板处理装置及板处理方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种针对被加工板的两个面能够彼此对位后进行处理的板处理装置。打标部对支承于工作台上的被加工板的朝向工作台的面赋予标记。处理部对支承于工作台上的被加工板的朝向与工作台相反一侧的面进行处理，并且对处理结果与打标部赋予给朝向工作台的面上的标记的位置建立对应关联。而且，处理部检测形成于朝向与工作台相反一侧的面上的标记，并基于检测到的标记的位置对朝向与工作台相反一侧的面进行处理。

Plate treatment device and method

The invention provides a board processing device which can process two surfaces of the processed board after they are positioned to each other. The marking part marks the face of the processed plate supported on the worktable towards the worktable. The processing unit processes the face of the processed plate supported on the workbench towards the opposite side of the workbench, and establishes a corresponding relationship between the processing result and the position of the mark given by the marking unit to the face towards the workbench. Moreover, the processing unit detects a mark formed on a face facing the opposite side of the workbench, and processes a face facing the opposite side of the workbench based on the position of the detected mark.

【技术实现步骤摘要】
板处理装置及板处理方法本申请主张基于2018年5月8日申请的日本专利申请第2018-090122号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。
本专利技术涉及一种板处理装置及板处理方法。
技术介绍
已知有一种对金属板实施蚀刻加工从而在金属板上形成开口的技术。以下，对现有的蚀刻加工的工法进行说明。在不锈钢或铜等金属板的两个面粘贴干膜抗蚀剂。经由光掩模使干膜抗蚀剂感光之后，通过显影留存抗蚀剂图案。分别留存于金属板的两个面上的抗蚀剂图案相同，且彼此对位。将所留存的抗蚀剂图案作为蚀刻掩模，从两个面蚀刻金属板。蚀刻后剥离抗蚀剂图案。在现有的蚀刻加工中，在蚀刻掩模的形成中使用了光刻工法。在该工法中，需要按照每一个蚀刻图案制作光掩模，因此难以实现低成本化。并且，光掩模的维持管理也需要花费时间和劳力。而且，由于需要制作光掩模，因此难以缩短交付期。为了使分别留存于金属板的两个面上的抗蚀剂图案彼此对位，利用金属板的边缘。例如，在下述专利文献1中公开了一种拍摄矩形基板的角部并进行图像处理并将角部的位置作为基准进行网版印刷的技术。专利文献1：日本特开2014-205286号公报在被加工板的端面倾斜的情况下，基于从前表面侧拍摄的角部的图像检测到的顶点与基于从背面侧拍摄的角部的图像检测到的顶点不一致。此时，若以顶点的位置作为基准而形成抗蚀剂图案，则会导致形成于前表面侧的抗蚀剂图案相对于形成于背面侧的抗蚀剂图案产生偏移。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种针对被加工板的两个面能够彼此对位后进行处理的板处理装置及板处理方法。根据本专利技术的一种观点，提供一种板处理装置，其具有：打标部，对支承于工作台上的被加工板的朝向该工作台的面赋予标记；及处理部，对支承于所述工作台上的被加工板的朝向与所述工作台相反一侧的面进行处理，并且将处理结果与所述打标部赋予给朝向该工作台的面上的标记的位置建立对应关联，而且，检测出形成于朝向与所述工作台相反一侧的面上的标记，并基于检测到的标记的位置对朝向与所述工作台相反一侧的面进行处理。根据本专利技术的另一种观点，提供一种板处理方法，其具有如下工序：在被加工板的第1面上形成标记的工序；基于形成于所述第1面上的所述标记的位置，对所述被加工板的与所述第1面相反一侧的第2面进行处理的工序；及在所述第1面上形成所述标记之后，基于所述标记的位置，对所述被加工板的所述第1面进行处理的工序。通过形成于被加工板的一个面上的标记的位置，能够使一个面的处理与另一个面的处理对位。附图说明图1是基于实施例的板处理装置的概略图。图2A是支承有被加工板的工作台的俯视图，图2B是图2A的单点划线2B-2B处的剖视图。图3A及图3B是打标部的概略剖视图，图3C及图3D分别为形成有标记的状态的被加工板的剖视图及仰视图。图4是基于实施例的板处理方法的流程图。图5A～图5E是利用基于实施例的板处理方法对被加工板进行处理的中途阶段中的被加工板的剖视图，图5F是处理后的被加工板的剖视图。