抛光机的过滤装置及抛光机制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于蓝宝石加工技术领域，特别是涉及一种抛光机的过滤装置及抛光机。该过滤装置包括滤网、定位锁紧件和用于套设在抛光液管上的连接座，所述定位锁紧件位于连接座的下方，并安装在抛光液管上限制连接座沿抛光液管下滑，所述滤网通过滤网安装座与连接座可拆卸的连接。本实用新型专利技术的有益效果是：结构简单，过滤装置设置在抛光液管的外部，滤网更换快速方便，更换时可以直接更换滤网，降低了成本。

Filter device and polishing machine of polishing machine

The utility model belongs to the technical field of sapphire processing, in particular to a filtering device and a polishing machine of a polishing machine. The filter device comprises a filter screen, a positioning locking member and a connecting seat for sleeved on the polishing liquid pipe. The positioning locking member is under the connecting seat and is installed on the polishing liquid pipe to restrict the connecting seat from sliding down along the polishing liquid pipe. The filter screen is connected with the detachable connecting seat through the filter screen mounting seat. The utility model has the advantages of simple structure, the filter device is arranged outside the polishing liquid pipe, the filter screen can be replaced quickly and conveniently, the filter screen can be replaced directly during the replacement, and the cost is reduced.

【技术实现步骤摘要】
抛光机的过滤装置及抛光机
本技术属于蓝宝石加工
，特别是涉及一种抛光机的过滤装置及抛光机。
技术介绍
在现有的蓝宝石衬底抛光加工中，常用的工艺为化学机械抛光技术(ChemicalMechanicalPolishing，CMP)，这种工艺就是为了能够获得既平坦、又无划痕和杂质玷污的表面而专门设计的。CMP属于化学作用和物理作用相结合的技术，其过程相当复杂，影响的因素也很多。其中抛光液中的结晶和其它粒径较大的硬物是引起抛光加工划痕的主要因素之一，为了解决这一问题通常会在输送抛光液的管道上安装过滤装置。而目前常用的过滤装置为10寸螺纹口滤瓶和PP滤芯的组合，每完成一次抛光加工需要更换一个新的滤芯，生产成本较高。而且更换滤芯的时间为3-5分钟且需要使用专用的扳手，安装和更换不够方便快捷。抛光液从过滤装置到盘面的过程中可能出现再次结晶的情况，导致加工划痕的产生。滤瓶在多次更换滤芯后由于磨损、安装不到位、垫圈脱落等原因可能会出现抛光液泄露的问题影响抛光的质量，泄露严重时造成干抛从而引发爆盘的情况，损失整批加工中的晶片及抛光布、抛光垫等其他配套设备，造成较大的经济损失。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种抛光机的过滤装置及抛光机，用于解决现有技术中过滤装置更换不便、成本高等问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种抛光机的过滤装置，包括滤网、定位锁紧件和用于套设在抛光液管上的连接座，所述定位锁紧件位于连接座的下方，并安装在抛光液管上限制连接座沿抛光液管下滑，所述滤网通过滤网安装座与连接座可拆卸的连接。本技术的有益效果是：结构简单，过滤装置设置在抛光液管的外部，滤网更换快速方便，更换时可以直接更换滤网，降低了成本。可选地，所述定位锁紧件为扎带、或喉箍、或抱箍，锁紧定位快速方便，便于根据不同管径的抛光液管进行调整，移动调节方便，适用范围广。可选地，所述滤网安装座与连接座通过卡接方式或螺纹连接方式连接，连接简单、装配拆卸快速方便。可选地，所述连接座的顶部设有用于抛光液管穿过的通孔，所述连接座的底部向下延设有与滤网安装座连接的连接部。可选地，所述通孔的孔径大于抛光液管的管径12.8mm～13.3mm。可选地，所述滤网安装在滤网安装座上，抛光液管流出的抛光液经过滤网安装座后由滤网位于滤网安装座的底部过虑面流出。可选地，所述滤网为纤维网。可选地，所述连接座和滤网安装座由塑料制成。采用上述可选地方案的有益效果是：成本低、连接装配操作简单，使得抛光液能够顺利的通过滤网过滤排出，避免抛光液泄露或结晶。