等离子体发生装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种等离子体发生装置，该等离子体发生装置具备：一对电极；一对保持架，以使一对电极的端部突出的状态保持一对电极；及壳体，形成有第一凹部，在从一对保持架突出的一对电极的端部插入于第一凹部的状态下与一对保持架组合，组合后的壳体与一对保持架仅在与从一对保持架突出的一对电极的端部之间相反的一侧接触。

Plasma generator

The invention provides a plasma generating device, which comprises a pair of electrodes, a pair of cages to maintain a pair of electrodes in the state of protruding the ends of a pair of electrodes, and a shell to form a first concave part, which is combined with a pair of cages when the ends of a pair of electrodes protruding from a pair of cages are inserted into the first concave part, and the combined shell and the A pair of holders contacts only on the opposite side from the end of a pair of electrodes protruding from the pair of holders.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】等离子体发生装置
本专利技术涉及一种通过一对电极的端部之间的放电来产生等离子体的等离子体发生装置。
技术介绍
在等离子体发生装置中，如下述专利文献所记载的那样，向反应室供给处理气体，向配设于反应室的多个电极供给电力。由此，在反应室中产生放电，处理气体被等离子体化。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2016-038940号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题由于在等离子体发生装置中，通过电极间的放电来产生等离子体，因此构成等离子体发生装置的部件因放电而劣化。为此，将防止构成等离子体发生装置的部件的劣化作为课题。用于解决课题的技术方案为了解决上述课题，本说明书公开一种等离子体发生装置，所述等离子体发生装置具备：一对电极；一对保持架，以使所述一对电极的端部突出的状态保持所述一对电极；及壳体，与所述一对保持架组合，组合后的所述壳体与所述一对保持架仅在与从所述一对保持架突出的所述一对电极的端部之间相反的一侧接触。专利技术效果根据本公开，能够抑制等离子体的进入，防止构成等离子体发生装置的部件的劣化。附图说明图1是表示大气压等离子体发生装置的立体图。图2是表示大气压等离子体发生装置的分解图。图3是表示大气压等离子体发生装置的剖视图。图4是表示内部块的立体图。图5是表示内部块的主视图、俯视图、侧视图。图6是表示保持部件的立体图。图7是表示保持部件的主视图、俯视图、仰视图、侧视图。图8是表示内部块的俯视图。图9是表示以往的大气压等离子体发生装置的分解图。图10是表示以往的大气压等离子体发生装置的内部块的俯视图。图11是表示变形例的大气压等离子体发生装置的剖视图。具体实施方式以下，作为用于实施本专利技术的方式，参照附图详细地说明本专利技术的实施例。(A)大气压等离子体发生装置的结构在图1～图3中示出本专利技术的实施例的大气压等离子体发生装置10。大气压等离子体发生装置10是用于在大气压下产生等离子体的装置。大气压等离子体发生装置10具备内部块12、下部块14、照射嘴18、保持部件20、一对电极24、26、连接部件28及上部块30。此外，图1是大气压等离子体发生装置10的立体图，图2是除上部块30以外的大气压等离子体发生装置10的分解立体图，图3是大气压等离子体发生装置10的剖视图。内部块12由陶瓷制成，如图4及图5所示，由大致长方体形状的主体部32和形成于主体部32的上缘的凸缘部34构成。此外，图4是内部块12的立体图，图5是内部块12A的主视图、内部块12B的俯视图及内部块12C的侧视图。在内部块12的凸缘部34的上表面形成有一对圆柱形的圆柱凹部36、38。进而，以连接一对圆柱凹部36、38的方式形成有从一对圆柱凹部36、38的底面朝向主体部32的内部的连接凹部40。此外，由于连接凹部40的宽度比圆柱凹部36、38的直径小，因此圆柱凹部36、38的底面被设为大致U字型的台阶面46、48。另外，连接凹部40被设为越是朝向底面则宽度越窄的带台阶的形状，在连接凹部40的底面以沿上下方向延伸的方式形成有6条第一流路50。并且，上述6条第一流路50在内部块12的下表面开口。