一种氟氮混合气自动配气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及配气装置技术领域，且公开了一种氟氮混合气自动配气装置，包括30％氟氮混合气箱、配气箱、99.99％氮气箱和支板，30％氟氮混合气箱与配气箱之间设有连通管二，连通管二一端贯穿配气箱侧壁延伸至配气箱内部。本实用新型专利技术通过设置可编程控制器、人机交互界面、判断模块、中央处理器、驱动单元、检测模块一、检测模块二、反馈单元、计算模块和比较模块，高精度热式气体质量流量计一和高精度热式气体质量流量计二均采用具有温度压力补偿功能的高精度热式气体质量流量计，配合能够自动实时计算的可编程控制器使用，从而达到了提高了成品气浓度的精确度和稳定性的目的。

An automatic air distribution device for fluorine nitrogen mixture

The utility model relates to the technical field of a gas distribution device, and discloses an automatic gas distribution device for a fluorine nitrogen mixture, which comprises a 30% fluorine nitrogen mixture box, a gas distribution box, a 99.99% nitrogen box and a support plate. A connecting pipe 2 is arranged between the 30% fluorine nitrogen mixture box and the gas distribution box, and one end of the connecting pipe 2 extends through the side wall of the gas distribution box to the inside of the gas distribution box. By setting programmable controller, human-computer interface, judgment module, central processor, driving unit, detection module I, detection module II, feedback unit, calculation module and comparison module, high-precision hot gas mass flowmeter I and high-precision hot gas mass flowmeter II adopt high-precision hot gas quality with temperature and pressure compensation function The flowmeter is used with the programmable controller which can calculate automatically and in real time, so as to improve the accuracy and stability of the concentration of the product gas.

【技术实现步骤摘要】
一种氟氮混合气自动配气装置
本技术涉及配气装置
，具体为一种氟氮混合气自动配气装置。
技术介绍
目前，在氟化瓶生产企业，把浓度为30％的原料氟氮混合气与99.99％的氮气混合得到3‰的成品氟氮混合气。控制成品氟氮混合气浓度就是分别控制两种气体的流量，靠配气装置中30％的氟氮混合气管道与99.99％氮气管道的直径和充气时间的差异来实现。这种通过给定的压力、管道直径和浓度来人工计算充气时间然后将时间输入时间继电器从而控制浓度的开环控制方法不仅误差大，还调整不便，而且会随工况变化。
技术实现思路
