disk on the image, and detecting the gray value of the region to be tested to determine whether there is a region of the white disk. The device includes an image acquisition unit, an area acquisition unit to be detected, and a detection unit. The device and the storage medium are used to implement the method. This method can automatically identify the results of high-temperature baking of graphite disk with high efficiency and high accuracy, which provides a guarantee for the production of high-quality epitaxial wafers. At the same time, it can provide standardized data and transfer it to MES production system for subsequent review.

【技术实现步骤摘要】
识别石墨盘高温烘烤结果的方法、装置、设备及存储介质
本专利技术涉及MOCVD生产领域，尤其涉及一种识别石墨盘高温烘烤结果的方法、装置、设备及存储介质。
技术介绍
石墨盘是MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition，金属有机化合物化学气相沉淀)生产过程中必不可少的装置，石墨盘每生长完一个批次的金属有机化合物都需要在烘烤炉中高温烘烤，将生长过程中残留的MO源及其他一些杂质烤掉，烘烤干净的石墨盘才能用于下一个批次的生长。石墨盘如未高温烤干净，进入MOCVD生长后会导致片源质量异常，且石墨盘未烤干净部分MO源堆积，会呈现为白色，该种状况需及时通知到工艺人员。现有的检测石墨盘高温烘烤是否干净都是作业员对于生长完成的石墨盘进行拍照，并由经过专业培训人员对照片进行判读确认有无白盘问题。然而这种方法存在以下缺陷：1、因大部分石墨盘白盘均为微白盘，即使经过专业培训人员，也经常会出现漏判状况；2、人员在判定石墨盘白盘时，很难明确界定其白盘面积大小，无法进行量化；3、人工判定白盘后，仅可记录有无，无法本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，包括步骤：/n通过与待测石墨盘相对位置固定的图像采集单元获取待测石墨盘的图像；/n获取图像上的石墨盘的待检测区域，对待检测区域的灰度值进行检测，以确定是否有白盘的区域。/n

【技术特征摘要】
1.一种自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，包括步骤：
通过与待测石墨盘相对位置固定的图像采集单元获取待测石墨盘的图像；
获取图像上的石墨盘的待检测区域，对待检测区域的灰度值进行检测，以确定是否有白盘的区域。


2.根据权利要求1所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，
所述待检测区域包括所述待测石墨盘上的非槽位区域。


3.根据权利要求2所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，
通过屏蔽模板屏蔽所述待测石墨盘上的槽位区域以在所述待测石墨盘的图像中获取待检测区域。


4.根据权利要求3所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，所述通过屏蔽模板屏蔽石墨盘上的槽位区域以在所述待测石墨盘的图像中获取待检测区域的步骤包括：
将所述石墨盘的图像与所述屏蔽模板进行对比，屏蔽掉所述中间图像上的所述槽位区域，得到所述待检测区域。


5.根据权利要求4所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，在通过屏蔽模板屏蔽石墨盘上的槽位区域之前，还包括以下步骤：
测试待测石墨盘上所有的槽位区域的灰度值，并将所有的槽位区域的所述灰度值的平均灰度值作为基准灰度值；
以所述基准灰度值为依据对所述待检测区域进行检测以获得检测区域的灰度值，将检测区域的灰度值与所述基准灰度值进行比对以确定是否有白盘的区域。


6.根据权利要求5所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，在测试所述待测石墨盘上所有的槽位区域的灰度值的步骤之前还包括：
对所述待测石墨盘的图像进行灰度化处理，得到所述待测石墨盘的灰度化图像；
对所述待测石墨盘的所述灰度化图像进行边缘检测，得到中间图像。


7.根据权利要求1所述的自动识别石墨盘高温烘烤结果的方法，其特征在于，所述对所述待检测区域进行检测包括：
获取所述待测石墨盘的灰度值动态阈值；
以所述待测石墨盘的所述灰度值动态阈值为依据，检测所述待检测区域的灰度值，并将所述待检测区域的所述灰度值与所述待测石墨盘的所述灰度值阈值进行比较，以确定是否有白盘的区域。


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【专利技术属性】
技术研发人员：彭伟伦，田少波，付泽锋，杨全波，尤江伟，
申请(专利权)人：厦门三安光电有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35