此外，在本说明书中的构成要素为大致矩形的情况下，该构成要素的宽度方向意味着短边方向、即与长边方向正交的方向。另外，将长边方向记载为长度方向。如图2所示，下部块14形成为大致长方体形状，由陶瓷制成。在下部块14的上表面形成有用于收纳内部块12的收纳部60。收纳部60是在下部块14的上表面开口的有底孔，如图3所示，由位于底面侧的第一收纳部62和位于开口侧的第二收纳部64构成。第一收纳部62的深度尺寸与内部块12的主体部32的高度尺寸大致相同，第一收纳部62的宽度尺寸及长度尺寸比内部块12的主体部32的宽度尺寸及长度尺寸略长。另外，第二收纳部64的深度尺寸比内部块12的凸缘部34的高度尺寸略长，第二收纳部64的宽度尺寸及长度尺寸比内部块12的凸缘部34的宽度尺寸及长度尺寸略长。因此，将内部块12从收纳部60的开口插入，将内部块12的主体部32收纳在第一收纳部62，将内部块12的凸缘部34收纳在第二收纳部64。此外，由于第二收纳部64的深度尺寸比凸缘部34的高度尺寸长，因此凸缘部34的上表面、即内部块12的上表面在收纳部60的内部位于比下部块14的上表面靠下方处。即，内部块12整体以被掩埋的状态进入到下部块14的收纳部60的内部。另外，在收纳部60的底面、即第一收纳部62的底面以沿上下方向延伸的方式形成有6条第二流路66，上述6条第二流路66在下部块14的下表面开口。并且，通过将内部块12收纳在收纳部60内而使得第二流路66与内部块12的第一流路50连通。照射嘴18固定于下部块14的下表面。在照射嘴18以沿上下方向延伸的方式形成有6条第三流路70，上述6条第三流路70在照射嘴18的上表面及下表面开口。并且，各第三流路70与内部块12的各第二流路66连通。保持部件20由陶瓷制成，如图6及图7所示，由一对保持架72、74和连接部76构成。一对保持架72、74以彼此的侧面相向的状态分离地配设，且由连接部76连接。上述一对保持架72、74各自由主体部78和突出部80构成。主体部78被设为大致有底圆筒形状。另外，突出部80被设为直径比主体部78小的短圆筒形状，从主体部78的底面向下方稍微突出。该突出部80的上端在主体部78的底面开口。此外，主体部78的外径被设为与内部块12的凸缘部34的宽度尺寸大致相同，突出部80的外径被设为比内部块12的圆柱凹部36、38的内径略小的尺寸。另外，一对保持架72、74的突出部80的轴心从主体部78的轴心向彼此靠近的方向偏移，一对突出部80的分离距离被设为与内部块12的一对圆柱凹部36、38的分离距离相同。另外，一对保持架72、74各自的主体部78的底面被设为台阶面，由第一底面82和第二底面84构成。第二底面84从第一底面82向下方突出。第二底面84形成为，朝向从一对保持架72、74的突出部80的彼此相对的侧面86的相反侧的侧面88分离的方向而呈大致扇型扩展。即，第一底面82形成于突出部80的侧面86侧，第二底面84形成于突出部80的侧面88侧。此外，第二底面84从第一底面82向下方突出，位于比突出部80的下端靠上方处。另外，连接部76在一对保持架72、74的彼此相向的侧面连接上述一对保持架72、74。连接部76的宽度尺寸被设为与保持架72、74的主体部78的外径大致相同，连接部76的外壁面与主体部78的外周面圆滑地连续。此外，如上所述，保持架72、74的主体部78的外径被设为与内部块12的凸缘部34的宽度尺寸大致相同。另外，连接部76的长度尺寸被设计为使保持部件20的长度尺寸与内部块12的凸缘部34的长度尺寸一致。由此，保持部件20的宽度尺寸及长度尺寸被设为与内部块12的凸缘部34的宽度尺寸及本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种等离子体发生装置，其特征在于，具备：/n一对电极；/n一对保持架，以使所述一对电极的端部突出的状态保持所述一对电极；及/n壳体，与所述一对保持架组合，/n组合后的所述壳体与所述一对保持架仅在与从所述一对保持架突出的所述一对电极的端部之间相反的一侧接触。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种等离子体发生装置，其特征在于，具备：
一对电极；
一对保持架，以使所述一对电极的端部突出的状态保持所述一对电极；及
壳体，与所述一对保持架组合，
组合后的所述壳体与所述一对保持架仅在与从所述一对保持架突出的所述一对电极的端部之间相反的一侧接触。


2.一种等离子体发生装置，其特征在于，具备：
一对电极；
一对保持架，以使所述一对电极的端部突出的状态保持所述一对电极；及
壳体，形成有第一凹部，在从所述一对保持架突出的所述一对电极的端部插入于所述第一凹部的状态下与所述一对保持架组合，
组合后的所述壳体与所述一对保持架仅在与从所述一对保持架突出的所述一对电极的端部之间相反的一侧接触。


3.根据权利要求1或2所述的等离子体发生装置，其中，
所述一对保持架和所述壳体中的一方具有突出部，所述突出部形成于所述一对保持架和...

【专利技术属性】
技术研发人员：神藤高广，池户俊之，
申请(专利权)人：株式会社富士，
类型：发明
国别省市：日本;JP