图中：10：台架，11-XY载台，12-θ载台，15-工作台，16-抽吸孔，17-定位销，20-打标部，21-突起，22-加压机构，23-加压板，24-驱动机构，25-刻印针，30-框架，31-喷墨单元，32-摄像装置，40-控制装置，50-被加工板，51-标记，53-边框状的区域，54-被边框状的区域包围的区域，55-开口，61-第1面，62-第2面，65-第2面的抗蚀剂图案，66-第1面的抗蚀剂图案，67-保护胶带。具体实施方式下面，参考图1对基于实施例的板处理装置进行说明。图1是基于实施例的板处理装置的概略图。在台架10上，经由XY载台11及θ载台12支承有工作台15。被加工板50支承于工作台15的支承面上。例如，工作台15包括真空卡盘机构，能够将被加工板50固定在支承面上。支承面例如相对于水平面平行，面朝铅垂方向上方。XY载台11通过来自控制装置40的控制能够使工作台15相对于台架10沿与支承面平行且彼此正交的两个方向平移移动。θ载台12通过来自控制装置40的控制改变以垂直于支承面的旋转轴为中心的工作台15的旋转方向上的姿势。将相对于台架10固定的坐标系称为基准坐标系，将相对于工作台15固定的坐标系称为工作台坐标系。控制装置40中存储有基准坐标系与工作台坐标系之间的对应关系。板处理装置设置有打标部20。打标部20通过来自控制装置40的控制对支承于工作台15上的被加工板50的朝向工作台15的面(朝向下方的面)赋予标记。标记在工作台坐标系中的形成位置固定，并且该位置存储在控制装置40。即，打标部20能够在相对于工作台15的支承面内的基准点的相对位置可知的位置上形成标记。关于打标部20的详细内容，后续将参考图3A～图3D进行说明。在工作台15的上方，通过框架30支承有喷墨单元31及摄像装置32。喷墨单元31及摄像装置32相对于基准坐标系固定。喷墨单元31通过来自控制装置40的控制朝向支承于工作台15上的被加工板50吐出经液滴化的抗蚀剂油墨。控制装置40中储存有定义应形成的抗蚀剂图案的平面形状的图像数据，并且基于该图像数据控制XY载台11及喷墨单元31，从而在被加工板50的上表面形成由抗蚀剂油墨形成的抗蚀剂图案。摄像装置32拍摄支承于工作台15上的被加工板50的上表面上形成的标记。拍摄的图像数据输入到控制装置40。控制装置40通过分析拍摄有标记的图像而求出标记在工作台坐标系中的位置(即，求出标记相对于工作台15的支承面内的基准点的的相对位置)。将XY载台11、喷墨单元31、摄像装置32及控制装置40统称为处理部。处理部具有基于由打标部20形成标记的位置对被加工板50的上表面实施处理的功能(在本实施例中为形成抗蚀剂图案的功能)。而且，处理部还具有检测形成于被加工板50的上表面的标记并根据检测到的标记的位置对被加工板50的上表面实施处理的功能(在本实施例中为形成抗蚀剂图案的功能)。即，处理部具有如下功能：对以相对于工作台15的支承面内的基准点的相对位置的形式指定的位置，进行被加工板50的上表面的处理。接着，参考图2A及图2B，对工作台15、被加工板50及打标部20的突起21之间的位置关系进行说明。图2A是支承有被加工板50的工作台15的俯视图。在工作台15的支承面(上表面)上设置有多个真空卡盘用的抽吸孔16。通过使真空卡盘工作，能够将被加工板50吸附固定在工作台15的支承面上。在工作台15的支承面，安装有至少三个定位销17。通过使被加工板50的一个边与两个定位销17接触并使相邻的边与剩下的一个定位销17接触，能够相对于工作台15进行被加工板50的定位。对被加工板50进行处理时，利用定位销17进行相对于工作台15的被加工板50的定位。对被加工板50的上表面的沿被加工板50的边缘的边框状的区域53中不涂布抗蚀剂油墨，而在被边框本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种板处理装置，其特征在于，具有：/n打标部，对支承于工作台上的被加工板的朝向所述工作台的面赋予标记；及/n处理部，对支承于所述工作台上的被加工板的朝向与所述工作台相反一侧的面进行处理，并且将处理结果与所述打标部赋予给朝向所述工作台的面上的标记的位置建立对应关联，而且，检测出形成于朝向与所述工作台相反一侧的面上的标记，并基于检测到的标记的位置对朝向与所述工作台相反一侧的面进行处理。/n

【技术特征摘要】
20180508 JP 2018-0901221.一种板处理装置，其特征在于，具有：
打标部，对支承于工作台上的被加工板的朝向所述工作台的面赋予标记；及
处理部，对支承于所述工作台上的被加工板的朝向与所述工作台相反一侧的面进行处理，并且将处理结果与所述打标部赋予给朝向所述工作台的面上的标记的位置建立对应关联，而且，检测出形成于朝向与所述工作台相反一侧的面上的标记，并基于检测到的标记的位置对朝向与所述工作台相反一侧的面进行处理。


2.根据权利要求1所述的板处理装置，其特征在于，
所述处理部基于由所述打标部形成标记的位置，对支承于所述工作台上的被加工板的朝向与所述工作台相反一侧的面进行处理，由此将处理结果与所述打标部赋予给朝向所述工作台的面上的标记的位置建立对应关联。


3.根据权利要求1或2所述的板处理装置，其特征在于，
所述打标部具有：
突起，从所述工作台的支承被加工板的支承面突出；及
加压机构，对支承于所述工作台上的被加工板的与所述突起接触的区域施加朝向所述工作台的荷载。
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【专利技术属性】
技术研发人员：礒圭二，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP