工件的切断方法技术

本发明专利技术提供一种工件的切断方法，该方法通过线锯进行，在线锯中，将表面固定有磨粒的固定磨粒钢线通过卷绕于多个带沟滚筒以形成钢线列，固定磨粒钢线从一组的卷线器中的其中一个卷线器送出并被卷取至另一个卷线器，通过使固定磨粒钢线沿轴向往复移动，并且将工件向钢线列切入进给，而将工件在沿轴向排列的多个位置同时切断，其特征在于，在开始切断工件之前进行磨粒磨损步骤，其中，该磨粒磨损步骤通过进行不伴随工件的切断的固定磨粒钢线的移动，从而在卷线器内使固定磨粒钢线彼此互相磨擦，而对固定磨粒钢线的表面进行修整，并且在该磨粒磨损步骤中，对所述固定磨粒钢线的表面进行30分钟以上的修整。由此，提供能够以低成本简单地进行固定磨粒钢线的修整，并且能够抑制晶圆的厚度变化的工件的切断方法。

Cutting method of workpiece

The invention provides a cutting method of a workpiece, which is carried out by a wire saw. In the wire saw, a fixed abrasive steel wire with abrasive particles fixed on the surface is wound on a plurality of grooved rollers to form a steel wire array, and the fixed abrasive steel wire is sent out from one of a group of coilers and taken up to another coiler, and the fixed abrasive steel wire is reciprocally moved along the axial direction, In addition, the workpiece is cut into the steel wire array for feeding, and the workpiece is cut off at multiple positions arranged along the axial direction at the same time, which is characterized in that the abrasive wear step is carried out before the workpiece is cut off, wherein the abrasive wear step is carried out by moving the fixed abrasive steel wire which is not accompanied with the cutting of the workpiece, so that the fixed abrasive steel wires are rubbed against each other in the coiler, while the fixed abrasive steel wires are fixed The surface of the abrasive steel wire is trimmed, and in the abrasive wear step, the surface of the fixed abrasive steel wire is trimmed for more than 30 minutes. Thus, a cutting method of a workpiece capable of simply finishing a fixed abrasive steel wire at a low cost and being able to inhibit the thickness change of a wafer is provided.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工件的切断方法
本专利技术涉及一种工件的切断方法。
技术介绍