本技术的目的在于提供了一种氟氮混合气自动配气装置，从而达到了提高了成品气浓度的精确度和稳定性的目的。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种氟氮混合气自动配气装置，包括30％氟氮混合气箱、配气箱、99.99％氮气箱和支板，所述30％氟氮混合气箱与配气箱之间设有连通管二，所述连通管二一端贯穿配气箱侧壁延伸至配气箱内部，所述连通管二另一端贯穿30％氟氮混合气箱侧壁延伸至30％氟氮混合气箱内部，所述99.99％氮气箱与配气箱之间设有连通管一，所述连通管一一端贯穿配气箱侧壁延伸至配气箱内部，所述连通管一另一端贯穿99.99％氮气箱侧壁延伸至99.99％氮气箱内部，所述30％氟氮混合气箱和99.99％氮气箱位于配气箱两侧，所述连通管一内部安装有热式气体质量流量计一和电动阀门一，所述连通管二内部安装有电动阀门二和热式气体质量流量计二，所述热式气体质量流量计一内部设置有检测模块一，所述热式气体质量流量计二内部设置有检测模块二，所述支板顶部底部连接有控制箱，所述控制箱内部设置有中央处理器、驱动单元、反馈单元、比较模块和判断模块，所述支板顶部安装有人机交互界面和可编程控制器，所述检测模块一信号输出端和检测模块二信号输出端均与中央处理器信号输入端信号连接，所述中央处理器信号输出端与可编程控制器信号输入端信号连接，所述可编程控制器信号属输入端与人机交互界面信号输出端信号连接，所述可编程控制器内部设置有计算模块，所述计算模块信号输出端与比较模块信号输入端信号连接，所述比较模块信号输出端与判断模块信号输入端信号连接，所述判断模块信号输出端与反馈单元信号输入端信号连接，所述反馈单元信号输出端与中央处理器信号输入端信号连接，所述中央处理器信号输出端与驱动单元信号输入端信号连接。优选的，所述驱动单元内部设置有驱动节点一和驱动节点二。优选的，所述驱动节点一与电动阀门一电连接，所述驱动节点二与电动阀门二电连接。优选的，所述热式气体质量流量计二位于电动阀门二靠近30％氟氮混合气箱的一侧，所述热式气体质量流量计一位于电动阀门一靠近99.99％氮气箱的一侧。优选的，所述人机交互界面为触摸屏。优选的，所述支板底部连接有支柱。本技术提供了一种氟氮混合气自动配气装置。具备以下有益效果：(1)、本技术通过设置可编程控制器、人机交互界面、判断模块、中央处理器、驱动单元、检测模块一、检测模块二、反馈单元、计算模块和比较模块，高精度热式气体质量流量计一和高精度热式气体质量流量计二均采用具有温度压力补偿功能的高精度热式气体质量流量计，配合能够自动实时计算的可编程控制器使用，从而达到了提高了成品气浓度的精确度和稳定性的目的。(2)、本技术通过人机交互界面输入浓度设定值，整个装置运行方便快捷。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术框图；图3为本技术控制箱结构正面剖视图。图中：130％氟氮混合气箱、2配气箱、399.99％氮气箱、4热式气体质量流量计一、5电动阀门一、6连通管一、7连通管二、8控制箱、9电动阀门二、10热式气体质量流量计二、11可编程控制器、12人机交互界面、13支板、14支柱、15判断模块、16中央处理器、17驱动单元、18检测模块一、19检测模块二、20反馈单元、21计算模块、22比较模块。具体实施方式如图1-3所示，本技术提供一种技术方案：一种氟氮混合气自动配气装置，包括30％氟氮混合气箱1、配气箱2、99.99％氮气箱3和支板13，30％氟氮混合气箱1与配气箱2之间设有连通管二7，连通管二7一端贯穿配气箱2侧壁延伸至配气箱2内部，连通管二7另一端贯穿30％氟氮混合气箱1侧壁延伸至30％氟氮混合气箱1内部，99.99％氮气箱3与配气箱2之间设有连通管一6，连通管一6一端贯穿配气箱2侧壁延伸至配气箱2内部，连通管一6另一端贯穿99.99％氮气箱3侧壁延伸至99.99％氮气箱3内部，30％氟氮混合气箱1和99.99％氮气箱3位于配气箱2两侧，连通管一6内部固定安装有热式气体质量流量计一4和电动阀门一5，连通管二7内部固定安装有电动阀门二9和热式气体质量流量计二10，热式气体质量流量计二10位于电动阀门二9靠近30％氟氮混合气箱1的一侧，热式气体质量流量计一4位于电动阀门一5靠近99.99％氮气箱3的一侧，高精度热式气体质量流量计一4和高精度热式气体质量流量计二10均采用具有温度压力补偿功能的高精度热式气体质量流量计，热式气体质量流量计一4内部设置有检测模块一18，热式气体质量流量计二10内部设置有检测模块二19，支板13顶部底部固定连接有控制箱8，控制箱8内部设置有中央处理器16、驱动单元17、反馈单元20、比较模块22和判断模块15，支板13顶部安装有人机交互界面12和可编程控制器11，检测模块一18信号输出端和检测模块二19信号输出端均与中央处理器16信号输入端信号连接，中央处理器16信号输出端与可编程控制器11信号输入端信号连接，可编程控制器11信号属输入端与人机交互界面12信号输出端信号连接，可编程控制器11内部设置有计算模块21，计算模块21信号输出端与比较模块22信号输入端信号连接，比较模块22信号输出端与判断模块15信号输入端信号连接，判断模块15信号输出端与反馈单元20信号输入端信号连接，反馈单元20信号输出端与中央处理器16信号输入端信号连接，中央处理器16信号输出端与驱动单元17信号输入端信号连接，驱动单元17内部设置有驱动节点一和驱动节点二，驱动节点一与电动阀门一5电连接，驱动节点二与电动阀门二9电连接，人机交互界面12为触摸屏，支板13底部固定连接有支柱14，通过设置可编程控制器11、人机交互界面12、判断模块15、中央处理器16、驱动单元17、检测模块一18、检测模块二19、反馈单20、计算模块21和比较模块22，具有温度压力补偿功能的高精度热式气体质量流量计，配合能够自动实时计算的可编程控制器11使用，从而达到了提高了成品气浓度的精确度和稳定性的目的，新型通过人机交互界面12输入浓度设定值，整个装置运行方便快捷。