流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法制造方法及图纸

提供一种在连续运转的设备中使用时能够连续使用的流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法。流体通过分别配置于分支路(P1、P2、P3)的控制阀(5)中的某一个控制阀而被进行流量控制。在基于来自控制阀(5)的监视部(5a)的信号判断成需要更换控制阀(5)时，关闭正在进行流量控制的控制阀(5)，同时打开设置于其他分支路(P1、P2、P3)的控制阀(5)并进行与更换前同等的流量控制。而且，配置在关闭的控制阀(5)的上游侧及下游侧的开闭阀(12、13)也关闭。

Flow control device and flow control method of flow control device

The invention provides a flow control device and a flow control method of a flow control device which can be continuously used when used in a continuously running device. The flow is controlled by one of the control valves (5) configured in the branch (P1, P2, P3) respectively. When it is judged that the control valve (5) needs to be replaced based on the signal from the monitoring unit (5a) of the control valve (5), the control valve (5) under flow control is closed, and the control valve (5) set in other branches (P1, P2, P3) is opened at the same time for the same flow control as before. Moreover, the opening and closing valves (12, 13) arranged at the upstream side and the downstream side of the closed control valve (5) are also closed.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法
本专利技术涉及流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法。
技术介绍
在半导体制造装置中，常使用具备控制阀的流量控制装置(例如专利文献1、专利文献2等)。当在这样的流量控制装置中使用的控制阀发生故障时，会在半导体的制造中产生大问题，因此例如通过计测控制阀的工作次数并在控制阀发生故障之前更换控制阀来避免对半导体制造造成不良影响。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2017-15167号公报专利文献2：国际公开第2018/088326号
技术实现思路
但是，控制阀发生故障的时期并不能够可靠地预测，另外即使在预先设定的时期进行更换，也需要为了更换而中断半导体的制造，具有无法连续地制造这样的问题。并不限于半导体，对在连续地运转的设备中使用的流量控制装置要求能够连续使用。本专利技术的目的在于提供一种在连续地运转的设备中使用时能够连续使用的流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法。本专利技术的流量控制装置由一条流路、从上述一条流路分支出多条分支路的分支部、分别配置于以上述分支部分支出的上述分支路的控制阀、和监视上述控制阀的状态的监视部构成，在上述流量控制装置中，流体通过分别配置于上述分支路的上述控制阀中的某一个控制阀而被进行流量控制，在基于来自上述控制阀的监视部的信号判断成需要更换上述控制阀时，关闭正在进行流量控制的上述控制阀，同时打开设置于其他分支路的控制阀并进行与更换前同等的流量控制，并且，配置于关闭的控制阀的上游侧及下游侧的开闭阀也关闭。流量控制装置在半导体制造装置等连续地运转的设备中使用，经由控制阀向该设备输送所需的流体。并且，在需要更换工作中的控制阀的情况下，使处于待机状态的控制阀转移到工作状态，进行与更换前同等的流量控制。此时，配置于关闭的控制阀的上游侧及下游侧的开闭阀被自动地关闭，而防止了转移时的流体泄漏。由此，能够连续使用流量控制装置。控制阀例如具有：阀体，其划定流路；阀芯，其以能够对上述阀体的流路进行开闭的方式设置；操作部件，其以在使上述阀芯开闭流路的开闭方向上，能够在预先设定的使上述阀芯关闭流路的闭位置与预先设定的使上述阀芯打开流路的开位置之间移动的方式设置，对上述阀芯进行操作阀芯；主执行机构，其使上述操作部件移动到上述开位置或闭位置；和调整用执行机构(调整部)，其用于对取位于上述开位置的上述操作部件的位置进行调整。优选的是，能够采用如下结构：上述主执行机构使上述操作部件移动到上述开位置，上述调整用执行机构对通过上述主执行机构而取位于上述开位置的上述操作部件的在上述开闭方向上的位置进行调整。优选的是，还设置控制部，上述控制部接收来自上述监视部的输出，根据基于来自上述监视部的输出的信号判断是否需要更换。优选的是，在上述控制部中，对基于来自上述监视部的输出的信号和预先保存的数据进行比较，在超过或低于作为能够判断成正常范围内的值的规定值(阈值)的情况下，或者在超过了特定的开闭次数时，判断成需要更换。优选的是，在上述控制阀具备通过分别对开度进行微调整而能够进行微小的流量控制的调整部。上述监视部由测定阀的开度的传感器和/或流量传感器、测定开闭次数的传感器、检测上述控制阀的阀杆的动作的接近传感器和/或位移传感器、流量传感器、压力传感器等构成。