目前，作为从例如硅铸块、化合物半导体铸块等工件切出晶圆的装置，已知具备在表面固定有磨粒的固定磨粒钢线的线锯。对于该固定磨粒方式的线锯，通过在多个滚轮的周围卷绕多个切断用的固定磨粒钢线以形成钢线列，并通过在轴向上高速驱动该固定磨粒钢线，且适当供给加工液并且将工件相对于钢线列切入进给，从而该工件在各钢线位置被同时切断。这里，图4显示使用一般的固定磨粒钢线的线锯的一例。如图4所示，该固定磨粒方式的线锯101主要由：在钢线(高张力钢线)的表面固定有磨粒并用于切断工件W的固定磨粒钢线102、固定磨粒钢线102所卷绕的带沟滚轮103、带沟滚轮103’、由卷绕于带沟滚轮103的固定磨粒钢线102所构成的钢线列111、用于赋予固定磨粒钢线102张力的机构104、机构104’、将所切断的工件W向下方送出的装置105、以及在切断时供给冷却液109(也称为冷却剂)的机构106所构成。固定磨粒钢线102被从一端的卷线器107送出，经过张力赋予机构104进入带沟滚轮103。固定磨粒钢线102在卷绕带沟滚轮103、带沟滚轮103’300至400圈之后，经过另一端的张力赋予机构104’被卷取至卷线器107’。另外，带沟滚轮103及带沟滚轮103’是在钢铁制圆筒的周围压入聚氨酯树脂，并在其表面以固定间距切出沟的滚轮，所卷绕的固定磨粒钢线102，藉由驱动用马达110而能够以所预定的周期于往复方向驱动。另外，在切断工件W时，工件W由工件输送构件105保持并被相对地压下，向卷绕于带沟滚轮103及带沟滚轮103’的固定磨粒钢线102所构成的钢线列111送出。此时，使用钢线张力赋予机构104对固定磨粒钢线102施加适当的张力，利用驱动用马达110使固定磨粒钢线102在往复方向移动并且经由喷嘴108供给冷却液109，并通过工件输送构件105将工件W切入进给，从而将工件W切断为晶圆状。另外，工件W的切断结束后，使切断完成的工件在与切断时相反的方向上相对移动，而从钢线列111抽出切断完成的工件。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2005-95993号公报专利文献2：日本特开平11-28654号公报
技术实现思路
(一)要解决的技术问题在如上所述的固定磨粒方式的线锯中，在工件切断开始时，由于固定磨粒钢线的表面的磨粒的初期磨损大，并且因磨粒的锋利度并不充分而钢线在工件的轴向振动，从而会有切割开始部分的晶圆厚度变薄，晶圆的厚度变化(TTV：TotalThicknessVariation，总厚度变化)增大的问题。为了抑制切断时的固定磨粒钢线的初期磨损，确保充分的锋利度而实现良好的晶圆质量，需要对切断开始前的固定磨粒钢线进行适当的修整(整形)。作为切断开始前对固定磨粒钢线进行修整的方法，已知有在线锯装置内导入电解槽而通过导电性液所进行的电解反应以进行修整的方法(专利文献1)、在线锯装置内内置修整石而进行修整的方法(专利文献2)。但是，上述专利文献1、2的方法需要重新设计线锯，或是需要改造现有的线锯，并不容易对应。因此，现有技术有成本提高，无法简单实施等问题。本专利技术鉴于上述问题而做出，其目的在于提供一种以低成本简单地进行固定磨粒钢线的修整，而能够抑制晶圆的厚度变化的工件的切断方法。(二)技术方案为了达成上述目的，本专利技术提供一种工件的切断方法，所述方法通过线锯进行，在所述线锯中，将表面固定有磨粒的固定磨粒钢线通过卷绕于多个带沟滚筒以形成钢线列，所述固定磨粒钢线从一组的卷线器中的其中一个卷线器送出并被卷取至另一个卷线器，通过使所述固定磨粒钢线沿轴向往复移动，并且将工件向所述钢线列切入进给，而将所述工件在沿轴向排列的多个位置同时切断，其特征在于，在开始切断所述工件之前进行磨粒磨损步骤，其中，所述磨粒磨损步骤通过进行不伴随所述工件的切断的所述固定磨粒钢线的移动，从而在所述卷线器内使所述固定磨粒钢线彼此互相磨擦，而对所述固定磨粒钢线的表面进行修整，并且在所述磨粒磨损步骤中，对所述固定磨粒钢线的表面进行30分钟以上的修整。这样，通过导入以30分钟以上的空转进行的磨粒磨损步骤，在卷线器内固定磨粒钢线彼此互相磨擦，通过使磨粒的修整进行足够的时间，而能够以进行了修整的固定磨粒钢线切断工件，因此能够抑制切断的晶圆的厚度变化。另外，如果根据上述方法，则由于能够以已有的线锯实施，并非一定要重新设计线锯或改造现有的线锯，因此是能够抑制成本的增加，且能够简单实施的方法。