一种智能测距的晶圆寻边装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及晶圆寻边技术领域，特别涉及一种智能测距的晶圆寻边装置和方法。所述一种智能测距的晶圆寻边装置，包括：载台、寻边装置底座、旋转手臂、红外感应器、伺服马达红外测距手臂和红外线测距传感器；寻边装置底座连接所述载台；旋转手臂设置于载台上方；红外感应器设置于旋转手臂上；伺服马达红外测距手臂设置于旋转手臂上，红外线测距传感器设置于伺服马达红外测距手臂上；红外线测距传感器用于：测得待测物与伺服马达红外测距手臂的距离L，及测得待测物边缘与红外线测距传感器的距离X。通过该装置，可快速有效地对晶圆的notch角进行寻边，且就算寻边异常时，亦不存在降低机台的妥善率的问题，减少生产成本，提高产线生产力。

A kind of device and method of wafer edge searching for intelligent ranging

The invention relates to the technical field of wafer edge finding, in particular to a wafer edge finding device and method for intelligent ranging. The invention relates to a wafer edge searching device for intelligent ranging, which comprises a carrier, a base of edge searching device, a rotating arm, an infrared sensor, an infrared ranging arm of servo motor and an infrared ranging sensor; the base of edge searching device is connected with the carrier; the rotating arm is arranged above the carrier; the infrared sensor is arranged on the rotating arm; the infrared ranging arm of servo motor is arranged on the rotating arm The infrared distance sensor is used to measure the distance L between the object to be measured and the infrared distance arm of the servo motor, and the distance X between the edge of the object to be measured and the infrared distance sensor. With this device, the notch angle of wafer can be searched quickly and effectively. Even if the edge searching is abnormal, there is no problem of reducing the machine's proper rate, reducing production cost and improving production line productivity.

