喷射元件、微型发光二极管检修设备及检修方法技术

本发明专利技术提供一种采用喷射元件的微型发光二极管检修设备被提出。微型发光二极管检修设备包括承载台、光学检测模块以及喷射元件。光学检测模块对应承载台设置以获取图像信息，并由图像信息获得位置坐标。喷射元件适于依据位置坐标而移动至承载台相对应的目标位置。喷射元件包括导管与喷嘴。导管包括相连接第一段部与第二段部。第一段部的延伸方向不同于第二段部的延伸方向，且第二段部的延伸轴线通过目标位置。喷嘴连接导管的第二段部的一端。流经导管的流体在通过喷嘴后流向目标位置。一种采用微型发光二极管检修设备的检修方法亦被提出。

Maintenance equipment and methods of injection components and micro LED

The invention provides a micro led maintenance device adopting an injection element, which is proposed. The maintenance equipment of micro LED includes a bearing platform, an optical detection module and a spray element. The optical detection module corresponds to the setting of the bearing platform to obtain the image information and obtain the position coordinates from the image information. The injection element is suitable for moving to the target position corresponding to the bearing platform according to the position coordinate. The spray element includes a conduit and a nozzle. The catheter comprises a first section portion and a second section portion which are connected. The extension direction of the first segment part is different from that of the second segment part, and the extension axis of the second segment part passes through the target position. The nozzle is connected with one end of the second section of the conduit. The fluid flowing through the conduit flows through the nozzle to the target location. A maintenance method using micro led maintenance equipment is also proposed.

【技术实现步骤摘要】
喷射元件、微型发光二极管检修设备及检修方法
本专利技术涉及一种微型发光二极管检修技术，尤其涉及一种喷射元件、微型发光二极管检修设备及检修方法。
技术介绍
近年来，在有机发光二极管(Organiclight-emittingdiode，OLED)显示面板的制造成本偏高及其使用寿命无法与现行的主流显示器相抗衡的情况下，微型发光二极管显示器(MicroLEDDisplay)逐渐吸引各科技大厂的投资目光。除了低耗能及材料使用寿命长的优势外，微型发光二极管显示器还具有优异的光学表现，例如高色彩饱和度、应答速度快及高对比。另一方面，为了取得较低的生产成本与较大的产品设计裕度，微型发光二极管显示器的制造技术采用晶粒转移的方式，亦即巨量转移(Masstransfer)技术，将制作好的微型发光二极管晶粒直接转移到驱动电路背板上。具体而言，晶粒制造商需先将客户所需的微型发光二极管晶粒制作(或放置)在暂存基板上，客户再依据不同的应用需求将存放在暂存基板上的微型发光二极管晶粒转移至不同产品的驱动电路板上。然而，在晶粒生产、转移的过程中，势必会产生一定数量的异常晶粒与接合良率的损失。因此，如何提高终端产品的良率，已成为相关厂商的重要课题。
技术实现思路
本专利技术提供一种喷射元件，其瑕疵的移除成功率高。本专利技术提供一种微型发光二极管检修设备，其修复良率高。本专利技术提供一种微型发光二极管检修方法，其维修成功率高。本专利技术的微型发光二极管检修设备，包括承载台、光学检测模块以及喷射元件。光学检测模块对应承载台设置以获取待测物的图像信息，并由图像信息获得位置坐标。喷射元件适于依据位置坐标而移动至承载台相对应的目标位置。喷射元件包括导管与喷嘴。导管包括相连接第一段部与第二段部。第一段部的延伸方向不同于第二段部的延伸方向，且第二段部的延伸轴线通过目标位置。喷嘴连接导管的第二段部的一端。流经导管的流体在通过喷嘴后流喷向目标位置。在本专利技术的一实施例中，上述的微型发光二极管检修设备还包括吸集罩，适于依据位置坐标而移动至目标位置，并产生吸入气流。在本专利技术的一实施例中，上述的微型发光二极管检修设备的光学检测模块包括图像获取元件与图像处理单元。图像获取元件用以获取图像信息。图像处理单元耦接至图像获取元件，并用以对图像信息进行分析，以获得位置坐标。在本专利技术的一实施例中，上述的微型发光二极管检修设备还包括至少一移动机构，且图像获取元件与喷射元件设置于移动机构上。移动机构适于带动图像获取元件与喷射元件相对于承载台移动。在本专利技术的一实施例中，上述的微型发光二极管检修设备的图像获取元件包括透镜模块以及图像传感器。图像传感器耦接至图像处理单元。透镜模块位于承载台与图像传感器之间。在本专利技术的一实施例中，上述的微型发光二极管检修设备的光学检测模块包括厚度检测器，用以测量承载台的目标位置的高度信息。在本专利技术的一实施例中，上述的微型发光二极管检修设备的喷嘴与导管为一体成型。本专利技术的微型发光二极管检修方法，包括提供微型发光二极管检修设备、将待测物放置在微型发光二极管检修设备的承载台上、以光学检测模块对待测物上的多个微型发光二极管进行光学检测，以确认这些微型发光二极管是否存在至少一瑕疵、确认至少一瑕疵后，以光学检测模块取得至少一瑕疵的位置坐标以及进行至少一瑕疵的移除步骤。微型发光二极管检修设备包括承载台、光学检测模块以及喷射元件。光学检测模块对应承载台设置以获取图像信息，并由图像信息获得位置坐标。喷射元件包括导管以及连接导管的一端的喷嘴。导管包括相连接的第一段部与第二段部，且第一段部的延伸方向不同于第二段部的延伸方向。待测物具有多个微型发光二极管。喷射元件依据位置坐标移动至承载台对应至少一瑕疵的目标位置，且第二段部的延伸轴线通过目标位置，致使流经导管的流体在通过喷嘴后流喷向瑕疵，以将瑕疵自待测物上移除。在本专利技术的一实施例中，上述的微型发光二极管检修方法的进行至少一瑕疵的移除步骤还包括利用吸集罩收集自待测物上移除的瑕疵。在本专利技术的一实施例中，上述的微型发光二极管检修方法还包括在完成至少一瑕疵的移除步骤后，对待测物进行另一光学检测。在本专利技术的一实施例中，上述的微型发光二极管检修方法的第二段部的延伸轴线与瑕疵的顶面的法线方向之间具有夹角，且夹角介于10度至90度之间。在本专利技术的一实施例中，上述的微型发光二极管检修方法的第二段部的延伸轴线垂直于瑕疵的顶面且不通过瑕疵的对称轴线。本专利技术的喷射元件，适于移除微型元件。喷射元件包括导管与喷嘴。导管包括相连接第一段部与第二段部。第一段部的延伸方向不同于第二段部的延伸方向。喷嘴连接导管的一端。流经导管的流体在通过喷嘴后喷出。在本专利技术的一实施例中，上述的喷射元件的喷嘴的孔径小于50μm。在本专利技术的一实施例中，上述的喷射元件的喷嘴与导管为一体成型。基于上述，在本专利技术的一实施例的微型发光二极管检修设备及检修方法中，利用光学检测模块进行待测物的光学检测，以取得瑕疵的位置坐标，有助于确保喷射元件与瑕疵间的定位关系，进而提升瑕疵移除的准确率。另一方面，通过导管的第二段部的延伸轴线通过瑕疵，可使通过喷嘴的流体能有效率地流向瑕疵，以将瑕疵自待测物上移除。如此，有助于提升待测物的修复良率，进而改善后制程的整体良率。为让本专利技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。附图说明图1是本专利技术的一实施例的微型发光二极管检修设备的方块图；图2是本专利技术的一实施例的微型发光二极管检修方法的流程图；图3A至图3D是本专利技术的一实施例的微型发光二极管检修流程的示意图；图4A及图4B是本专利技术的一实施例的喷射元件于两种操作状态下的示意图；图5是本专利技术的另一实施例的喷射元件的操作示意图；图6是本专利技术的又一实施例的喷射元件的操作示意图；图7是本专利技术的另一实施例的微型发光二极管检修设备的方块图。附图标记说明10、11：微型发光二极管检修设备50：承载台60、60A：光学检测模块70：吸集罩100、100A、100B：喷射元件101：载架110、110A、110C：导管110a：第一段部110b：第二段部120、120A：喷嘴130：元件基座210：图像获取元件211：透镜模块212：图像传感器220：图像处理单元230：存储单元240：移动机构250：控制单元260：厚度检测器300、300A：待测物310：载板320、320A：微型元件320D、320AD：瑕疵320s：顶面AX：延伸轴线D1：方向FD、FD1、FD2、FD3：流体H：高度S：间距S401、S402、S403、S404、S405：步骤SA：对称轴本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微型发光二极管检修设备，包括：/n承载台；/n光学检测模块，对应所述承载台设置以获取图像信息，并由所述图像信息获得位置坐标；以及/n喷射元件，适于依据所述位置坐标而移动至所述承载台相对应的目标位置，所述喷射元件包括：/n导管，包括相连接的第一段部与第二段部，其中所述第一段部的延伸方向不同于所述第二段部的延伸方向，且所述第二段部的延伸轴线通过所述目标位置；以及/n喷嘴，连接所述导管的所述第二段部的一端，其中流经所述导管的流体在通过所述喷嘴后流喷向所述目标位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种微型发光二极管检修设备，包括：
承载台；
光学检测模块，对应所述承载台设置以获取图像信息，并由所述图像信息获得位置坐标；以及
喷射元件，适于依据所述位置坐标而移动至所述承载台相对应的目标位置，所述喷射元件包括：
导管，包括相连接的第一段部与第二段部，其中所述第一段部的延伸方向不同于所述第二段部的延伸方向，且所述第二段部的延伸轴线通过所述目标位置；以及
喷嘴，连接所述导管的所述第二段部的一端，其中流经所述导管的流体在通过所述喷嘴后流喷向所述目标位置。