另外，此时，在所述磨粒磨损步骤中，在对所述固定磨粒钢线的表面进行修整时，优选设定所述固定磨粒钢线对所述卷线器的卷绕张力在15N以上。这样，如果设定固定磨粒钢线对卷线器的卷绕张力在15N以上，则固定磨粒钢线彼此会在卷线器内以足够强的力互相磨擦，而能够以可靠地进行了修整的固定磨粒钢线开始切断，因此能够将切断的晶圆的厚度变化抑制为更小。另外，此时，在所述磨粒磨损步骤中，在对所述固定磨粒钢线的表面进行修整时，优选对所述固定磨粒钢线的表面进行60分钟以上的修整。这样，如果使磨粒磨损步骤的时间为60分钟以上，则在卷线器内固定磨粒钢线彼此进一步进行充分时间的互相磨擦，而能够以更加可靠地进行了修整的固定磨粒钢线进行切断，因此能够将切断的晶圆的厚度的变化抑制为更小。另外，在所述磨粒磨损步骤中，在对所述固定磨粒钢线的表面进行修整时，通过调整所述固定磨粒钢线的往复移动的钢线移动量及循环时间，优选对将所述工件从所述工件的开始切断点至所述工件的直径的20％以上的距离为止进行切断所需要的长度的所述固定磨粒钢线进行修整。这样，如果对将工件从开始切断点至至少工件直径的20％的距离为止进行切断所需要的长度的固定磨粒钢线进行修整，则能够以可靠地进行了修整的固定磨粒钢线进行特别容易产生厚度变化的、从开始切断点至工件直径的约20％的距离深度为止的切断，因此能够更加可靠地抑制切断的晶圆的厚度变化。(三)有益效果根据本专利技术的工件的切断方法，能够以低成本简单地进行固定磨粒钢线的修整，而抑制切断的晶圆的厚度变化。附图说明图1是显示能够用于本专利技术的工件的切断方法的线锯的一例的图。图2是显示在实施例1至4中所得的相对于晶圆的切断位置的平均厚度的曲线图。图3是显示在比较例中所得的相对于晶圆的切断位置的平均厚度的曲线图。图4是显示一般的线锯的一例的图。具体实施方式以下对本专利技术的实施方式进行说明，但本专利技术并不限定于此。如前所述，在使用固定磨粒钢线的工件切断中，由于未使用的固定磨粒钢线表面的磨粒的初期磨损大，并且因磨粒的锋利度不充分而固定磨粒钢线在工件的轴向振动等等，从而出现切割开始部分的晶圆厚度变薄，晶圆的厚度变化增大的问题。另外，作为对该问题的对策，虽然可以对固定磨粒钢线进行修整，但在这种情况下，由于在线锯新设置了修整机构，因此出现成本增加，且切断步骤也变繁杂的问题。这里，本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工件的切断方法，所述方法通过线锯进行，在所述线锯中，将表面固定有磨粒的固定磨粒钢线通过卷绕于多个带沟滚筒以形成钢线列，所述固定磨粒钢线从一组的卷线器中的其中一个卷线器送出并被卷取至另一个卷线器，通过使所述固定磨粒钢线沿轴向往复移动，并且将工件向所述钢线列切入进给，而将所述工件在沿轴向排列的多个位置同时切断，其特征在于，/n在开始切断所述工件之前进行磨粒磨损步骤，其中，所述磨粒磨损步骤通过进行不伴随所述工件的切断的所述固定磨粒钢线的移动，从而在所述卷线器内使所述固定磨粒钢线彼此互相磨擦，而对所述固定磨粒钢线的表面进行修整，并且在所述磨粒磨损步骤中，对所述固定磨粒钢线的表面进行30分钟以上的修整。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170404 JP 2017-0747791.一种工件的切断方法，所述方法通过线锯进行，在所述线锯中，将表面固定有磨粒的固定磨粒钢线通过卷绕于多个带沟滚筒以形成钢线列，所述固定磨粒钢线从一组的卷线器中的其中一个卷线器送出并被卷取至另一个卷线器，通过使所述固定磨粒钢线沿轴向往复移动，并且将工件向所述钢线列切入进给，而将所述工件在沿轴向排列的多个位置同时切断，其特征在于，
在开始切断所述工件之前进行磨粒磨损步骤，其中，所述磨粒磨损步骤通过进行不伴随所述工件的切断的所述固定磨粒钢线的移动，从而在所述卷线器内使所述固定磨粒钢线彼此互相磨擦，而对所述固定磨粒钢线的表面进行修整，并且在所述磨粒磨损步骤中，对所述固定磨粒钢线的表面进行30分钟以上的修整。

【专利技术属性】
技术研发人员：丰田史朗，
申请(专利权)人：信越半导体株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP