The invention provides a wafer pre positioning method, which comprises: rotating the wafer, simultaneously performing a wafer notch search process to determine the position of the wafer notch; stopping the rotation of the wafer, calculating the distance between the current position of the wafer notch and the target position; rotating the wafer notch to the target position. The invention provides a wafer pre positioning method, which does not need the wafer to rotate more than 360 \u00b0, shortens the time to find the wafer notch, and improves the efficiency.
【技术实现步骤摘要】
晶圆预定位方法
本专利技术涉及微电子
,具体地,涉及一种晶圆预定位方法。
技术介绍
在半导体自动设备中,一般采用机械手传送晶圆,机械手将晶圆从装载腔室传送到工艺腔室以完成对晶圆的处理。在工艺腔室中,对于晶圆的位置要求十分精确,而且需要每次以同一个角度传入,所以需要机械手先将晶圆进行预定位,以找到槽口(Notch)位置,然后将槽口旋转到预定角度,再将晶圆传到工艺腔室中。现有的晶圆预定位方法一般是将晶圆放在转台上旋转超过360°,在晶圆的旋转过程中,采集晶圆的中心与边缘之间的距离信号,并通过判断距离信号的极值点来判断Notch的位置。但是,上述方法需要晶圆旋转超过360°,寻找槽口的时间较长,效率较低。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提出了一种晶圆预定位方法,其无需晶圆旋转360°以上,缩短了寻找晶圆槽口的时间,提高了效率。为实现本专利技术的目的而提供一种晶圆预定位方法,包括:使晶圆旋转,同时进行晶圆槽口寻找过程,以确定所述晶圆槽口位置;使晶圆停止旋转,并计算所述晶圆槽口的当前位置与目标位置的距离;将所述晶圆槽口旋转至所述目标位置。可选的,所述晶圆槽口寻找过程包括:在预设位置实时采集晶圆边缘信息;根据所述晶圆边缘信息判断晶圆槽口是否经过所述预设位置;若是,则确定晶圆槽口的位置。可选的,所述在预设位置实时采集晶圆边缘信息,具体包括:在晶圆边缘的圆周上设定多个采样点;使 ...
【技术保护点】
1.一种晶圆预定位方法,其特征在于,包括:/n使晶圆旋转,同时进行晶圆槽口寻找过程,以确定所述晶圆槽口位置;/n使晶圆停止旋转,并计算所述晶圆槽口的当前位置与目标位置的距离;/n将所述晶圆槽口旋转至所述目标位置。/n
【技术特征摘要】
1.一种晶圆预定位方法,其特征在于,包括:
使晶圆旋转,同时进行晶圆槽口寻找过程,以确定所述晶圆槽口位置;
使晶圆停止旋转,并计算所述晶圆槽口的当前位置与目标位置的距离;
将所述晶圆槽口旋转至所述目标位置。
2.根据权利要求1所述的晶圆预定位方法,其特征在于,所述晶圆槽口寻找过程包括:
在预设位置实时采集晶圆边缘信息;
根据所述晶圆边缘信息判断晶圆槽口是否经过所述预设位置;若是,则确定晶圆槽口的位置。
3.根据权利要求2所述的晶圆预定位方法,其特征在于,所述在预设位置实时采集晶圆边缘信息,具体包括:
在晶圆边缘的圆周上设定多个采样点;
使晶圆旋转,同时朝向经过所述预设位置的所述采样点发送光信号;
接收通过各个所述采样点的光信号。
4.根据权利要求3所述的晶圆预定位方法,其特征在于,所述根据所述晶圆边缘信息判断晶圆槽口是否经过所述预设位置;若是,则确定晶圆槽口位置,具体包括:
每接收到预设数量的采样点的光信号,进行一次判断过程;
所述判断过程包括:
计算所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:邵连,
申请(专利权)人:北京北方华创微电子装备有限公司,
类型:发明
国别省市:北京;11
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