2.根据权利要求1所述的微型发光二极管检修设备，还包括：
吸集罩，适于依据所述位置坐标而移动至所述目标位置，并产生吸入气流。


3.根据权利要求1所述的微型发光二极管检修设备，其中所述光学检测模块包括：
图像获取元件，用以获取所述图像信息；以及
图像处理单元，耦接至所述图像获取元件，并用以对所述图像信息进行分析，以获得所述位置坐标。


4.根据权利要求3所述的微型发光二极管检修设备，还包括至少一移动机构，且所述图像获取元件与所述喷射元件设置于所述移动机构上，所述移动机构适于带动所述图像获取元件与所述喷射元件相对于所述承载台移动。


5.根据权利要求3所述的微型发光二极管检修设备，其中所述图像获取元件包括：
透镜模块；以及
图像传感器，耦接至所述图像处理单元，其中所述透镜模块位于所述承载台与所述图像传感器之间。


6.根据权利要求1所述的微型发光二极管检修设备，其中所述光学检测模块包括厚度检测器，用以测量所述承载台的所述目标位置的高度信息。


7.根据权利要求1所述的微型发光二极管检修设备，其中所述喷嘴与所述导管为一体成型。


8.一种微型发光二极管检修方法，包括：
提供微型发光二极管检修设备，所述微型发光二极管检修设备包括承载台、光学检测模块以及喷射元件，其中所述光学检测模块对应所述承载台设置以获取图像信息，并由所述图像信...

【专利技术属性】
技术研发人员：林呈谦，
申请(专利权)人：錼创显示科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;TW