感光性转印材料以及电路布线的制造方法技术

一种感光性转印材料以及使用了感光性转印材料的电路布线的制造方法，所述感光性转印材料具有临时支撑体以及感光性树脂组合物层，所述感光性树脂组合物层含有包含聚合物的聚合物成分和光产酸剂，所述聚合物包含具有羧基以缩醛的形态被保护的基团的构成单元(a‑1)、或具有酚性羟基以缩醛的形态被保护的基团的构成单元(a‑2)，聚合物成分包含具有酚性羟基的构成单元(b‑1)以及具有醇性羟基的构成单元(b‑2)中的至少一个，在聚合物成分的总构成单元中所占的构成单元(b‑1)的比例和构成单元(b‑2)的比例的总计为1摩尔％以上且18摩尔％以下。

Photosensitive transfer material and manufacturing method of circuit wiring

A photosensitive transfer material and a manufacturing method of circuit wiring using the photosensitive transfer material, the photosensitive transfer material has a temporary support and a photosensitive resin composition layer, the photosensitive resin composition layer contains a polymer component containing a polymer and a photoacidogen, the polymer comprises a group with a carboxyl group protected in the form of acetal Unit (a \u2011 1), or a constituent unit (a \u2011 2) having a phenolic hydroxyl group protected in the form of acetals, wherein the polymer component comprises at least one constituent unit (B \u2011 1) having a phenolic hydroxyl group and at least one constituent unit (B \u2011 2) having an alcohol hydroxyl group, and the proportion of the constituent unit (B \u2011 1) and the constituent unit (B \u2011 2) in the total constituent unit of the polymer component is 1 mole More than% and less than 18 mole%.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性转印材料以及电路布线的制造方法
本专利技术涉及一种感光性转印材料以及电路布线的制造方法。
技术介绍
在具备静电电容型输入装置等触摸面板的显示装置(有机电致发光(EL)显示装置及液晶显示装置等)中，相当于视觉辨认部的传感器的电极图案、边缘布线部分及引出布线部分的布线等导电性层图案设置于触摸面板内部。通常形成图案化的层时，由于用于得到所需的图案形状的工序数量少，广泛使用了对使用感光性转印材料设置于任一基板上的感光性树脂组合物的层隔着具有所期望的图案的掩模进行曝光之后显影的方法。例如在日本特开2010-008972号公报中，公开有一种镀覆造形物制造用正型感放射线性树脂组合物，其含有具有酚性羟基的构成单元以及酸解离性官能基的聚合物、感放射线性酸产生剂以及有机溶剂，且相对于聚合物100重量份含有感放射线性酸产生剂1～20重量份。例如在日本特开2016-057612号公报中，公开有一种化学放大正型抗蚀剂干膜，其含有通过酸的作用而在碱水溶液中成为可溶的含酚树脂以及通过放射线或光化射线的作用而产生酸的光产酸剂。例如在日本特本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种感光性转印材料，具有：/n临时支撑体；以及/n感光性树脂组合物层，含有包含聚合物的聚合物成分和光产酸剂，所述聚合物包含具有羧基以缩醛的形态被保护的基团的构成单元(a-1)或具有酚性羟基以缩醛的形态被保护的基团的构成单元(a-2)，/n所述聚合物成分包含具有酚性羟基的构成单元(b-1)以及具有醇性羟基的构成单元(b-2)中的至少一个，/n在所述聚合物成分的总构成单元中所占的所述构成单元(b-1)的比例和所述构成单元(b-2)的比例的总计为1摩尔％以上且18摩尔％以下，/n其中，当所述聚合物成分不包含具有所述构成单元(a-1)的聚合物时，不将所述构成单元(b-1)的比例包含在所述总计之内。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170330 JP 2017-0680431.一种感光性转印材料，具有：
临时支撑体；以及
感光性树脂组合物层，含有包含聚合物的聚合物成分和光产酸剂，所述聚合物包含具有羧基以缩醛的形态被保护的基团的构成单元(a-1)或具有酚性羟基以缩醛的形态被保护的基团的构成单元(a-2)，
所述聚合物成分包含具有酚性羟基的构成单元(b-1)以及具有醇性羟基的构成单元(b-2)中的至少一个，
在所述聚合物成分的总构成单元中所占的所述构成单元(b-1)的比例和所述构成单元(b-2)的比例的总计为1摩尔％以上且18摩尔％以下，
其中，当所述聚合物成分不包含具有所述构成单元(a-1)的聚合物时，不将所述构成单元(b-1)的比例包含在所述总计之内。


2.根据权利要求1所述的感光性转印材料，其中，
所述聚合物成分的酸值为60mgKOH/g以下。


3.根据权利要求1或2所述的感光性转印材料，其中，
所述聚合物成分的玻璃化转变温度为90℃以下。


4.根据权利要求1或2所述的感光性转印材料，其中，
所述聚合物成分的玻璃化转变温度为60℃以下。


5.根据权利要求1～4中任一项所述的感光性转印材料，其中，
所述构成单元(a-1)是以下述式A1表示的构成单元，



式A1中，R31以及R32分别独立地表示氢原子、烷基或芳基，R31以及R32中的至少一个是烷基或芳基，R33表示烷基或芳基，R31或R32任选与R33连接而形成环状醚，R34表示氢原子或甲基，X0表示单键或亚芳基。


6.根据权利要求1～5中任一项所述的感光...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤本进二，松田知树，山田悟，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP