The utility model discloses an electronic grade polysilicon mixed gas purification device produced by silane method, which comprises a cylinder, a cover body is arranged on the upper end of the cylinder, a first flange is arranged on the outer wall of the upper end of the cylinder, a second flange is arranged on the outer wall of the lower end of the cover body which is used in coordination with the first flange, a base plate is arranged between the first flange and the second flange, a mounting frame and a mounting frame are fixedly connected inside the cylinder body A filter bag is fixedly connected on the upper part, a third flange is arranged on the outer wall of the cylinder, a cover plate is connected by bolts, a first connecting pipe is arranged through the cover body, a fourth flange is welded on the outer end of the first connecting pipe, a second connecting pipe is arranged on the upper end of the cover body, a fifth flange is welded on the upper end of the second connecting pipe, a venturi pipe is arranged above the filter bag, an air inlet pipe is arranged through the cover body, and the lower part of the cylinder is respectively arranged In general, the utility model has the advantages of convenient use.
【技术实现步骤摘要】
一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置
本技术涉及一种净化装置,具体涉及一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置。
技术介绍
多晶硅是太阳能光伏行业的基础材料,在多晶硅生产中,多晶硅混合气经空气压缩机压缩后进入热解炉循环反应,目前的生产过程中,混合气为循环式利用,经热解炉出来的混合气中含有硅粉,如果不经净化直接进入压缩机压缩,将大大影响产品质量;因此,为解决上述问题,需要一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种使用方便的硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置。为实现上述目的,本技术提供一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置,包括筒体,所述筒体上端设有盖体,所述筒体上端外侧壁上设有第一法兰,所述盖体下端外侧壁上设有与第一法兰配合使用的第二法兰,所述第一法兰和第二法兰之间设有垫板,所述筒体内部固定连接有安装架,所述安装架上固定连接有滤袋,所述筒体外侧壁上设有第三法兰,所述第三法兰通过螺栓连接有盖板,所述盖体上贯设有第一连接管,所述第一连接管外端焊接有第四法兰,所述盖体上端设有第二连接管,所述第二连接管上端焊接有第五法兰,所述滤袋上方设有文丘管,所述盖体上贯设有进气管,所述筒体下部分设有排气管。所述进气管外设有防尘罩。所述垫板采用优力胶材料制成。所述盖板上设有把手。所述盖体上端设有吊耳。所述滤袋为绝对精度无缝滤袋。所述安装架与所述筒体之间设有加强板,所述进气管与所述筒体之间设有支撑板。本 ...
【技术保护点】
1.一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置,包括筒体(1),其特征在于:所述筒体(1)上端设有盖体(2),所述筒体(1)上端外侧壁上设有第一法兰(3),所述盖体(2)下端外侧壁上设有与第一法兰(3)配合使用的第二法兰(4),所述第一法兰(3)和第二法兰(4)之间设有垫板(18),所述筒体(1)内部固定连接有安装架(5),所述安装架(5)上固定连接有滤袋(6),所述筒体(1)外侧壁上设有第三法兰(7),所述第三法兰(7)通过螺栓连接有盖板(8),所述盖体(2)上贯设有第一连接管(9),所述第一连接管(9)外端焊接有第四法兰(10),所述盖体(2)上端设有第二连接管(11),所述第二连接管(11)上端焊接有第五法兰(12),所述滤袋(6)上方设有文丘管(13),所述盖体(2)上贯设有进气管(14),所述筒体(1)下部分设有排气管(20)。/n
【技术特征摘要】
1.一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气体净化装置,包括筒体(1),其特征在于:所述筒体(1)上端设有盖体(2),所述筒体(1)上端外侧壁上设有第一法兰(3),所述盖体(2)下端外侧壁上设有与第一法兰(3)配合使用的第二法兰(4),所述第一法兰(3)和第二法兰(4)之间设有垫板(18),所述筒体(1)内部固定连接有安装架(5),所述安装架(5)上固定连接有滤袋(6),所述筒体(1)外侧壁上设有第三法兰(7),所述第三法兰(7)通过螺栓连接有盖板(8),所述盖体(2)上贯设有第一连接管(9),所述第一连接管(9)外端焊接有第四法兰(10),所述盖体(2)上端设有第二连接管(11),所述第二连接管(11)上端焊接有第五法兰(12),所述滤袋(6)上方设有文丘管(13),所述盖体(2)上贯设有进气管(14),所述筒体(1)下部分设有排气管(20)。
2.根据权利要求1所述的一种硅烷法生产电子级多晶硅混合气...
【专利技术属性】
技术研发人员:许鹏,李红彬,潘晓磊,
申请(专利权)人:河南硅烷科技发展股份有限公司,
类型:新型
国别省市:河南;41
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