一种应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，包括泵体、螺杆组件和泵盖；螺杆组件设置于所述泵体内，泵盖盖设于所述泵体的端部；泵体的内壁和/或所述螺杆组件的外表面设置有碳化钨涂层。本实用新型专利技术的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵通过在泵体的内壁和/或所述螺杆组件的外表面等抽吸工艺介质的过流部位设置碳化钨涂层，提高螺杆泵的硬度、耐磨、耐高温特性，大大提高了螺杆泵的使用寿命，且碳化钨涂层的厚度可调，提高组装精度，增加泵体运行稳定性，其解决了现有技术螺杆泵的螺杆表面易磨损、磨损后螺杆咬合、组装间隙调整困难以及使用寿命短等问题。本实用新型专利技术具有结构简单、耐磨耐高温、使用寿命长等特点。

A tungsten carbide screw vacuum pump applied to vacuum and vacuum drying

The utility model discloses a tungsten carbide screw vacuum pump applied to vacuum decompression drying, which comprises a pump body, a screw assembly and a pump cover; the screw assembly is arranged in the pump body, and the pump cover is arranged at the end of the pump body; the inner wall of the pump body and / or the outer surface of the screw assembly are provided with a tungsten carbide coating. The tungsten carbide screw vacuum pump used for vacuum decompression and drying of the utility model improves the hardness, wear resistance and high temperature resistance of the screw pump, greatly improves the service life of the screw pump, and the thickness of the tungsten carbide coating is adjustable, improves the assembly accuracy and increases the service life of the screw pump by setting the tungsten carbide coating on the inner wall of the pump body and / or the outer surface of the screw assembly and other pumping process medium overflow parts The operation stability of the pump body solves the problems of the screw surface easy to wear, the screw engagement after wear, the difficulty of adjusting the assembly clearance and the short service life of the screw pump in the prior art. The utility model has the advantages of simple structure, wear resistance and high temperature resistance, long service life, etc.