【技术实现步骤摘要】
一种智能测距的晶圆寻边装置和方法
本专利技术涉及晶圆寻边
，特别涉及一种智能测距的晶圆寻边装置和方法。
技术介绍
由于做完金属蒸镀的工艺，会有部分金属遗留且覆盖住晶圆notch角，在做notch角寻边时，容易造成晶圆寻边异常。而现有的寻边装置，当有存在寻边异常问题时，造成传送异常，使得晶圆宕在寻边装置处，从而降低了机台的妥善率。且在无法寻找到notch角时，需要将晶圆取出，重新放置晶圆，容易掉片以及触接触到晶圆表面，造成晶圆膜面损伤，从而造成成本损失，同时降低了生产效率。
技术实现思路
为此，需要提供一种智能测距的晶圆寻边装置，用以解决现有技术晶圆notch角寻边装置当寻边存在异常问题时，使得晶圆宕在寻边装置处，降低机台妥善率的问题。具体技术方案如下：一种智能测距的晶圆寻边装置，包括：载台、寻边装置底座、旋转手臂、红外感应器、伺服马达红外测距手臂和红外线测距传感器；所述寻边装置底座连接所述载台；所述旋转手臂固定设置于所述寻边装置底座上，所述旋转手臂设置于所述载台上方；所述载台用于存放待测物；所述红外感应器设置于所述旋转手臂上，所述红外感应器用于：对待测物中心点进行定位；所述伺服马达红外测距手臂设置于所述旋转手臂上，所述红外线测距传感器设置于所述伺服马达红外测距手臂上；所述伺服马达红外测距手臂用于：对待测物边缘进行定位；所述红外线测距传感器用于：测得待测物与伺服马达红外测距手臂的距离L，及测得待测物边缘与红外线测距传感器的距离X。进一步的，所述红外感应器还用于：在待测物上定位任意两条平行线，判断所述两条平行线的垂直平分线是否重叠，若所述两条平行线的垂直平分线重叠，则取所述两条平行线与待测物边缘相交的任意三个点a、b和c，通过a、b和c三个点定位得待测物中心点。进一步的，所述旋转手臂还用于：带动伺服马达红外测距手臂旋转，进而带动红外线测距传感器旋转。进一步的，所述旋转手臂为360°旋转手臂。为解决上述技术问题，还提供了一种智能测距的晶圆寻边方法，具体技术方案如下：一种智能测距的晶圆寻边方法，包括步骤：通过红外感应器对待测物中心点进行定位；通过伺服马达红外测距手臂对待测物边缘进行定位；通过红外线测距传感器测得待测物与伺服马达红外测距手臂的距离L，通过红外线测距传感器测得待测物边缘与伺红外线测距传感器的距离X，计算得X与L的差值；判断所述差值是否大于预设值，若所述差值大于预设值，则判定该位置为notch角。进一步的，所述“通过红外感应器对待测物中心点进行定位”，还包括步骤：通过红外感应器在待测物上定位任意两条平行线，判断所述两条平行线的垂直平分线是否重叠，若所述两条平行线的垂直平分线重叠，则取所述两条平行线与待测物边缘相交的任意三个点a、b和c，通过a、b和c三个点定位得待测物中心点。进一步的，所述“通过红外线测距传感器测得待测物边缘与伺红外线测距传感器的距离X”，还包括步骤：通过旋转手臂带动伺服马达红外测距手臂旋转，进而带动红外线测距传感器旋转，进而通过红外线测距传感器测得待测物边缘任意位置与红外线测距传感器的距离X。本专利技术的有益效果是：所述寻边装置底座连接所述载台；所述旋转手臂固定设置于所述寻边装置底座上，所述旋转手臂设置于所述载台上方；所述载台用于存放待测物；所述红外感应器设置于所述旋转手臂上，所述红外感应器用于：对待测物中心点进行定位；所述伺服马达红外测距手臂设置于所述旋转手臂上，所述红外线测距传感器设置于所述伺服马达红外测距手臂上；所述伺服马达红外测距手臂用于：对待测物边缘进行定位；所述红外线测距传感器用于：测得待测物与伺服马达红外测距手臂的距离L，及测得待测物边缘与红外线测距传感器的距离X。最后计算这两个值的差值，判断所述差值是否大于预设值，若所述差值大于预设值，则判定该位置为notch角。通过该装置，可快速有效地对晶圆的notch角进行寻边，且就算寻边异常时，亦不存在降低机台的妥善率的问题，并且也不存在无法寻找到notch角需要重新放置晶圆的问题，减少生产成本，提高产线生产力。附图说明图1为具体实施方式所述一种智能测距的晶圆寻边装置的结构示意图；图2为具体实施方式所述两条平行线的垂直平分线平行不重叠的示意图；图3为具体实施方式所述两条平行线的垂直平分线平行重叠的示意图；图4为具体实施方式所述寻找出该待测物的中心点O的示意图；图5为具体实施方式所述识别圆心的坐标的示意图；图6为具体实施方式所述旋转手臂与伺服马达红外测距手臂的示意图；图7为具体实施方式所述测距差值的示意图；图8为具体实施方式所述一种智能测距的晶圆寻边方法的流程图。附图标记说明：1、载台，2、寻边装置底座，3、旋转手臂，4、红外感应器，5、伺服马达红外测距手臂，6、红外线测距传感器。具体实施方式为详细说明技术方案的
技术实现思路
、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。请参阅图1，在本实施方式中，一种智能测距的晶圆寻边装置的具体实施方式如下：一种智能测距的晶圆寻边装置，包括：载台1、寻边装置底座2、旋转手臂3、红外感应器4、伺服马达红外测距手臂5和红外线测距传感器6；所述寻边装置底座2连接所述载台1；所述旋转手臂3固定设置于所述寻边装置底座2上，所述旋转手臂3设置于所述载台1上方；所述载台1用于存放待测物；所述红外感应器4设置于所述旋转手臂3上，所述红外感应器4用于：对待测物中心点进行定位；所述伺服马达红外测距手臂5设置于所述旋转手臂3上，所述红外线测距传感器6设置于所述伺服马达红外测距手臂5上；所述伺服马达红外测距手臂5用于：对待测物边缘进行定位；所述红外线测距传感器6用于：测得待测物与伺服马达红外测距手臂5的距离L，及测得待测物边缘与红外线测距传感器6的距离X。通过上述装置可获得L和X值，最后计算这两个值的差值，判断所述差值是否大于预设值，若所述差值大于预设值，则判定该位置为notch角。通过该装置，可快速有效地对晶圆的notch角进行寻边，且就算寻边异常时，亦不存在降低机台的妥善率的问题，并且也不存在无法寻找到notch角需要重新放置晶圆的问题，减少生产成本，提高产线生产力。在本实施方式中，所述旋转手臂3为360°旋转手臂。即可360°旋转。进一步的，所述红外感应器4还用于：在待测物上定位任意两条平行线，判断所述两条平行线的垂直平分线是否重叠，若所述两条平行线的垂直平分线重叠，则取所述两条平行线与待测物边缘相交的任意三个点a、b和c，通过a、b和c三个点定位得待测物中心点。请参阅图2至图4，具体可采用如下方式：利用红外感应器4在待测物上寻找处两条平行线，若两条平行线的垂直平分线平行不重叠(如图2，其中一条直线覆盖住notch角)；则再次寻找两条平行线，若两条平行线的垂直平分线重叠(如图3)，则任取临近三点a、b、c，做直线ab与直线ac，利用两条直线垂直平分线本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种智能测距的晶圆寻边装置，其特征在于，包括：载台、寻边装置底座、旋转手臂、红外感应器、伺服马达红外测距手臂和红外线测距传感器；/n所述寻边装置底座连接所述载台；/n所述旋转手臂固定设置于所述寻边装置底座上，所述旋转手臂设置于所述载台上方；/n所述载台用于存放待测物；/n所述红外感应器设置于所述旋转手臂上，所述红外感应器用于：对待测物中心点进行定位；/n所述伺服马达红外测距手臂设置于所述旋转手臂上，所述红外线测距传感器设置于所述伺服马达红外测距手臂上；/n所述伺服马达红外测距手臂用于：对待测物边缘进行定位；/n所述红外线测距传感器用于：测得待测物与伺服马达红外测距手臂的距离L，及测得待测物边缘与红外线测距传感器的距离X。/n

