[question] the invention provides a film forming composition capable of curing at low temperature and a silica plasma membrane forming method using the film forming composition. [solution] a film forming composition, comprising polysilazane, organic solvent, and specific additives; and a film forming method, wherein the film forming composition is coated on a substrate for curing. The specific additives are selected from the group consisting of (a) alkyl substituted guanidine, (b) crown ether amines containing oxygen and nitrogen as members, (c) cycloalkanes with amino substituted polycyclic structure, (d) alkyl substituted oximes, and (E) imidazolines.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】膜形成组合物
本专利技术涉及一种含有聚硅氮烷的组合物。更具体涉及一种膜形成组合物,其可利用低温下的固化反应而形成致密的二氧化硅质膜。
技术介绍
聚硅氮烷具有利用加热而转化为二氧化硅质物质的性质。在单独使用了一般的聚硅氮烷的情况下,存在很多应改良点,例如,朝向二氧化硅质物质的转化速度迟缓,或者在朝向二氧化硅质物质的转换方面必需高温,等等。由此,为了改良这样的问题而进行了各种研究。例如,人们正在研究,通过将聚硅氮烷本身进行改性,或者将特定的添加剂组合于含聚硅氮烷的组合物,从而改良上述那样的问题。具体而言,作为可在低温下形成二氧化硅质膜的方法,存在以下的方法:将N-杂环状化合物添加于含聚硅氮烷的组合物的方法(例如,专利文献1)、添加烷醇胺的方法(例如,专利文献2)、添加胺类及/或酸类的方法(例如,专利文献3)。关于在这些文献中利用了的胺类化合物,也为了其它的目的而利用,具体而言,为了减低膜面的凹凸、涂布不均匀而添加二胺类化合物(例如,专利文献4和5),为了将环氧树脂进行固化而添加多胺(例如,专利文献6)。但根据本专利技术人等的研究,在以往所知的组合物方面,在室温等低温下的固化速度不充分,为了改善固化速度,有时必需进行加热等。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开平11-116815号公报专利文献2:日本特开平11-60736号公报专利文献3:日本特开平9-31333号公报专利文献4:日本特开平8-176511号公报专利文献5:日本特开平8-1 ...
【技术保护点】
1.一种膜形成组合物,其包含:/n聚硅氮烷、/n有机溶剂、以及/n至少1种添加剂,所述至少1种添加剂从由(A)烃基取代的胍类、(B)包含氧以及氮作为构成成员的冠醚胺类、(C)具有氨基取代的多环结构的环烷类、(D)烃基取代的肟类、以及(E)咪唑啉类组成的组中选出。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170404 JP 2017-0747551.一种膜形成组合物,其包含:
聚硅氮烷、
有机溶剂、以及
至少1种添加剂,所述至少1种添加剂从由(A)烃基取代的胍类、(B)包含氧以及氮作为构成成员的冠醚胺类、(C)具有氨基取代的多环结构的环烷类、(D)烃基取代的肟类、以及(E)咪唑啉类组成的组中选出。
2.根据权利要求1所述的组合物,其中,所述添加剂为(A)烃基取代的胍类,其由下述通式(A)表示:
式中,
RA各自独立地为氢或1价的C1~20烃基,或者任2个RA利用2价的C1~20烃基进行结合而形成环结构,或者任4个RA之中的各2个利用2价的C1~20烃基进行结合而形成2个环结构,
条件是RA之中的至少1个不是氢。
3.根据权利要求2所述的组合物,其中,RA从由C1~3烷基、C5~8环烷基、C6~10芳基、C1~6亚烷基、以及C1~6杂亚烷基组成的组中选出。
4.根据权利要求1所述的组合物,其中,所述添加剂为(B)包含氧以及氮作为构成成员的冠醚胺类,其由下述通式(B)表示:
式中,
L是由下述的连接单元(B1)以及连接单元(B2)构成的连接基团,
-LB1-O-(B1)
式中,
LB1以及LB2各自独立地为C1~6亚烷基,LB1以及LB2与其它连接单元的氧或者氮进行结合,
RB为氢、C1~3烷基、C1~3杂烷基、C6~10芳基、或者C6~10杂芳基,
L包含至少1个连接单元(B1)以及至少1个连接单元(B2),L中所含的连接单元的总数为2~10。
5.根据权利要求4所述的组合物,其中,LB1以及LB2各自独立地为C2~4亚烷基,RB为氢、或者C6~10芳基,L中所含的连接单元的总数为4~10的数值。
6.根据权利要求1所述的组合物,其中,所述添加剂是(C)具有氨基取代的多环结构的环烷类,其由下述通式(C)表示:
式中,
nC为1~16的数值,
RC各自独立地为氨基、羟基、羧基、C1~10烃基、或者氨基取代的C1~10烃基,至少一个RC包含氨基。
7.根据权利要求6所述的组合物,其中,所述RC为C1~6烷基、氨基、C1~6氨基烷...
【专利技术属性】
技术研发人员:能谷刚,久保雅彦,佐竹昇,野岛由雄,尾崎祐树,冈村聪也,
申请(专利权)人:默克专利有限公司,
类型:发明
国别省市:德国;DE
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