【技术实现步骤摘要】
一种应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵
本技术涉及螺杆泵领域，特别是涉及一种应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵。
技术介绍
螺杆真空泵属于干式真空泵，其靠一对相对高速运动的螺旋螺杆产生抽吸形成真空，由于其螺杆之间间隙小，抽吸气体在泵体内可被多级压缩，因此，可达到高真空度要求。在实际操作中，真空减压干燥工艺中会有干燥颗粒或杂质进入泵体内，且螺杆在运行过程中由于压缩气体而产生高温效果，并由于工艺介质中的夹渣颗粒对螺杆表面的磨损，以及运行误差导致螺杆之间相互咬合，以至于螺杆的使用寿命大大下降。目前，国内外的螺杆真空泵应用技术已成熟，特别在电子、半导体、制药、精密加工等行业已得到广泛的应用。但由于螺杆真空泵工作过程中压缩气体而产生大量的热，使螺杆存在热变形的风险，在平衡螺杆加工后组装间隙以及运行间隙后采用涂层来弥补机加误差，同时对螺杆起到防腐保护作用，但国内外的真空泵都存在螺杆涂层寿命短及螺杆易磨损等缺点，导致泵体的可靠性大大降低。
技术实现思路
基于此，本技术的目的在于，提供一种具有结构简单、耐磨耐高温、使用寿命长等特点的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵。本技术的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，包括泵体、螺杆组件和泵盖；所述螺杆组件设置于所述泵体内，所述泵盖盖设于所述泵体的端部；所述泵体的内壁和/或所述螺杆组件的外表面设置有碳化钨涂层。本技术的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵通过在泵体的内壁和/或所述螺杆组件的外表面等抽吸工艺介质的过流部位设置碳化钨涂层，提高螺杆泵的硬度、耐磨、耐高温特性，大大提高了螺杆泵的使用寿命，且碳化钨涂层的厚度可调，提高组装精度，增加泵体运行稳定性，其解决了现有技术螺杆泵的螺杆表面易磨损、磨损后螺杆咬合、组装间隙调整困难以及使用寿命短等问题。进一步优选地，所述泵体包括连接为一体的左端泵体、中间泵体和右端泵体；所述螺杆组件设置于所述左端泵体、中间泵体和右端泵体之间；所述中间泵体的内壁设置有所述碳化钨涂层。所述中间泵体作为主要的工艺介质的过流部位，在所述中间泵体设置所述碳化钨涂层，可以提高其耐磨和耐高温特性。进一步优选地，所述螺杆组件包括主动螺杆和从动螺杆；所述主动螺杆与所述从动螺杆啮合传动，且所述主动螺杆和所述从动螺杆的两端均分别枢接于所述左端泵体和所述右端泵体上；所述主动螺杆和所述从动螺杆的螺旋外表面设置有所述碳化钨涂层。所述主动螺杆和所述从动螺杆的螺旋外表面作为工艺介质的主要过流部位，设置所述碳化钨涂层，可以提高耐磨和耐高温特性。进一步优选地，所述螺杆组件还包括主动齿轮和从动齿轮；所述主动齿轮与所述主动螺杆的一端传动连接，所述从动齿轮与所述从动螺杆的一端传动连接，且所述主动齿轮与所述从动齿轮啮合传动连接。通过所述主动齿轮与所述从动齿轮啮合传动，带动所述主动螺杆和所述从动螺杆转动，提高传动效率。进一步优选地，所述泵盖包括左端泵盖和右端泵盖；所述左端泵盖盖设于所述左端泵体的端部，所述右端泵盖盖设于所述右端泵体的端部；所述主动齿轮和所述从动齿轮位于所述左端泵盖内。所述左端泵盖和所述右端泵盖可以对所述左端泵体和所述右端泵体形成密封和保护。进一步优选地，所述主动螺杆和所述从动螺杆平行设置，且所述主动螺杆和所述从动螺杆的两端均设置有机械密封；所述机械密封将所述中间泵体密封，并使所述左端泵体和所述右端泵体内分别形成润滑腔体。进一步优选地，所述主动螺杆和所述从动螺杆分别为铸铁主动螺杆和铸铁从动螺杆；所述中间泵体为铸铁中间泵体。所述主动螺杆和所述从动螺杆分别设置为铸铁主动螺杆和铸铁从动螺杆，铸铁材料具有优良的耐磨性能；铸铁材料具有优良的耐磨性能。进一步优选地，所述碳化钨涂层的厚度为60um-200um；所述碳化钨涂层的硬度为1200-1500Hv。将所述碳化钨涂层的厚度设置在60um-200um之间，可以提高耐磨和耐高温特性；将所述碳化钨涂层的硬度设置为1200-1500Hv，可以提高碳化钨涂层的硬度和强度。进一步优选地，所述碳化钨涂层的孔隙率＜1％；所述碳化钨涂层与所述泵体的内壁和/或所述螺杆组件的外表面的结合强度＞80MPa。将所述碳化钨涂层的孔隙率设置为＜1％，使所述碳化钨涂层更加致密，不易脱落，可以使所述碳化钨涂层更加耐磨、耐高温；将所述碳化钨涂层与所述泵体的内壁和/或所述螺杆组件的外表面的结合强度设置为＞80MPa，使设置所述碳化钨涂层后具有足够的强度。进一步优选地，所述碳化钨涂层的表面粗糙度为Ra1.6。将所述碳化钨涂层的表面粗糙度为Ral.6，可以提高耐磨和耐高温特性。相对于现有技术，本技术的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵通过在泵体的内壁和/或所述螺杆组件的外表面等抽吸工艺介质的过流部位设置碳化钨涂层，提高螺杆泵的硬度、耐磨、耐高温特性，大大提高了螺杆泵的使用寿命，且碳化钨涂层的厚度可调，提高组装精度，增加泵体运行稳定性，其解决了现有技术螺杆泵的螺杆表面易磨损、磨损后螺杆咬合、组装间隙调整困难以及使用寿命短等问题。本技术的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵具有结构简单、耐磨耐高温、使用寿命长等特点。为了更好地理解和实施，下面结合附图详细说明本技术。附图说明图1是本技术的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵优选结构的结构示意图。具体实施方式在本说明书中提到或者可能提到的上、下、左、右、前、后、正面、背面、顶部、底部等方位用语是相对于各附图中所示的构造进行定义的，它们是相对的概念。因此，有可能会根据其所处不同位置、不同使用状态而进行相应地变化。所以，也不应当将这些或者其他的方位用语解释为限制性用语。请参阅图1，图1是本技术的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵优选结构的结构示意图。本技术的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，包括泵体1、螺杆组件2和泵盖3。所述螺杆组件2设置于所述泵体1内，所述泵盖3盖设于所述泵体1的端部；所述泵体1的内壁和/或所述螺杆组件2的外表面设置有碳化钨涂层。具体地，所述泵体1包括连接为一体的左端泵体11、中间泵体12和右端泵体13。所述左端泵体11、中间泵体12和右端泵体13依次通过螺栓进行轴向连接。所述螺杆组件2设置于所述左端泵体11、中间泵体12和右端泵体13之间。所述中间泵体12的内壁设置有所述碳化钨涂层。所述中间泵体12作为主要的工艺介质的过流部位，在所述中间泵体设置所述碳化钨涂层，可以提高其耐磨和耐高温特性。所述螺杆组件2包括主动螺杆21和从动螺杆22。所述主动螺杆21与所述从动螺杆22啮合传动，且所述主动螺杆21和所述从动螺杆22的两端均分别枢接于所述左端泵体和所述右端泵体13上。通过所述主动螺杆21与所述从动螺杆22的螺旋结构对工艺气体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，其特征在于：包括泵体、螺杆组件和泵盖；/n所述螺杆组件设置于所述泵体内，所述泵盖盖设于所述泵体的端部；/n所述泵体的内壁和/或所述螺杆组件的外表面设置有碳化钨涂层。/n

【技术特征摘要】
1.一种应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，其特征在于：包括泵体、螺杆组件和泵盖；
所述螺杆组件设置于所述泵体内，所述泵盖盖设于所述泵体的端部；
所述泵体的内壁和/或所述螺杆组件的外表面设置有碳化钨涂层。


2.根据权利要求1所述的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，其特征在于：所述泵体包括连接为一体的左端泵体、中间泵体和右端泵体；
所述螺杆组件设置于所述左端泵体、中间泵体和右端泵体之间；
所述中间泵体的内壁设置有所述碳化钨涂层。


3.根据权利要求2所述的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，其特征在于：所述螺杆组件包括主动螺杆和从动螺杆；
所述主动螺杆与所述从动螺杆啮合传动，且所述主动螺杆和所述从动螺杆的两端均分别枢接于所述左端泵体和所述右端泵体上；
所述主动螺杆和所述从动螺杆的螺旋外表面设置有所述碳化钨涂层。


4.根据权利要求3所述的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，其特征在于：所述螺杆组件还包括主动齿轮和从动齿轮；
所述主动齿轮与所述主动螺杆的一端传动连接，所述从动齿轮与所述从动螺杆的一端传动连接，且所述主动齿轮与所述从动齿轮啮合传动连接。


5.根据权利要求4所述的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，其特征在于：所述泵盖包括左...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡欣钧，卢浩荣，王超，程渝，王坤，
申请(专利权)人：广州海同工业技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44