【技术特征摘要】
1.一种智能测距的晶圆寻边装置，其特征在于，包括：载台、寻边装置底座、旋转手臂、红外感应器、伺服马达红外测距手臂和红外线测距传感器；
所述寻边装置底座连接所述载台；
所述旋转手臂固定设置于所述寻边装置底座上，所述旋转手臂设置于所述载台上方；
所述载台用于存放待测物；
所述红外感应器设置于所述旋转手臂上，所述红外感应器用于：对待测物中心点进行定位；
所述伺服马达红外测距手臂设置于所述旋转手臂上，所述红外线测距传感器设置于所述伺服马达红外测距手臂上；
所述伺服马达红外测距手臂用于：对待测物边缘进行定位；
所述红外线测距传感器用于：测得待测物与伺服马达红外测距手臂的距离L，及测得待测物边缘与红外线测距传感器的距离X。


2.根据权利要求1所述的一种智能测距的晶圆寻边装置，其特征在于，
所述红外感应器还用于：在待测物上定位任意两条平行线，判断所述两条平行线的垂直平分线是否重叠，若所述两条平行线的垂直平分线重叠，则取所述两条平行线与待测物边缘相交的任意三个点a、b和c，通过a、b和c三个点定位得待测物中心点。


3.根据权利要求1所述的一种智能测距的晶圆寻边装置，其特征在于，
所述旋转手臂还用于：带动伺服马达红外测距手臂旋转，进而带动红外线测距传感器旋转。


4.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴淑芳，陈智广，李立中，黄光伟，马跃辉，吴靖，庄永淳，林伟铭，
申请(专利权)人：福建省福联集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35