在使用时，首先人机交互界面12输入浓度值，在可编程控制器11内部写入公式式中A为本周期需要充入的30％氟氮混合气流量，B为上一周期充入的99.99％氮气流量，C为上一周期充入的30％氟氮混合气流量，D为浓度设定值,用热式气体质量流量计二10和热本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氟氮混合气自动配气装置，包括30％氟氮混合气箱(1)、配气箱(2)、99.99％氮气箱(3)和支板(13)，其特征在于：所述30％氟氮混合气箱(1)与配气箱(2)之间设有连通管二(7)，所述连通管二(7)一端贯穿配气箱(2)侧壁延伸至配气箱(2)内部，所述连通管二(7)另一端贯穿30％氟氮混合气箱(1)侧壁延伸至30％氟氮混合气箱(1)内部，所述99.99％氮气箱(3)与配气箱(2)之间设有连通管一(6)，所述连通管一(6)一端贯穿配气箱(2)侧壁延伸至配气箱(2)内部，所述连通管一(6)另一端贯穿99.99％氮气箱(3)侧壁延伸至99.99％氮气箱(3)内部，所述30％氟氮混合气箱(1)和99.99％氮气箱(3)位于配气箱(2)两侧，所述连通管一(6)内部安装有热式气体质量流量计一(4)和电动阀门一(5)，所述连通管二(7)内部安装有电动阀门二(9)和热式气体质量流量计二(10)，所述热式气体质量流量计一(4)内部设置有检测模块一(18)，所述热式气体质量流量计二(10)内部设置有检测模块二(19)，所述支板(13)顶部底部连接有控制箱(8)，所述控制箱(8)内部设置有中央处理器(16)、驱动单元(17)、反馈单元(20)、比较模块(22)和判断模块(15)，所述支板(13)顶部安装有人机交互界面(12)和可编程控制器(11)，所述检测模块一(18)信号输出端和检测模块二(19)信号输出端均与中央处理器(16)信号输入端信号连接，所述中央处理器(16)信号输出端与可编程控制器(11)信号输入端信号连接，所述可编程控制器(11)信号属输入端与人机交互界面(12)信号输出端信号连接，所述可编程控制器(11)内部设置有计算模块(21)，所述计算模块(21)信号输出端与比较模块(22)信号输入端信号连接，所述比较模块(22)信号输出端与判断模块(15)信号输入端信号连接，所述判断模块(15)信号输出端与反馈单元(20)信号输入端信号连接，所述反馈单元(20)信号输出端与中央处理器(16)信号输入端信号连接，所述中央处理器(16)信号输出端与驱动单元(17)信号输入端信号连接。/n...

【技术特征摘要】
1.一种氟氮混合气自动配气装置，包括30％氟氮混合气箱(1)、配气箱(2)、99.99％氮气箱(3)和支板(13)，其特征在于：所述30％氟氮混合气箱(1)与配气箱(2)之间设有连通管二(7)，所述连通管二(7)一端贯穿配气箱(2)侧壁延伸至配气箱(2)内部，所述连通管二(7)另一端贯穿30％氟氮混合气箱(1)侧壁延伸至30％氟氮混合气箱(1)内部，所述99.99％氮气箱(3)与配气箱(2)之间设有连通管一(6)，所述连通管一(6)一端贯穿配气箱(2)侧壁延伸至配气箱(2)内部，所述连通管一(6)另一端贯穿99.99％氮气箱(3)侧壁延伸至99.99％氮气箱(3)内部，所述30％氟氮混合气箱(1)和99.99％氮气箱(3)位于配气箱(2)两侧，所述连通管一(6)内部安装有热式气体质量流量计一(4)和电动阀门一(5)，所述连通管二(7)内部安装有电动阀门二(9)和热式气体质量流量计二(10)，所述热式气体质量流量计一(4)内部设置有检测模块一(18)，所述热式气体质量流量计二(10)内部设置有检测模块二(19)，所述支板(13)顶部底部连接有控制箱(8)，所述控制箱(8)内部设置有中央处理器(16)、驱动单元(17)、反馈单元(20)、比较模块(22)和判断模块(15)，所述支板(13)顶部安装有人机交互界面(12)和可编程控制器(11)，所述检测模块一(18)信号输出端和检测模块二(19)信号输出端均与中央处理器(16)信号输入端信号连接，所述中央处理器(16)信号输出端与可编程控制器(11)...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘坚，马文，
申请(专利权)人：青岛塑之源包装科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37