一种抛光机，包括前述的过滤装置，还包括抛光头、抛光盘和用于输送抛光液的抛光液管，所述抛光盘上铺设有抛光布，所述抛光头位于抛光布的上方，抛光头带动蓝宝石与抛光布接触抛光，所述抛光液管位于抛光头之间，所述抛光液管的下端穿过连接座伸入滤网安装座内，所述滤网的过虑面位于抛光头之间，并位于抛光布的上方。可选地，所述抛光液管下端出液口与滤网过虑面的距离为3cm～5cm。上述抛光机的有益效果是：结构简单、各个部件紧凑合理，使得抛光液过滤后直接顺利的落到抛光布上，避免抛光液结晶或抛光液泄露而导致干抛，提高了加工质量，延长了设备寿命。附图说明图1为本技术实施例的抛光机的过滤装置的结构示意图；图2为本技术实施例的抛光机的结构示意图。零件标号说明1滤网；11紧固带；2定位锁紧件；3连接座；4滤网安装座；5抛光液管；6抛光盘；7抛光布；8抛光头。具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。须知，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。如图1所示，本技术实施例的抛光机的过滤装置，包括滤网1、定位锁紧件2和用于套设在抛光液管5上的连接座3，连接座3的顶部设有用于抛光液管5穿过的通孔，连接座3与抛光液管5间隙配合，通孔的孔径大于抛光液管5的管径12.8mm～13.3mm，使得连接座能够在抛光液管5上滑动调整位置，但又避免过于松动而摆动。定位锁紧件2位于连接座3的下方，并安装在抛光液管5上限制连接座3沿抛光液管5下滑，定位锁紧件可以为扎带、或喉箍、或抱箍等能够径向收缩调节的结构，通过定位锁紧件便于适应各种管径的抛光液管，定位锁紧操作简单方便。滤网1通过滤网安装座4与连接座3可拆卸的连接，滤网安装座4与连接座3通过卡接方式或螺纹连接方式连接。连接座3的底部向下延设有与滤网安装座4连接的连接部，连接部可以为筒状结构，当连接座3与滤网安装座4螺纹连接时，连接部内壁设有螺纹，滤网安装座4的外壁设有与连接部内壁螺纹匹配的螺纹结构；当连接座3与滤网安装座4卡接时，连接部内壁可以凹设卡槽，滤网安装座4外壁凸设与卡槽匹配的凸块，通过凸块与卡槽实现快速卡接或拆卸。连接座3和滤网安装座4由塑料制成，成本低、采用卡接时具有一定的形变能力，拆装方便。如图1所示，滤网1安装在滤网安装座4上，滤网1为纤维网，由聚丙烯腈制造而成，采用该材料制成的滤网有效避免滤网因抛光液的液温过高而产生变形，保证了过滤效果。抛光液管5流出的抛光液经过滤网安装座4后由滤网1位于滤网安装座4的底部过虑面流出，抛光液由过滤面直接流出，流出顺畅，避免抛光液因侧漏力度不够而堵塞结晶，提高加工质量。滤网安装座4可以为空心的圆台结构，滤网1可以直接固定在滤网安装座4的底部，或者滤网1套装在滤网安装4上，并通过紧固带11固定避免滤网脱离滤网安装座4，滤网与滤网安装座4的接触面积大，连接牢固，不易脱落。本技术实施例的抛光机，包括上述过滤装置，还包括抛光头8、抛光盘6和用于输送抛光液的抛光液管5，抛光盘6上铺设有抛光布7，抛光头1位于抛光布7的上方，抛光头8的数量可以设置多个，可以围成一圈，抛光头8带动蓝宝石与抛光布7接触抛光，抛光液管5位于抛光头8之间，抛光液管5的下端穿过连接座3伸入滤网安装座4内，滤网1的过虑面位于抛光头8之间，并位于抛光布7的上方。抛光液管5下端出液口与滤网过虑面的距离为3cm～5cm，避免因间距过大造成抛光液飞溅出现结晶，或者间距过小对滤网造成冲击使得滤网下坠与抛光布产生接触，影响抛光质量。其工作过程为：将连接座3套装在抛光液管5的下端，通过调节定位锁紧件2的位置并锁紧固定在抛光液管5上，限制连接座3沿抛光液管5滑落，滤网安装座4的顶部与连接座3连接，抛光液由抛光液管5的下端流出后通过滤网过滤面流出，直接落到抛光布7上。当需要更换滤网时，可以直接松开锁紧带拆下滤网更换，或者连同滤网安装座一同更换，成本低，更换本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抛光机的过滤装置，其特征在于：包括滤网、定位锁紧件和用于套设在抛光液管上的连接座，所述定位锁紧件位于连接座的下方，并安装在抛光液管上限制连接座沿抛光液管下滑，所述滤网通过滤网安装座与连接座可拆卸的连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种抛光机的过滤装置，其特征在于：包括滤网、定位锁紧件和用于套设在抛光液管上的连接座，所述定位锁紧件位于连接座的下方，并安装在抛光液管上限制连接座沿抛光液管下滑，所述滤网通过滤网安装座与连接座可拆卸的连接。


2.根据权利要求1所述的抛光机的过滤装置，其特征在于：所述定位锁紧件为扎带、或喉箍、或抱箍。


3.根据权利要求1所述的抛光机的过滤装置，其特征在于：所述滤网安装座与连接座通过卡接方式或螺纹连接方式连接。


4.根据权利要求1所述的抛光机的过滤装置，其特征在于：所述连接座的顶部设有用于抛光液管穿过的通孔，所述连接座的底部向下延设有与滤网安装座连接的连接部。


5.根据权利要求4所述的抛光机的过滤装置，其特征在于：所述通孔的孔径大于抛光液管的管径12.8mm～13.3mm。


6.根据权利要求1所述的抛...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁鹰，赵伟，屈雪松，曹航，
申请(专利权)人：重庆四联光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：重庆;50