The invention provides a technology capable of suppressing vibration when conveying a reaction pipe assembly. The conveying method of the tubular unit according to one mode of the invention is a conveying method of the reaction pipe assembly with a gas supply pipe arranged in a space between the length direction of the inner wall surface of the vertical reaction pipe and the inner wall surface, which includes: the steps of arranging a buffer part inside the reaction pipe which can buffer the collision between the inner wall surface and the gas supply pipe; and the steps of installing the buffer part which can buffer the collision between the inner wall surface and the gas supply pipe The step of loading the reaction tube assembly of the buffer component on the trolley through the vibration elimination component, and the step of moving the trolley to transport the reaction tube assembly.
【技术实现步骤摘要】
反应管组合件的输送方法
本专利技术涉及一种反应管组合件的输送方法。
技术介绍
已知一种台车，其能够载置并输送作为半导体制造装置的构成部件的石英制的反应管(例如，参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平10-98002号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题在上述的台车中，在输送将石英制的气体供给管、石英保护管型的热电偶安装在反应管而组装成的反应管组合件的情况下，存在因振动而反应管组合件破损的可能性。本专利技术提供一种能够抑制输送反应管组合件时的振动的技术。用于解决技术问题的技术方案本专利技术的一个方式的应管单元的输送方法是沿竖式的反应管的内壁面的长度方向与上述内壁面隔开间隔地设置有气体供给管的反应管组合件的输送方法，包括：在上述反应管的内部配置能够缓冲上述内壁面与上述气体供给管的碰撞的缓冲部件的步骤；将安装有上述缓冲部件的上述反应管组合件隔着消振部件载置在台车上的步骤；和使上述台车移动来输送上述反应管组合件的步骤。<...
【技术保护点】
1.一种反应管组合件的输送方法，其特征在于：/n所述反应管组合件沿竖式的反应管的内壁面的长度方向与所述内壁面隔开间隔地设置有气体供给管，/n所述反应管组合件的输送方法包括：/n在所述反应管的内部配置能够缓冲所述内壁面与所述气体供给管的碰撞的缓冲部件的步骤；/n将安装有所述缓冲部件的所述反应管组合件隔着消振部件载置在台车上的步骤；和/n使所述台车移动来输送所述反应管组合件的步骤。/n
【技术特征摘要】
20180514 JP 2018-0933101.一种反应管组合件的输送方法，其特征在于：
所述反应管组合件沿竖式的反应管的内壁面的长度方向与所述内壁面隔开间隔地设置有气体供给管，
所述反应管组合件的输送方法包括：
在所述反应管的内部配置能够缓冲所述内壁面与所述气体供给管的碰撞的缓冲部件的步骤；
将安装有所述缓冲部件的所述反应管组合件隔着消振部件载置在台车上的步骤；和
使所述台车移动来输送所述反应管组合件的步骤。
2.如权利要求1所述的反应管组合件的输送方法，其特征在于：
所述缓冲部件在所述反应管的内部沿所述反应管的所述内壁面配置。
3.如权利要求1或2所述的反应管组合件的输送方法，其特征在于：
所述缓冲部件能够限制所述气体供给管向所述反应管的中心方向移动。
4.如权利要求1至3中任一项所...
【专利技术属性】
技术研发人员：小林正寿，畠山保，长谷川阳成，高桥通宏，山中大辅，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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