优选的是，在上述控制阀与配置在上游侧的上述开闭阀之间以及上述控制阀与配置在下游侧的上述开闭阀之间，分别配置吹扫管路且在该吹扫管路上配置吹扫阀。通过打开与正在进行流量控制的控制阀相对应的开闭阀，而维持控制阀的工作状态，关闭与正在进行流量控制的控制阀相对应的吹扫阀。在需要更换该控制阀的情况下，关闭与该控制阀相对应的开闭阀，并且在更换前将吹扫阀切换到打开并与吹扫管路连接，使其他的控制阀成为工作状态。由此，能够安全且容易地进行更换。本专利技术的流量控制方法是流量控制装置的流量控制方法，该流量控制装置由一条流路、从上述一条流路分支出多条流路的分支部、分别配置于以上述分支部分支出的分支路的控制阀、和监视上述控制阀的状态的监视部构成，上述流量控制装置的流量控制方法包括以下步骤：步骤A，通过上述监视部监视正在进行流量控制的上述控制阀的状态；步骤B，根据基于来自上述监视部的输出的信号判断是否需要更换阀；步骤C，在上述步骤B中判断成需要更换的情况下，关闭正在进行流量控制的上述控制阀，同时打开处于其他分支路的控制阀并开始与更换前同等的流量控制；和步骤D，将设置在上述关闭的控制阀的前后的开闭阀关闭。优选的是，在上述步骤C中，包含如下步骤：具有进行上述控制阀的开闭动作的微调整的调整部，以消除开始流量调整的上述控制阀与上述关闭的控制阀的机械误差及每条分支管路的个体差的方式通过调整部进行开闭动作的调整。专利技术效果根据本专利技术的流量控制装置，在需要更换工作中的控制阀的情况下，能够不使流量控制装置停止地使处于待机状态的控制阀转移到工作状态，因此能够连续使用流量控制装置。因此，在使用该流量控制装置的设备中，能够不受控制阀的异常影响而持续运转。附图说明图1是表示本专利技术的流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法的一个实施方式的配管图。图2是表示在本专利技术的流量控制装置中使用的控制阀的一个例子的纵剖视图。图3是表示本专利技术的流量控制装置的流量控制方法的流程图。图4是表示将本专利技术的流量控制装置的流量控制方法适用于阀单元为两个的情况时的连续使用状态的流程图。图5是表示本专利技术的流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法的更换判断部分的流程图。附图标记说明1：流量控制装置2：阀单元3：控制部5：控制阀5a：监视部12、13：开闭阀14、15：吹扫阀100：调整用执行机构(调整部)P：流路P1、P2、P3：分支路J1、J2、J3：分支部具体实施方式参照以下附图来说明本专利技术的实施方式。如图1所示，本专利技术的流量控制装置1具备：一条流路P；从一条流路P分支出多条分支路P1、P2、P3的分支部J1、J2、J3；分别配置于以分支部J1、J2、J3分支出的分支路P1、P2、P3的阀单元2；和控制各阀单元2的状态的控制部3。各阀单元2由在向配置于流量控制装置1的下游侧的装置输送流体时具有流量控制功能的控制阀5、在更换控制阀5时打开或关闭的两个开闭阀12、13、和在更换控制阀5时为了进行吹扫而开闭的吹扫阀14、15构成。各阀11、12、13、14、15为内置有所需的传感器的自动阀，所有的阀单元2的各阀11、12、13、14、15的状态通过由计算机等构成的控制部3而被监视。在各阀单元2设有无线收发器4，各阀11、12、13、14、15的数据经由无线收发器4被发送到控制部3，控制部3对数据进行处理，经由无线收发器4向各阀单元2的各阀11、12、13、14、15发送所需的信号。此外本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流量控制装置，由以下部分构成：/n一条流路；/n从所述一条流路分支出多条分支路的分支部；/n分别配置于以所述分支部分支出的所述分支路的控制阀；和/n监视所述控制阀的状态的监视部，/n所述流量控制装置的特征在于，/n流体通过分别配置于所述分支路的所述控制阀中的某一个控制阀而被进行流量控制，/n在基于来自所述控制阀的监视部的信号判断成需要更换所述控制阀时，/n关闭正在进行流量控制的所述控制阀，同时打开设置于其他分支路的控制阀并进行与更换前同等的流量控制，并且，/n配置于关闭的控制阀的上游侧及下游侧的开闭阀也关闭。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170622 JP 2017-1223711.一种流量控制装置，由以下部分构成：
一条流路；
从所述一条流路分支出多条分支路的分支部；
分别配置于以所述分支部分支出的所述分支路的控制阀；和
监视所述控制阀的状态的监视部，
所述流量控制装置的特征在于，
流体通过分别配置于所述分支路的所述控制阀中的某一个控制阀而被进行流量控制，
在基于来自所述控制阀的监视部的信号判断成需要更换所述控制阀时，
关闭正在进行流量控制的所述控制阀，同时打开设置于其他分支路的控制阀并进行与更换前同等的流量控制，并且，
配置于关闭的控制阀的上游侧及下游侧的开闭阀也关闭。


2.如权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，
还设置控制部，
所述控制部接收来自所述监视部的输出，
所述控制部根据基于来自所述监视部的输出的信号判断是否需要更换。


3.如权利要求2所述的流量控制装置，其特征在于，
在所述控制部中，对基于来自所述监视部的输出的信号和预先保存的数据进行比较，在超过规定值的情况下，或者在超过了特定的开闭次数时，判断成需要更换。


4.如权利要求1至3中任一项所述的流量控制装置，其特征在于，
在所述控制阀具备通过分别对开度进行微调整而能够进行微小的流量控制的调整部。


5.如权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：船越高志，下村嘉德，谷川毅，药师神忠幸，
申请(专利权)人：株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：日本;JP